Диффузионный дозатор

 

Союз Советскмк

Соцмалмстмчюскмх

Рвспублик ())) iH1379 (6т) Дополнительное к авт, свид-ву(22) Заявленв07.07.76 (21) 2382133/18-10

2 (51) М, Кл.

С 01 Г <3iOO с присоединением заявки ¹Гааударатввннмк камктат

Вавата аткнаатраа СМр аа делам азааратаккк я аткрмтяк (23) Приорктет(43) Опубликовано 25.11.77,Бюллетень № 43 (45) Дата опубликования описания 07.12.77 (53} УДК66.028 (088.8) (72} Авторы изобретения

А. И. Одиноков, О. Ф. Огурцов, В. H. Кокни и А. И. Воробьев (73) Заявитель (54) ДИФФУЗИОННЫЙ ДОЗАТОР

Изобретение относится к дозированию материалов и может применяться в техноло гнческих процессах производства интеграль ных схем, химической промышленности, Известны дозаторы, содержащие испаря тельную и смесительную камеры, и трубки подвода и отвода газа носителя Щ2 .

Наиболее близким по технической сущнос ти к предложенному является дозатор, содержащий термостатируемый корпус с ис- З© парительной и смесительной камерами, со» единенными диффузионным сопротивлением, патрубки подвода и отвода газоносителя я систему: управпения(З )

Недостатком йзвестттого дозатора явиаются малая точность и нестабильность ра» боты, связанные с тем, что перед вкаоче нием дозатора на стенках испарительной к смесительной камер образуется конденсат дозируемого вещества. Испарение конден ЯО сата приводит к увеличенному и нестабиль ному расходу дозируемого вещества в на чальный период дозирования. Начальный пик,расходной характеристики может длить оя в известноМ устройстве десятки минут, 25

2 что зат рудняет использование устройства особенно в процессах дозировання, имяошнх небольшую длительность.

Бель изобретения - повышение точности и стабильности работы.

Эта цель достигается тем, что дозатор снабжен термостатированным клапаном, установленным в смесительной камере на вьаходе испарительной камеры и связанным с системой управления.

На чертеже показано предлагаемое устройство.

Устройство содержит клапан 1, нагреватель 2, резьбовую пробку 3, мембрану 4, штуцеры 5, теплоизоляционнуто прокладку 6, нспарительную камеру 7 с дозируемым :веществом 8, термосопротивление 8, электроразъем 10, нагреватель 11,. радиатор 12, кожух 13, теплоизоляциишый корпус 14,, втулку 15 фланец 16,крьппку 17, смесягепьную камеру 18, блок 19, стабилизчции температуры блок управления 20 и блок питания 21 °

Теплоизоляционный корпус 14 с проклад кой 6 служит для устранения влияния тем пературы окружающей среды на процжс ис парения доэируемого вещества. Нужная температура в нспарнтельной камере 7 устанав ливается при помоши нагревателя,11 и радиэ тора 12. Последний охватывает весь пери метр камеры 7. Контроль за температурой осуществляется с помощмо термосопротив лений 9. Фланед 16 и втулке 15 служат дла удобства залнвкн дозируемого вещест ва в камеру 7. 39

Открывание и закрывание диффузионнога сопротивления производится клапаном 1.

На пробке 3 клепана у тановней нагревателЬ

2,.который задает повышенную по отношению к испарительной кемере температуры, что исключает конденсадко паров дозируемо ь вещества на запорном органе клапане.

При вкпючении дозатора при помощи блока управления 20 подается напряжение с блока питания 31 Hs клеМд 1. При этом клапан открывается и происходит подача паров дозируемОГО в смесительиую камеру

18е При синтии О клапана напряжения ка меры 7 и 1З разделяются им.

Во время работы дозаторе производится р йостоиинаа подача гаэаяоситепя в сме-сительнув Камеру 18, что значительно уп роаает схему дозатора, так как отпадает необходимост в системе клапанов, обеспечивающих коммутацию газа-носителя.

Формула изобретения диффузионный дозатор, содержащий термостатируемый корпус с испарительной и смесительной камерами, соединенными диффузионным сопротивлением, патрубки подвода и отвода газа-ноитэля и систему управления, о т л и 4 а ю ш и и с я тэм, что, с джило повн@иэпп@ точности и стабильнос ги работы,-. деэатор снабжен термостатированным иФэйвном, установленным в смесительйэй каъюре на выходе испарнтельной камеры и связанным с системой управления е

Источники информации, принятые во вни мание при экспертизе:

1. Патент США М 3510369 кл 222 211, 1969.

2. Патент Японии _#_s 59-22781 кп. 99 (Б) 15, 1965.i

3. Авторское свидетельство М 231145 .@ О1 Г 1ЗЮО, 1968.

Составитель А. Рогозова

Редактор Е. Полионова Техред Н. Бабурка Корректор H. Ковалева

Заказ 4562/33 Тираж 907 Поддисное

ЙНИИП Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушскан наб., g,. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, уп. Проектная, 4