Устройство для стабилизации температуры резистивных испарителей

 

О П И С- -А,.Н И

ИЗОБРЕТЕН И

Союз Советских

Социалистических

Республик (i) 618729

К АВТОРСКОМУ СВИДВТИЛЬ (63) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 01.08.78(2l) 2392219/ с присоединением заявки 34 (23) Приоритет

2 (5!) М. Кл.

405 2 23/1 9

Государственный камнтет

Совета Мнннстрвв СССР вв делам нзвбретеннй

N OTKPblTllN (43) ОпубликоваиоО5.08. 78.Бюллетев (53) УДК 621.555.. 6(088.8) (4б) Дата опубликования описания 30 (72) Авторы изобретения

А. И. Веспальчик и В. H. Глебов

Казанский ордена Трудового Красного Знамени авиационный институт им. А. Н. Туполева (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СТАВИЛИЗАБИИ ТЕМПЕРАТУРЫ

РЕЗИСТИВНЫ Х ИСПАРИТЕЛЕЙ

Изобретение относится к приборостроению, в частности, к устройствам стабилизации температуры нагретых тел в вакууме, например, резистивных испарителей, применяемых в вакуумной технологии для получения пленочных покрытий.

Имеются объекты, находящиеся в вакууме, которые нагревают, пропуская через них ток накала, причем температура их должна поддерживаться постоянной с высокой точностью (например, реэистивные испарители). Однако применение контактных датчиков температуры на этих объектах не всегда возможно.

В таких случаях стабилизируют температуру косвенным образом, например, с помощью стабилизатора тока накала.

Известно устройство для стабилиза.ции температуры резистивных испарителей, имекхцее источник тока накала испарителя pl) .

В вакуумной технологии получения пл -ночных покрытий широко применяются резистивные испарители. Температура испарения (особенно для сложных вещес гв) должна стабилизироваться с погрешностью не более 1%. Устройства для стабилизации температуры, стабилизирующие ток накала, часто не соответствуют этим требованиям, особенно в динамике, так как имеют место различные возмущающие воздействия на температуру непосредственно в испарителе (погрешность установки испарителя, изменение количества испаряемого вещества и т. n.).

Белью изобретения является повышение точности ус"тройс:тва.

Эта цель достигается тем, что содержит устройство источник постоянного напряжения и металлический элект-. род, подключенный к положительному полюсу источника постоянного напряжения, отрицательный полюс которого под20 ключен к резистивному испарителю, являкяцемуся вторым электродом.

На чертеже изображена функциональная схема предлагаемого устройства тля стабилизации температуры резнстяв2в юго испарителя.