Датчик давления

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистииеских

Республик (11 )75 ) 1;3 (6l) Дополнительное к авт. саид-ву (51) М. Кл.

С; 01 Ь e/00 (22) Заявлено 27.01.76 (21) 2316930/18-10 с присоединением заявки №

Государстаенный иомитет

Совета Иннистраа СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 05,10.77. Бюллетень №3 (53) УДК 531. 787 °

Я 1 (088.8),45) Дата опубликования описания 11.11-77 (72) Авторы изобретения

В. Н. Черняев и H. И. Газеев (71) 3 а я в и тель

Московский авиационный технологический институт им. К. Э. Циолковского (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерений давления в области высоких температур.

Известны датчики давления, использующие механические перемещения электродов в вакуумированном приборе Ы .

Однако они включают большое число деталей, что снижает их надежность.

Наиболее близким к изобретению является устройство, содержащее корпус с неподвижным электродом и мембрану с подвижным электродом. Один из электродов снабжен источником альфа-частиц, создающих ионный электрический ток между электро- 15 дами. IIon действием давления, которое подается во внутреннюю полость корпуса, мембрана прогибается наружу, расстояние между электродами меняется, что приводит к изменению ионного тока, который измеряет- 20 ся прибором в цепи электродов (2 j .

Однако такие приборы чувствительны к изменению температуры, что исключает возможность их применения при высоких температурах. 25

Цель изобретения-расширение диапазона рабочих температур устройства.

Для этого неподвижный электрод снабжен нагревателем, а внутрення полость вакуумирована.

На фиг. 1 схематические и изображено предложенное устройство в разрезе: на фиг. 2 разрез А-А фиг. 1, Датчик давления содержит корпус 1, мембрану 2, анод 3, катод 4, нагреватель

5, токопроводы 6, электрические контакты

7 и подложку 8. Мембрана с тонкопленочным анодом и токопроводом, соединяющим анод с электрическим контактом, запаяна в корпус, где на подложке разме цен тонкопленочный нагреватель, закрытый сверху оксидным пленочным катодом. Нагреватель и катод соединены токолроиодами с двумя другими электрическими контактами.

Прибор действует следующим образол1.

При включении электрических контактов в соответствующие цепи между анодом и катодом. протекает эл ктрический ток, зависящий от расстояния между анодом и катодом.

575" 13

Составитель Л. Кочураев

Редактор Г. Марховская ехред Н. Андрейчук„Коррект ор H. Ковалева

Заказ 4022/26 Тираж 1 10 1 Подписное

UHHHHH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретении и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рауновская нал., д. 4/5

Филиал ППП Патент", r. Ужгород, ул, Проектная, 4

ДавлеНие окружаюкчей спелы создает пригиб мембраны, что приводит к изменению указанного расстояния и соответствую,дему изменению электрического тока. Поскольку межэлектродное расстояние вакуумировано, прибор измеряет абсолютное давление.

Формула изобретения

Датчик давления, содержащий корпус с неподвижным электродом и мембрану с под вижным электродом, о т л и ч а ю Ur и йс я тем, что, с целью расширения диапазона рабочих температур, неподвижный электр д снабжен подогревателем, а внутренпя полость вакуумирована, Ист 1чники информадии, принятые во BHv,— мание при экспертизе:

1. Берлин Г. С. Электронные приборы с механическими управляемыми электродами

M., "Энергия", 1971, с. 106.

2. Авторское свидетельство СССР кл. 6 01 4 21/36, ." 84118, 1949.