Микроинтерферометр

 

ОП И" САЙИт=

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Сометскик

Социалистических

Феспу6лик (11) 579537

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 160276 (21) 2323595/25-28 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано0 11.77. Бюллетень Ю 41 (45) Дата опубликования описания 28.1177

2 (5l) М. Кл. 01 В 9/02

ГФФ14эретээииы1 иемитэт

Веэетэ Миэиетреэ CCCP

l$ 4эиэм иьебрэтэиээ и еткрытий (53) УДК 5З1.715 ° 1 (088.8) (72) Авторы изобретения

В.A.Коваль, M. И.Колпаков и A.A. Кучин

Pl) Заявитель (54) ИИКРОИНТЕРФЕРОМЕТР

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, в приборах для измерения методом многолучевой интерференции толщин пленок по .величине уступа, образованного краем пленки.

Известен многолучевой микроинтерферометр, содержащий тубус, предметный столик и интерференционную пластину сравнения. Он обеспечивает наблюдение при помощи тубуса многолучевых интерференционных полос равной толщины в клине, образованном испытуемой поверхностью детали и интерференционной пластиной сравнения, находя щейся в контакте с испытуемой поверхностью 1.1 .

Известен также многолучевой микроинтерферометр, содержащий тубус, предметный столик с механизмом фокусировки, установленный на тубусе, и интерференционную пластину сравнения в виде плоскопараллельного диска, закрепленного в центре плоской металлической круглой пружины, имеющей прорези в виде отрезков концентрических окружностей. Контакт пластины с исследуемой поверхностью детали осуществляется по точке, разворот интерференционных по2 лос и изменение их ширины — деформацией пружины $2).

Однако данным микроинтерферометрам присущи быстрое повреждение исследуе5 мой поверхности и поверхности интерференционной пластины сравнения, а также значительные погрешности измерений толщины пленки.

Цель изобретения - пов шение точlO ности измерения. ,Цля этого пластина выполнена в виде правильного многоугольника, консольно закреплена на плоской пружине с возможностью разворота вокруг оси, 15 лежащей в плоскости рабочей грани пластины, перпендикулярной ее рабочему ребру.

На фиг. 1 изображен предлагаемый микроинтерферометр с частичным выре20 зом кронштейна, общий вид; на фиг. 2 интерференционная пластина.

Описываемый микроинтерферометр содержит тубус 1, предметный столик 2 с механизмом 3 фокусировки и интерференционную пластину 4.

Интерференционная пластина 4 сравнения через держатель 5 укреплена на плоской пружине 6 с возможностью разворота вокруг оси, перпендикулярной

80 плоскости чертежа и проходящей через

579537 объектив 10. Второй конец пружины 6 закреплен с цилиндрическим наконечником 7 ось которого А-А не>кит в рабо

I чей плоскости Б интерференционной пластины 4 и перпендикулярна ее рабочему ребру, проходящему через точку К перпендикулярно плоскости чертежа.

Ось наконечника 7 и подшипник 8 способствуют развороту интерференционной пластины 4 вокруг оси A-A до совмещения ребра с плоскостью исследуемой детали 9. Это, а также выполнение интерференционной пластины в виде многоугольника позволяют осуществи ествить самоустановку пластины на детали и замену контакта с образцом по точке контактом по линии.

Предлагаемый микроинтерферометр работает следующим образом.

Исследуемую деталь 9 устанавливают на предметном столике 2 и подво- @ дят при помощи механизма 3 фокусировки к объективу 10 до резкого изображения ее. В зто время деталь касае тся грани интерференционной пласти25 ны, которая самоустанавливается под определенным углом к ней за счет покачивания на плоской пружине 6 повоота в подшипнике 8. Изменение ширирота ны интерференционных полос производ о ится микромеханизмом тубуса 1 в преде- 30 лах глубины резкости объектива.

Благодаря замене контакта по точке контактом по линии интерференционные многолучевые полосы становятся прямолинейными и из направление парал- 35 дельно линии контакта(грани интерференционной пластины сравнения), что в свою очередь значительно упрощает конструкцию механизма изменения ширины интерференционных полос.

Использование интерференционной пластины сравненния в виде правильного многоугольника (фиг. 2) в сочетании со значительным уменьшением контактного давления позволяет путем поочередного включения ее рабочих граней значительно увеличить срок службы пластины.

Формула изобретения

Микроинтерферометр, содержащий тубус, предметный столик с механизмом фокусировки, установленный на тубусе, и интерференционную пластину сравнения, закрепленную на плоской пружине, О т л и ч B ю шийся Teìð чтор, с целью и эвышения точности измерения, пластина выполнена в виде правильного многоугольника, консольно закреплена на плоской пружине с возможностью разворота вокруг оси, лежащей в плоскости рабочей грани пластины, перпендикулярной ее рабочему ребру.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Многолучевой микроинтерфеоомето фирмы К.Цейсср ГДРу paingerjjtefpeh i

Ф 2, 1960.

2. Патент Англии Р 712930, кл. 97 (1), и 106 (2), 1952.