Устройство для измерения разности давлений

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 050476 (2l) 2344767/18-10 с присоединением заявки Ph (23) Приоритет (43) Опубликовано 0502 8.Бюллетень М 5

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 591732, 1 т (51) М. Кл. (3 01 (. 13/02

Гоцдврвтвенний новнтвт

Оаветв венннатрав ССОР нв напев неаарвтеннй н отнрктнй (53) УДК 531 ° 787 (088. 8) (45) Дата опубликования описания 2401.78

1r!.Ä.Áóðõàíîâ и П.Л.Коропова изобретения

pl) Заявитель Физико-технический институт AH Узбекской CCP (54) устРОЯстВО ДлЯ изиеРениЯ РАзнОсти ДАнлений

Изобретение относится к области полупроводникового приборостроения и предназначено для использования в контрольно-измерительной технике и пневмоавтоматике. 5

Известны устройства для измерения давления, содержащие мембрану и упругий элемент с расположенными на нем тензорезисторами, пленочными полупроводниковыми элементами или пластинами полупроводниковых монокристаллов.ОднаКо их тензоч вствительность невелика (порядка 10 ) и требуемая точность и надежность в таких датчиках обеспечивается введением в электрическую схему измерений дополнительных усилительных устройств (1).

Наиболее близким по технической сущности является устройство, в котором полупроводниковые пленочные элементы, включенные в мостовую схему, укрепляются на упругой мембране по диаметру в центральной части диафрагмы и по радиусу перпендикулярно к 25 ней (2). Однако чувствительность этого устройства недостаточна при измерении малых перепадов давления, когда величина деформации мембраны, а следот ватель"но, и изменения сопротивления тензоэлементов малы.

Цель изобретения — повышение чувствительности устройства. Это достигается тем, что известное устройство, содержащее камеру, упругую диафрагму, разделяющую камеру на два отсека, и тензопреобразователи, выполненные в виде упругой подложки с нанесенным на нее полупроводниковым слоем, снабжено упором, жестко закрепленным в одном из отсеков камеры, а тензопреобразователи закреплены с предварительным прогибом между упором и упругой диафрагмой.

Кроме того, для закрепления в одной камере разных по длине тензопреобразователей (например, при смене вышедших из строя тензопреобразователей) упор смонтирован с возможностью его перемещения вдоль отсека. ттри этом для сохранения неизменным объема отсека упор выполнен в виде решетки.

На чертеже схематически представлено устройство, общий вид.

Датчик содержит камеру 1, внутри которой закреплена упругая диафрагма 2 разделяющая ее на два объема У, и

На мембране закрепляется один конец тензопленок 3 и 4, напыленных на .полиэтилентеррофталатных подложках 5.

591732

Составитель И. Петрашень

Техред И.Климко Корректор A,Власенко

Редактор О.Филиппова

Заказ 588/41 Тираж 1112 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул. Проектная, 4

Второй их конец закреплен на металической решетке 6, которая может перемещаться благодаря наличию микрометрического. винта 7. Штуцера 8 и 9 служат для подведения измеряемых давлений ° Тензопленки 3 и 4 включены в два плеча мостовой схемы 10. В диагональ моста включен регистрирующий прибор 11, фиксирующий разбаланс моста.

Устройство работает следующим обра. 0 зом.

Под действием измеряемой разности давлений диафрагма 2 прогибается и изменяет сопротивление тензопленок 3 и 4, за счет прогиба связанных с ней подложек 5. Это изменение сопротивлений, пропорциональное разности давлений, измеряется мостовой схемой 10.

Устройство обеспечивает измерение Ю разности давлений с высокой точностью вплоть до 0,1 мм вод.ст. и найдет применение в шелководстве и ряде других областей.

Формула изобретения

1. Устройство для измерения разнос-. ти давления, содержащее камеру, упругую диафрагму, разделяющую камеру на два отсека, и тенэопреобраэователи, выполненные в виде упругой подложки с найесенным на нее полупроводниковым слоем, о т л и ч а ю щ elan с я тем, что, с целью повышения чувствительности, устройство снабжено упором, жестко закрепленным в одном из отсеков камеры, а тенэопреобразователи закреплены с предварительным прогибом между упором и упругой диафрагмой.

2. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что упор выполнен в виде решетки, закрепленной с возможностью ее перемещения вдоль отсека.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Лгейкин Д.И. и др. Датчики контроля и регулирования, М., Машиностроение, 1965, с. 605.

2. Патент Японии 9 41-36909 кл. 111 С 2

1966.