Высоковакуумный клапан

 

< e:i:äê ъ и

1 . .тмит съ г.в;у, ОП ИСАНИЙ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Ф) 614273

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.10,74(21) 2070263угб-08 (5в) М в< с присоединением заявки № (23) Приоритет. (43) Опубликовано 05,07,785юллетень Ж 25 (45) Дата опубликования описания 20.06 7 г 16 К 3/04

Гоаударставннмй «аатвт

Саевта Мнннатрвв ССР аа делам нэаарвтвннй н вткрапнй (53) УДК 621.646 (088.8) (72) Авторы изобретения

Eå Са Ермаков Ве Кi Лилье 8 g Лилье и Бю Гв JlbsoS (7! ) Заявитель

Московский институт электронного машиностроения (54) ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ КЛАПАН

Изобретение относится к вакуумной техни.ке, а именно к устройствам высоковакуумной коммутационной техники.

Известен клапан, предназначенный для перекрытия проходных отверстий, в нем герметично уплотненный вал передает движение каретке,.k которой посредством серег подвешена заслонка с уплотнительным элементом fl J.

Недостатком укаэанного клапана является неравномерное распраделение усилия по периметру уплотнительного элемента.

Наиболее близким решением к изобретению является высоковакуумный клапан, в котором вал-водило и каретка соединены шарнирно с регулируемым по длине звеном, при этом заслонка подвешена при помощи серег к нажимной втулке j2).

Недостаток данного клапана заключается в том, что усилие на уплотнительном элементе распределено неравномерно и для закрытия и открытия заслонки требуется привод большой мow ности.

Цель изобретения — уменьшение мощности привода клапана и равномерное распределение усилий иа уплотнительиом элементе.

Указанная цель достигается тем, что валводило выполнен в виде вала с рычагом, motoрые при закрытии и открытии клапана движутся поступательно, а при перемещении каретки сбразуют фиксированное соединение. На вал насажен профилированный кулачок, расположенный между двумя осями, закрепленными. на рычаге, имеющем продольный паз. Конец одной нэ осей, постоянно контактирующей с кулачком, после закрытия клапана расположен в пазу корпуса. Заслонка подвешена к каретке через втулку, закрепленную на .несущей р крышке каретки, посредством серьги, центрально расположенной относительнд заслонки.

Такое выполнение устройства обеспечивает снижение момента привода при закрытии клапана и .равномерное распределение усилий на уплотиителвном элементе.

На фиг. изображен предлагаемый клапан, продольный разрез; на фиг. 2 — разрез

A — А фиг. l; на фиг. 3 — вал-; на фиг. 4вид Б фиг. 3; на фиг. 5 — голожение кулачка при уплотнении заслонки и в момент перемещено ния каретки.

Клапан имеет корпус l с фланцами 2, расположенную внутри корпуса I каретку Э с роликами во взаимно перпендикулярных плоскостях, и узел вала-водила, состоящего иэ вава 4 д и .рычага 5. Рычаг 5 и каретка 3 соединены

614273 шарнирно через ограничитель 6 и ось 7 со звеном, регулируемым по длине, состоящим изгайки 8 и двух звеньев 9, 10 с левой и правой резьбой. Каретка 3 снабжена несущей крышкой 1, в которой расположена ось 7 и на которой подвешены.центрирующая втулка 12 и заслонка !3 с уйлотннтельным элементом 14:

Каретка 3 и заслонка 13 соединены при помо- . . щи осей 15 с серьгой 16. Заслонка 13 снабжена упором с роликом 17 и связана с несущей . крышкой ll пружинами 18. Узел вала-водила р состоит из вала 4, расположенного в корпусе 19, и рычага 5.с прорезями 20, состоящего из скрепленных между собой планок 2!. Между осью.,22 с роликом 23 и осью 24 со втулкой 25 расположен профилированный кулачок 26, который закреплен.иа валу 4. На последнем раз 15 мещены с возможностью перемещения планки 2?, соединенные со втулкой 28 пружинаMH 29. Вал 4 соединей с электродвигателем привода клапана.

При Огкрытии клапана электродвигатель щ вращает вал 4с профилированным кулачком 26 снимая усилие с несущей крышки ll. Пружины 29 воздействуют на рычаг 5, прижимая ° его к кулачку 26, при этом конец оси перемещается по прямому пазу корпуса 19. Рычаг 5 воздействует на несущую крышку 11, а пружины 18 прижимают заслонку 13 к несущей крышке и, открывая проходное отверстие в корпусе 1. При дальнейеем вращении вала 4 коц.ц оси 22 выходит из прямого участка паза корпуса 19, кулачок 26, поворачиваясь, воз- зо действует на ось 24 со втулкой 25, а ролик 23 попадает в вогнутый профиль кулачка 26, при этом вал 4 и рычаг 5 фиксируются друг относительно друга и перемещают каретку 3 до полного открытия проходного сечения. Закрытие клапана происходит в обратной последовательности, Благодаря такому выполнению устройства становится возможным значительное уменьшение мощности привода.н повышение срока службы уплотнительного элемента.

Формула изобретения

l. Высоковакуумный клапан, содержащий корпус с проходными отверстиями, в котором размещена заслонка с уплотнительным элементом, соединенная с валом привода при помощи серьги, каретки, регулируемого по длине звена и рычага, отличающийся тем, что, с целью уменьшения мощности привода, на валу установлен профилированный кулачок, в рычаге размещены ось и ролик, взаимодействующие с профилированным кулачком, а в корпусе выполнен паз, направляющий .ролик при срабатывании клапана.

2. Клапан по н. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности в работе уплотнительного элемента, серьга расположена центрально относительно заслонки.

Источники информации, принятые во внимание при эксчертизе:

1. Патент США № 3216694, кл. 25l — 153, 1965.

2. Авторское свидетельство СССР № 4292!9, кл. F 16 К 3/04, !974.

614273

A- А

Фиг. 2

4Ь. s

0НИИПИ Заказ 3670/32 ° Тираж 1!98 Подписное

Филиал ППП <Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4