Делитель напряжения на мдп-транзисторе

 

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (tl) 598159 (63) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 11,02,76(2!) 2и4з86/18-2s с присоединением заявки Ю (23) Приоритет (51) М. Нл.2

Н 04 1 29/76

Геет@аРатеааана аеватет ееаата Маааетрее СССр ае деаая азаеретеааа а атармтае (53) УДК

621. 382 (088. 8) (43) Опубликовано15,03,78, Бтоллетень М 10 (45) Дата опубликования описания 21.02:ó8

М.Ф.Зарипов, И.IO.Ïåòðoâà, В.П.Ястребцев и В.В.Попов (72) Авторы изобретения

pl) Заявители уфимский авиационный институт им.Орджоникидзе и Башкирский филиал AH СССР (54) ДЕЛИТЕЛЬ НАПРЯЖЕНИЯ HA МДП-ТРАНЗИСТОРЕ

Изобретение относится к области полупроводниковой техники и может быть использовано в качестве делителя напряжения, переменного резистора и функционального преобразователя в информационно-измерительных системах.

Известны устройства на базе

МДП-структур с подвижным электродом затвора, которые состоят из истока, стока и подвижного электрода затвора, способного перемещаться в вертикальной плоскости fl).

Недостатками их являются малые линейные перемещения и малая чувствительность к ним.

Известей; делитель напряжения на

МОП-транзисторе Я который содержит исток, сток. и подвижный прямоугольный электрод затвора, имеющий возможноеть перемещаться вдоль истока и сто- ® ка по слою жидкого, диэлектрика.

Его недостатком является малая чувствительность тока стока к переме-. щению подвижной части.

Целью данного изобретения является увеличение чувствительности тока стока к перемещению подвижного электрода затвора.

Цель достигается тем, что в предла- . гаемом датчике напряжения электрод подвижного затвора выполнен в форме треугольника, причем одна из его сторон параллельна области истока. Применение такого подвижного электрода затвора в форме треугольника позволяет ввести искусственным образом отсечку или так называемую обедненную область канала, которая для обеспечения токопроводностн должна быть расположена вдоль стока. Одной из характеристик данного класса устройств является статическая характеристика, т.е. зависимость выходного параметратока стока Л от входного параметраперемещения подвижного электрода затвора х3 = f (<)

Известно, что 5

Ь ii t.e где 3 А — ток стока в канале между истоком и стоком МДП-транзистора;

E — ток насыщения в канале; — длина канала; — эффективная длина канала МДП-транзистора, Из этого выражения видно,что одним из способов повышения чувствительности тока стока является уменьшение зффек5981 59

Формула изобретения

«такс

Фси. 8

Составитель О.Федюнина

Техред Э, Чужих КоРРектоР С.Шекмар

Редактор И.Шубина

Заказ 1260/45 Тираж 960 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП Патент, r.Óæãoðoä, ул.Проектная, 4 тивной длины канала Lt при этом ток стока 3 увеличивается.

На фиг. 1 изображен топологический чертеж делителя напряжения на МДП-транзисторе; на фиг. 2 изображен разрез делителя напряжения.

Делитель напряжения на металл-диэлектрик-полупроводниковом транзисторе состоит из полупроводниковой подложки 1 одного типа проводимости Р, с сформированными в ней областями, истока 2 проводимости ь,на которых образованы электроды истока 4 и стока 5 из слоя жидкого диэлектрика 6, нанесенного на подложку и выполняющего одновременно роль смазки, из подвижного электрода затвора 7, который имеет возможность к перемещению вдоль истока и стока по жидкому диэлектрику, в качестве которого может быть исполь- 20 зован глицерин, обладающий сравнительно низким удельным сопротивлением (10 Ом см) и подходящей вязкостью.

Принцип действия делителя напряжения на МДП-транзисторе аналогичен ра- Q5 боте МДП-транзистора с обогащением.

Режим работы его определяется проводимостью канала, который индуцируется приложенным к электроду затвора напряжением. В данном случае электрод З0 затвора обладает воэможностью к механическому перемещению от нулевого до максимального значений координаты, в направлении перемещения, показанном стрелкой. При подаче напряжения на подвижный электрод затвора 7 в подложке 1 индуцируется канал, который зависит от положения затвора. По мере продвижения подвижного электрода затвора от нулевого положения до

4Î максимального "макс эффект укорочения канала все более усиливается, т.е. увеличивается обедненная область, и следовательно, увеличивается крутизна, т.е. наклон статической характеристики, или, иными словами, чувствительность тока стока к перемещению подвижного электрода затвора.

Благодаря выполнению подвижного электрода затвора в форме треугольника он не полностью покрывает канальную область между истоком и стоком.

Это является большим преимуществом предлагаемого делителя, так как при этом резко увеличивается чувствительность тока стока к перемещению подвижной части. Электрод подвижного затвора может принимать и любую другую форму, кроме формы треугольника, от этого зависит функциональная зависимость тока стока .от перемещения подвижной части. Это свойство может быть использовано в функциональных устройствах информационно-измерительных систем.

Делитель наПряженйя на МДП-транзисторе, имеющий подвижный электрод и области истока и стока, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью увеличения чувствительности тока стока к перемещению подвижного электрода затвора, затвор выполнен в виде треу=ольника, причем одна из его сторон параллельна области истока.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент CbJA 93786919 кл . Н 01 L 11/14, 1974.

2. ТИИЭР, Окомото Угаи Делитель напряжения на МОП-транзисторе, т.59, 9 16, 1971, с.1535.