Способ определения температурного коэффициента сопротивления хромовых пленок
Соеоз Соаетскик
Социалястичесиин
Республик
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (tl} 573.773 (61) Дополнительное. к авт. саид-ву (+) Заявлено 03.07.75(21) 2151120/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.0 .776юллетень №35 (45) Дата опубликования описания 03.11.77 (53) М. Кл.
& 01 R 27/02
Гааударстееиньй немнтет
Вееета Мнннет еа СЮ ае лееаи нзееретеннй и етнритнй (53) УДЖ 621.396
-18 1. 48(088. 8 ) (72) Автори изобретения
Н. А. Соповьева, А. И. Фапичева, И. Ф. Соповьев и Э. А, Гранкин (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРНОГО
КОЭФФИЦИЕНТА СОПРОТ ИВЛЕНИЯ XPOMOBblX
ПЛЕНОК
Изобретение относится к технологии изготовления радиодеталей и может быть использовано при производстве пленочных резисторов и микросхем с проводящим слоем на основе хрома. б
И звест ел с пос о б 9 предел е ни я те м пературного коэффициента сопротивления хромовых пленок, преимущественно пиролитических (11.
Однако этот способ сложен. L0
Цепь изобретения — упрощение определения температурного коэффициента сопротивления хромовых пленок..
Для этого в способе определения температурного коэффициента сопротивления хро- 1з мовых пленок, преимущественно пиролитических, хромовые пленки обрабатывают в коцентрированной соляной кислоте 1 — 2 мич. и по интенсивности выделения водорода определяют величину. температурного коэффицчен- 20 та сопротивления.
Оценка температурного коэффициента сопротивления (ТКС) по предлагаемому способу состоит в помещении исследуемого основания с хромовой пленкой в раствор концентри- 25
2 рованной соляной кислоты марки Ч или ЧДА до полного погружения основания, выдержки в течение 2 мин. при температуре окружающей среды и визуальной оценки ТКС по интенсивности выделения водорода.
Для оценки ТКС химическим способом исследуются заготовки без контактных vaлов. Заготовки помешают в химический стакан и заливают концентрированной соляной кислотой. При температуре окружаюшей сре ды 2 мин. визуально иабпюдают за растворимостью пленки по интенсивности выделе ния водорода.
Пленки с величиной ТКС ++:1 10 eg/oC практически не реагируют с соляной. кисло той. На пленках с ТКС 0,8 — 1,5 ° 10 l/ С наблюдаются единичные, неотрывающиеся пузырьки водорода.
Пленки с ТКС,значительно большим единицы, бурно реагируют с соляной кислотой с выделением водорода.
Формула изобрететия
Способ определения температурного коэф-фициента сопротивления хромовых пленок, 573773
Составитель 10. Еркин
Техред 3. Фанта Корректор, Н, Ковалева
Редактор О. Стенина
Заказ 3757f36 Тираж 1 101 Подписное
ЦНИИ!ПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35;- Раушская неб.; д. 4/5
Филиал ПИП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 п .имущественно пиропл ч(ческих, о т л ич и н щ и Я с и тем, что,с целью упрощения определения температурного коэффициента сопротивления, хромовые пленки обрабатыва-. ют в концентрированной соляной кислоте
1 — 2 мин и по интенсивности выделения водорода определяют величину гемпературного коэффициента сопротивления.
Источники информации, принятые во вни. мание при экспертизе:
1. Резисторы. Методы испытаний, ЮСТ 15478 — 70.