Способ контроля толщины ферромагнитных пленок
(щ 580439
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 16.03.76 (21) 2337099/28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 15.11.77. Бюллетень № 42 (45) Дата опубликования описания 18.11.77 (51) M. Кл г G 01B 7/06
С 23С 13/00
Государственный комитет
Совета Министров СССР (53) УДК 620.179.14 (088.8) оо делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения
Г. В. Красноперов, В. П. Гогин и В. А. Кадкин (71) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЪ| ФЕРРОМАГНИТНЫХ
ПЛЕНОК
Изобретение относится к способам контроля, не нарушающим структуру объектов контроля и может быть использовано для контроля толщины многокомпонентных, цилиндрических ферромагнитных пленок.
Известен способ контроля толщины покрытий на электропроводящей подложке, заключающийся в том, что образец с покрытием вводят во взаимодействие с токовихревым преобразователем и по сигналам последнего судят о результатах контроля (1). Однако этот способ не обеспечивает достаточную точность контроля ферромагнитных пленок, так как эталоны, которые необходимы для реализации способа, не достоверны с точки зрения технологических режимов их нанесения.
Известен способ, принятый за прототип, контроля ферромагнитных пленок, заключающийся в том, что на подложку наносят рабочую пленку и пленку «свидетель», сравнивают их электромагнитные параметры и по результатам сравнения судят о толщине пленки (2).
Для повышения точности контроля толщины многокомпонентных цилиндрических пленок в соответствии с предлагаемым способом рабочую пленку и пленку «свидетель» наносят при разных скоростях равномерного движения подложки, обратно пропорциональным времени их нанесения т и тг, определяют магнитные потоки в них при постоянной магнитодвижущей силе, и по соотношению
Ф2 2Ф,т ПрИ вЂ” г
4Ф, — Ф, т1 определяют толщину пленки, где h — толщина рабочей пленки, Ô и Фг — соответственно магнитные потоки в рабочей пленке и пленке
«свидетель», d — диаметр подложки.
Для упрощения соотношения, по которому определяют толщину, выбирают
2 — 2 т1
Формула изобретения
Способ контроля толщины ферромагнитных пленок, заключающийся в том, что наносят на подложку рабочую пленку и пленку «свидетель», сравнивают их электромагнитные параметры и IIQ результатам сравнения судят о толщине пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля толщины многокомпонентных цилиндрических пленок, рабочую пленку и пленку «свидетель» наносят при разных скоростях равномерного движения подло кки, обратно пропорциональным времени их нанесения т и тг, определяют магнитные потоки в них прн постоянной магнитодвижущей силе, и по соотношеЗО нию:
580439
Составитель А. Духанин
Корректор Н. Федорова
Техред H. Рыбкина
Редактор И. Марголис
Заказ 2550/1 Изд. № 926 Тираж 907 Подписное
НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4/5
Типография, ир. Сапунова, 2
4Ф вЂ” Фв т1 определяют толщину пленки, где
h — толщина рабочей пленки, Ф и Ф вЂ” соответственно магнитные потоки в рабочей пленке и пленке «свидетель», d — диаметр подложки.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство № 281831, G 01B
7/04, 19б8.
5 2. Контроль пленок в процессе изготовления, «Ехр. Techn. Phys», 1971, № 3, с. 19.
