Способ контроля герметичности замкнутых изделий

 

Союз Советских

Социалистимеских республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ к двто скомь свидитильствю (11) 619815

Я (51) М. Кл. (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) ЗаявленоО7.1О.76 (21) 241124О/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет(43) Опубликовано 15.08.78.Бюллетень № ЭО

g О1 М ЗГОО

Государственный иомнтет

Совете Министров СССР во делам изооретеннй н открытий (53) УДК 62О.165. . 29 (088. 8 ) (45) Дата опубликования описания 29.06.78 (72) Автор, изобретения

В. Т. Кузьмина (71) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ

ЗАМКНУТЫХ ЙЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способу контроля герметичности замкнутых изделий с помощью масс-спектрометрического тече- искателя. 9

Известен способ контроля герметичности замкнутых изделий, по которому изделия предварительно либо заваривают в атмосфере, содержащей пробный газ, либо опрессовывают, помещая изделие в проб- 10 ный гаэ, затем переносят иэделие в вакуумную камеру и определяют утечку 06ного газа в ней с помощью масс-спектрометрического течеискателя P)

Этот способ обладает высокой чувстви- 15 тепьносгью прн поиске малых течей, но не позволяет выявлять изделия с большими течами, так как пробный газ успевает вытечь из иэделия до помещения его в вакуумную камеру либо за время откач- 20 ки камеры до момента контроля.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является способ контроля герметичности замкнутых изделий, например корпу- 25 сов полупроводниковых приборов, по которому на стадии сборки внутрь: контролируемого иэделия, например, в карман, сое диненный через.капилляр с полостью иэделия, помещают вещество, замедляющее истечение пробного газа из изделия, путем насыщения агого вещества пробным газом, затем изделие заполняют пробным газом, после чего переносят его в вакуумную .камеру, утечку пробного газа в которую из изделия определяют с помощью мась-спектрометрического течеискателя 2

Данный способ позволяет расширить диапазон измерений в сторону больших течей. Однако в технологический процесс производства иэделий необходимо ввести дополнительные операции по размещению и закреплению сорбенга внутри изделия.

Особые трудности представляет введение сорбента s изделия с малыми объемами, например в полупроводниковые приборы.

Кроме того, вьщепение пробного газа из сорбента из герметического. иэделия моокет нарушить газовое равновесие полупро619815

Составитеиь В. Новичкова

Редактор И. Маргопис Техред О, Андрейке Корректор Д. Мепьниченко, т

Заказ 4494/38 .Тираж 1112 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по депам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Фипиап ППП Патент", г. Ужгород, уп. Проектная, 4 водникового прибора и привести к изменению его характеристик. цепь изобретения — упрощение способа контропя герметичности замкнутых издепий.

Эта цель достигается благодаря тому, что предлагаемым способом в качес » ве вещества, эамецпяющего истечение

t пробного газа из издепия, испопьэуют воду, насыщенную пробным газом, например гелием, а заполнение изделия пробным газом осушествпяют помещая изделие в воду.

Способ осуществпяют- спедующим образомм. Замкнутые издепия погружают в воду, насыщенную гением, которая проникает при этом топько внутрь негерметичных издепий. Затем их переносят в вакуумную камеру. В вакууме из:воды выделяется гений, обнаруживаемый с помощью массспектрометрического течеискатепя.

Применение предпагаемого способа поэвопяет выявить издепия с бопьшими течами, ранее не обнаружив емыми при опрес. д совке иэцепий в гепии.

Фор муна изобретения

Способ контропя герметичности замкнутых изцепий, например корпусов попупроводниковых приборов, в широком диапазоне измеряемых утечек с испопьзованием вещества,, замедпяюшего истечение пробного газа из иэдепия, путем насыщения этого вещества пробным газом, по которому изделие эапопняют пробным газом, У а затем. переносят иэдепие в вакуумную камеру, утечку пробного газа в которую опредепяют с помощью масс-спектрометрического течеискатепя, о т и и ч а юш и и с я тем, что, с цепью упрощения, в качестве вещества, замедпяюшего истечение пробного газа из изделия, испопьзуют воцу, насыщенную пробным газом, а за попнение изцепия пробным газом осушествпяют, помещая в нее иэдепие.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1, Барышникова Н. Г. и др. Массспектрометрический метод контропя rep метичности. "Эпектронная техника", сер. 8, № 7, 1972.

2. Авторское свидетепьство СССР

¹ 323684, кп. Ct 01 Я 31/22, 1969.