Изооретение относится к области измерительной тех ники и может быть использовано для измерения давления, упругих сил вибраций, в частности в авиационной и судостроительной промышленности.

Известны датчики механических параметров, у которых уменьшение температурной погрешности осушествляется технологической или схем|ной компенсацией (1).

Наиболее близким по техническому,решению к изобретению является термостатированный тензорезистор, содерткащий тензоэлемент, диэлектрический слой, обхватывающий тензоэлемент, термоэлемент, размещенный на ди-, электрическом слое, второй диэлектрический слой, размещенный на термоэлементе, и нагревательные элементы, обхватывающие тензоэлемент и термоэлемент (2).

Тензоэлемент, термоэлемент и на гревательные элементы выполнены в виде проволочной решетки, а диэлектрические слои представляют собой клеевые прослойки. Однако наличие воздушной прослойки, неравномерность распределения тепловой энергии от термоэлемента к тензоэлеьменту увеличивают температурную погрешность этого тензорезистора.

Цель изобретения вЂ” повышение точности измерения.

Для этого в предлагаемом тензорезисторе гензоэлемент, диэлектрические слои, термоэлемент и на гревательные элементы выполнены в виде тонких пленок.

На чертеже схематически изображен предлагаемый термостатированный тензорезистор.

Он содержит тензоэлемент 1, диэлектрический слой 2, обхватывающий тензоэлемент, термоэлемент 3, размещенный на диэлектрическом слое 2, второй диэлектрический слой 4, размещенный на термоэлементе, и нагревательные элементы 5 и 6, обхватывающие тснзоэлемент и термоэлементы. Изоляция нагревательных элементов осуществляется диэлектрическими слоями 7 и 8. В цепь нагревательных элементов включен регулирующий элемент 9, а в цепь тензоэлемента вЂ” измерительный прибор 10.

Термостатированный тензорезпстор работает следующим образом.

Тонкопленочный тснзоэлемент 1 восприни20 мает воздействие изменяющегося механического параметра. Величина сигнала является функцией температуры.

Для исключения температурной погрешности измерения применена стаоилизация темпе25 ратурного режима тензоэлемента. При отключении температуры тензоэлсмента изменяется сопротивление термоэлемента, находящегося в аналогичных с тензоэлементом температ рных условиях, приводя соответственно к измене30 нию,режима раооты нагревательных элсмеи574602

Формула изобретения

Составитель А. Пергамент

Техред Л. Гладкова

Корректор Е. Хмелева

Редактор О. Юркова

Заказ 2133/3 Изд. № 772 Тираж 907

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2 тов о и 6, т. е. к восстановлению прежнего значения температуры.

Тонкопленочное исполнение |нагревательных элементов, тензоэлемента, термоэлемента и изоляционных слоев ввиду их малой массы позволяет получить быстродействующую систему стабилизации температуры тензоэлемента, а следовательно, и повышение точности измере ния в условиях быстроменяющихся температур за счет исключения температурной погрешности, Термостатированный тензорезистор, содержащий тензоэлемент, диэлектрический слой, обхватывающий тензоэлемент, ермоэлемент, размещенный на диэлектрическом слое, второй диэлектрический слой, размещенный на термоэлементе, и нагревательные элементы, обхватывающие тензоэлемент и термоэлемент, отл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения, тензоэлемент, диэлектрические слои, термоэлемент и нагревательные элементы выполнены в виде тонких пленок.

Источники иноформации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 434284, кл. G 01В 1/18, 1972.

15 2. Патент ФРГ № 832689, кл. 42К 45/03, 1950.

Тензометрическое устройство // 572643

Устройство для регистрации процесса развития трещин // 572642

Калибратор электротензометрической установки // 571697

Способ измерения деформаций в условиях нестационарных температур // 570767

Тензометрическое устройство для многоточечных измерений относительных деформаций // 569842

Тензостанция // 567089

Устройство для определения остаточных напряжений при непрерывном травлении образца // 567088

Устройство для динамического тензометрирования вращающихся деталей // 567087

Датчик деформаций // 566128

Устройство для контроля деформации и способы его использования в механических структурах, подвергающихся напряжению // 2110044

Изобретение относится к измерению и контролю напряжений в конструкциях любого типа

Устройство для измерения деформаций при повышенных температурах // 2110766

Устройство для измерения деформации конструктивного элемента (варианты) // 2116614

Способ определения изгибной жесткости объектов из композиционных материалов // 2120120

Изобретение относится к испытательной технике и имеет целью повышение точности способа определения изгибной жесткости объектов, изготовленных из композиционных материалов

Устройство для измерения деформаций конструкций из композиционных материалов при повышенных температурах // 2149352

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам измерения деформаций конструкций летательных аппаратов при испытаниях на прочность

Многоканальное тензометрическое устройство // 2157961

Изобретение относится к области автоматизации процессов взвешивания, дозирования и испытания материалов

Пьезопленочный датчик многократного применения для измерения динамических деформаций // 2160428

Изобретение относится к средствам измерения динамической деформации, измеряющим динамическое деформируемое состояние инженерных конструкций

Датчик перемещения // 2165068

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам, контролирующим перемещение деталей машин, и может быть использовано в системах контроля машинами и оборудованием

Датчик для измерения натяжения анкера // 2169901

Способ изготовления прецизионного фольгового резистора // 2182381

Изобретение относится к электрорадиотехнике, а в частности к технологии изготовления прецизионных фольговых резисторов, а также может быть использовано при изготовлении резисторов широкого применения