Устройство для измерения малых токов

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДВТВЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических республик (6!) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 16. 12.75(2!)2198398/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет(43) Опубликоваио25.О8.78. Бюллетень № 31 (4б) Дата опубликования описания 10.07.78

/ (5!) М. Кл.

Я Оl g 19/ОО

ГосударстаеннмМ наннпнт

Совета Инннстрна щр в делан нзнбратнщй н нтнрытнй (53) УДК 621.317.. 7 (088.8) A. A. Гоньдин, Е. С. Гузиков, Ю. А. Исаков изобретения н В. А. Павпенко

Ордена Трудового Красного Знамени спвциапьное конструкторское бюро анапитического приборостроения НТО AH СССР (7!) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ТОКОВ

Изобретение относится к эпектронэме ритепьной технике и может быть испопьэовано в качестве иэмеритепя ионных токов

Ь масс-спектрометрии.

Лпя измерения пзстоянных и медпенно меняющихся токов в диапазоне (1О

1О ) А широко применяются ингегри«г» рующие эпектрометрические усипи тени, работа которых основана на опредепении заряда, накоппеиного конденсатором, заря- та знаемым измеряемым током as некоторое время g и поспедующим разрядом с помощью перекпючающнх устройств, вкпюченных параппвпьно накопи гепьному !конденсаторуу fl)

1S,)!едостатками устройств с разрядом кон« денсагора механическими контактами явцяются бопьшая емкость контактов, пара зигные заряды, генерируемые при размь»- 2в канин контактов, неустойчивость к механическим воздействиям.

Наиболее совершенным явпяется устройство дпя измерения малых токов с беоконгактным разрядом накопнтепьного кон- 2 денсатора прн помощн.спецнапьного эпек ронно;-ионного компенсатора $2) .

Устройство содержит эпектрометричв, скнй усипнтепь, накопнтепьный конденсатор, вкпюченный между выходом и входом уснпнтепя, перекпючатепь; к выходу уснпнтепя через вспомогатепьный уснпнгвпь подкпючен вакуумный эпвкгронно-ионный компенса тор.

Однако недостатком этого устройства явпявтся ограничение чувсгвитвпьносгн измерения, вызванное паразнтнымн емкостями и токами. утечек эпвкгронно-ионного компвнсатора. !

1епью изобретения явпяется повыше ние чувсгвнгвпьностн устройства дпя измерения мапых гоков.

Дпя достижения этой цепи в устройст ее дпя измерения мапых гоков содержа щем уснпнтепь с эпвктромвтричвской пампой на входе, накопительный конденсатор, включенный между выходом уснпнтепя и управпякпцвй сеткой эпектромвтричвской пампы, к выходу усипнтепя поспедова тельно подсоединены пврекпючагвпь н

3 6209О1 4 вспомогатвпьный усипитвпь, выход вспо;- сов обеспечивает ппавное изменение средмогатвпьного усилитепя через введенные него значения напряжения смещения на в схему импупьсный преобраэоватепь нап- сетке входной пампы до уровня, предшестряжения в частоту и раэдепигепьный кон- вующего начапу интегрирования. При напденсатор соединен, ". -с катодом эпектро- ряжвнии на выходе интегрирующего усиметрической пампы, тепя 1, бпизком к нупю, происхоцит срыв

На чертеже представпена эпектриче- койебаний првобразоватепя и прекращение окая схема устройства. разряда накопитепьного конденсатора. ИмУстройство содержит интегрирующий пудьсный характер сеточного тока не при усилитель ь 1 с электрометрической лам- водит к изменению режима работы пампы пой 2 на входе. С выхода усипитепя на п по постоянному току и появлению допопн«управпяющую сетку входной пампы 2 по- тепьного дрейфа. дана отрицатепьная обратная связь через Таким образом, в предпагаемом усгнакопитепьный конценсатор Э. Зпектрон- ройсгие устранены недостатки известного ный перекпючагепь 4 соединяет интегри- устройства, вызванные допопнитепьными рующий ус«н со вспомогатепьным уси- паразигными емкостями и токами утечки питепем S. Между вспомогатепьным уси эпектронно-ионного компенсатора, что сопитепем и катоцом эпектромвтрической «ействует повышению чувствитепьносги

;пампы вкпючен импупьсный првобразова- устройства. тепь 6 на ряжения в часто у чвр раз- Ф о р м у и а и э о б р е т е н и я . депитепьный конденсатор 7.

При замыкании перекпючагепя 4: вы- Устройство дпя измерения мапых гоходное напра«ение интегрирующего ус«пи "ков, содержащее усипнтепь с enearpoaseW тепя через вспомогатвпьный усипитепь за- рической пампой на входе, накопитепьный пускает.импупьсный преобразоватвпь, ге- конденсатор, вкпюченный между выходом нерирующий «мпупьсы напряжения бопьшой,33 усипитепя и управпяющей сеткой эпвктро» скважности. Попярносгь импупьсов на вы- метрической пампы, к выходу усипитввя ходе преобразоватеця та же, что и попяр- поспедоватепьно подсоединены перекцюча ность напри сепия на выходе интегрирую- гепь и вспомогагецьный усипитепь, î гщего усипитепя, а частота спедования им- л и.ч а ю m е е с я тем, что, с цепью пупьсов пропорциональна абсопютной вени 3О увепичения чувствитецьностй; выход вспо чине этого напряжения. могатепьного усипитвпя через введенные

Импупьсы преобразоватепя поступают в схему импульсный преобразоватепь нап4 ° через раздедигепьный конденсатор 7 на ряжения в частоту и раздепитепьный кон катод эпектромегрической пампы 2 и, в за денсатор соединен с катодом эпвктромегВисимос ги О г попяр нос ги вызывают им» 3$ р ичеокой пампы ее пупьсы эпектронной нпи ионной составпяю- Источники информации, принятыв во щей сеточного тока пампы, разряжающие внимание при:экспертизе: . накопитепьный конденсатор 3. По мере 1.",Èçìåðèòånüíàÿ, техника, М 4, 1973, разряда конденсатора 3 частота спедова- с. 51-52., ния выходных импупьсов преобраэоватепя <о 2. Авторское свидетепьсгво М 2524g5, уменьшается. Уменьшение частоты импуа кп. Iq 01 Я 19/00, 21.09.70.

4648/41

Подписное Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4.