Способ получения герметичности изделия

 

ОПИСА

ИЗОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИД

Союз Советских

Социалистических

Республик

44 (63) дополннтельное к авт (22) Заявлено 11р676 (23) 2 с присоединением заявки Ю (23) Приоритет (43) ОПубликовано 050378, г

М 3/00

Гввтдврвтввнннб нввнтвт

Свввтн Мнннвтрвв СССР нв .Авнвв нввбрвтвннб н втнрнтнб

620.165.29 (088. 8) (45) Дата опубликования о (72) Автор изобретения

A.Ã.Ãðåêîâ

Pl), Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕЛИЯ

Спссоб осуществляют следующим образомм.

Проводят контроль герметичности иэделий путем заполнения их гелием фиксирования утечки при помощи массспектрометрического течеиекателФ и

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам кон-. троля герметичности полых. изделий.

Известен способ контроля герметичности, по которому иэделие заполняют 5 пробным газом, например гелием, а затем фиксируют утечку гелия при помощи масс-спектрометрического течеискателя и проводят раэбраковку изделий (lj.— 30

Недостатком такого способа является то, что им можно отбраковывать иэделия с течами не более 10 л мкм рт.ст.

Изделия с большими течами по про- тб шествии некоторого времени этим способом не выявляются в связи с потерей гелия до момента измерения.

Известен также способ контроля герметичности изделия в широком диапа- к0 зоне измеряемых утечек с использованием сорбента, замедляющего истечение пробного газа иэ иэделия, путем помещения сорбента в иэделие, заполнения изделия пробным газом, например гели- г5 ем, фиксирования утечки газа при помощи. масс-спектрометрического течеискателя и отбраковки иэделия (2) .

Однако такой способ сложен и не применим для иэделий с малым свобод2 ным объемом, так как требует введения в изделие дополнительных элементов.

Пель изобретения - упрощение способа.

Для этого в качестве среды, замедляющей истечение пробного газа иэ изделия, используют неполярную жидкость с вязкостью 0,2-2 спз, в которой выдерживают иэделие после заполнения пробным газом до момента измерения утечки.

В качестве такой жидкости могут быть применены тетрахлорэтан, четыреххлористый углерод, пентан. Вязкость этих веществ находится в интервале 0,2-2 спз.

Вскрытие каналов течей, перекрытых неполярными жидкостями при вакуумировании иэделий, происходит за несколько секунд. В то же время для полярных жидкостей это время составляет несколь ко часов, что неприемлемо для контроля.

596844

Формула изобретения

Составитель А.Шалыгина реВекео В.N нн рек . M" êåëåìåø ко eRTQ А.Внесение

3 ах аз . 1126/4 1 Тираж 10 12 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва Ж-35 Ра шская наб.

4 5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород,- ул. Проектная, .4 последующей разбракавкн иэделий на годные и негодные.

Затем иэделия, призванные годными, вновь опрессовываются в гелии, после чего .их заливают в этой же камере неполярной жидкостью или переносят в другую камеру, заполненную неполяр" най жидкостью.

Количества проникшей внутрь изделия жидкости s измеряемом диапазоне течет при малом внутреннем объеме иэделия незначительно и не принимается во внимание, поскольку при этом жидкость проникает внутрь иэделия в основном за счет испарения с поверхности, равной площади сечения канала течи, до установления равновесного давления паров внутри объема иэделия, Затем изделия извлекают из жидкости и повторна измеряют утечку пробиого газа.

Предлагаемый способ имеет наибольшие преимущества при контроле микроминиатюрных полупроводниковых:приборов.

Способ контроля герметичности из» делия в широком диапазоне измеряемых утечек с использованием среды, замедляющей истечение пробнога газа иэ изделия, путем заполнения изделия пробным газом, измерения утечки газа при помощи, например, масс-спектрометрического течеискателя и последую. щей отбраковки иэделия, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью упрощения способа, в качестве среды, замедляющей истечение пробного газа иэ изделия, используют неполярную жидкость с вязкостью 0,2-2 спз, в ко. торой выдерживают изделие после заполнения пробным газом до момента измерения утечки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Ланис В.A.. Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний. М., Государственное энергетическое издательство, 196 3, с.240-241.

2. АвторскоЕ свидетельство СССР

1Ф 323684, кл. Q 014 21/00, 1970.