Соната Министраа СССР по делам изобретений и открытий (43) Опубликовано05.08,78.Бюллетень № 29 (53) УДК6 21.783..2 (088.8) (45) Дата опубликования описания 22,06,78 (72) Авторы В. Н. Гончаров, В. И. Баталкин, Г. А. Фомин, изобРетении В. М. Тимофеев, В. И. Иванов и И. А. Горелов (71) Заявитель (54) КОМПРЕССИОННАЯ ЗЛЕКТРОПЕЧЬ

Изобретение относится к электропечам, работающим под избыточным внутренним давлением.

Известно устройство, включающее контейнер из нержавеющей стали в форме ци- З линдра, к которому с помощью шпилек крепится основание и крышка..В контейнере установлена печь сопротивления, которая состоит из платиновой спирали, намотанной на трубе яз 25% окиси апюми- тв ния, используется для нагрева кварцевого реактора закрытого с нижней стороны. В реактор помещается обрабатываемое иэделие и газ вЂ . реагент подается в контейнер 1).

Наиболее близкой к изобретению является компрессионная электропечь, включающая корпус с крышкой и расположенную " в нем реакционную камеру, в пространстве между которыми размещены теплоиэо- 20 ляция и нагреватели. Обработка произво« днтся в газовой среде обшей для aarpessssss и обрабатмеаемого иаиеиии (2).

Недостатками этой печи являются: реакционный объем сообщается с объемом 2З в котором расположен нагреватель и теплоизоляция, такая конструкция не обеспечивает в случае обработки полупроводниковых изделий необходимой чистоты; при использовании агрессивных газов, например кислорода, возникает необходимость использования для нагревателя и теплоизоляции материалов инертных по отноше нию к рабочему газу при температурах кимикотермическот о процесса; сильное вли кние эа счет конвективной составляющей резко возрастающей при повышении давле ния, на распределение температур в реак ционной зоне.

11елью изобретения являетси обеспече» нне высокой чистоты газа реагента путем разделения рабочей среды нагреватеая и рабочей среды реакционной камеры.

Указанная -цель достигается тем, что реакционная камера выполнена в sane ко« аксиально установленных колпаков, причем наружный колпак закреплен на корпусе, а внутренний на крьппке, при этом внутренний колпак снабжен дополнвтеаыеыми теплоиэоляпией с нагревателем.

6 18426

На чертеже изображена предложенная компрессионная печь.

Компрессионная печь состоит нз водоохлаждаемого корпуса 1 высокого давления, с размещенными в нем нагревателем

2 и теплоизоляцией 3. Реакционный объем отделяется от теплоизоляции и нагревателя кварцевым колпаком 4, уплотнение

5 которого размещено на водоохлаждаемой стенке корпуса. В кварцевый колпак

4 введен кварцевый колпак 6, заполнен- 10 ный теплоизоляцией 7. Колпак 6 уплотнен на водоохлаждаемой крышке 8 корпуса высокого давления уплотнением 9. Каналы подачи и сброса газа в колпак 4 и колпак 6 разделены. Канал подачи газа в 15 колпак 6 и корпус высокого давления объединены коллектором. Корпус 1 высокого давления запирается крышкой 8 с помощью уплотнения 10. В колпаке 6, в торцовой части установлен дополннтель- 20 ный нагреватель 11.

Компрессионная электропечь работает следующим образом.

Разогревается до требуемой темпера. туры печь с помощью нагревателей 2 и .2s

11. С помощью системы сброса и напуска газа, обеспечивающей подачу инертного газа в корпус высокого давления и газа реагента в реактор, с равным давлением и течении всего процесса напуска, произ- 30 водится наполнение компрессионной печи.

Так как теплоемкость газа мала, то напуск нв сказывается на температурное поле печи. Конвекция, возникающая между холодной крышкой 8 и г рячими стен ками колпака 4, подавляется за счет малого зазора между колпаками 4 и 6. По окончании процесса газ сбрасывается в атмосферу с помощью системы подачи и сброса газа с поддержанием ровного давления в корпусе высокого давления и в реакторе. Результаты технологических испытаний дали предварительный экономический эффект от внедрения в существующую технологик 250 млр. в год. Ис пользование изобретения позволит освоить в промышленности принципиально новые направления в технологии производства интегральных схем.

Формула изобретения

Компрессионная электропечь, содержащая корпус с крышкой и расположенную в нем реакционную камеру, в пространстве между которыми размещены теплоизоляция и нагреватели, о т л и ч а ю. щ. ая с я тем,. что, с целью обеспечения высокой чистоты газа реагента, реакционная камера выполнена в виде коаксиально установленных колпаков, наружный колпак закреплен на корпусе, а внутренний на крышке, н снабжен дополнительными -теплоизо ляцией и нагревателем., Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент Англии Ж 1.203.211; кл. Р 4В, 1970.

2. Авторское свидетельство СССР

% 461140, кл. С 21@ S/OO, 1972, ЦНИИПИ Заказ 4213/23

Тираж 716 Подписное

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Похожие патенты: