Устройство для измерения продольной аберрации микрообъективов

 

623124 расположена в плоскостй предметов микрообъектива 5. Лучи от марки 4 прохо дят микрообъектив 5, диафрагму 6, расположенную в плоскости выходного зрачка микрообъектива 5 и выделяющую исследуемые зоны, и собираются в плоскости иэображений микрообьектива 5, с которой совмещен центр кривизны зеркала

7, и, отразившись от него по нормали, снова проходят через диафрагму 6, микрообьектив 5 и собираются в плоскости щ предметов микрообьектива 5, где и образуется. перевернутое автоколлимационное изображение марки 4. Марка 4 и автоколлимационное иэображение наблюдаются в стереомикроскоп 9. 15

Диафрагмой 6 выделяют, исследуемую зону, т. е. открывают два симметричных относительно оптической оси отверстия 10, которые и определяют высоту падения пучков лучей на микрообъектив 5. 20 Перемещением зеркала 7 добиваются совпадения его центра кривизны с плоскостью иэображений микрообъектива 5 для исследуемой зоны. Момент совпадения характеризуется совмещением марки 25

4 и его автоколлимационного изображения по глубине и наблюдается стереомикроскопом 9; Далее выделяют другую исследуемую зону. При этом, если существует продольная сферическая аберрация, то плоскость изображений для этой зоны не совпадает с центром кривизны зерка— ла 7 и наблюдается расхождение марки . 4 и его автоколлимационного изображения, т. е. они кажутся по-разному удаленными от наблюдателя. Перемещением сферического зеркала 7 добиваются сов« мещения марки 4 и автоколлимационног изображения. Продольную сферическую аберрацию определяют как разность перемещений зеркала 7.;Величину перемеще ний измеряют устройством 8, например оптикат ором., Измерение продольной хроматической аберрации производится так же как измерения продольной сферической аберрации, однако при этом в процессе измерений меняют светофильтры, а исследования ве- дут для одной зоны.

Формула изобретения

Устройство для измерения продольной аберрации микрообъективов, содержащее источник света, конденсор, марку, микрообъектив, сферическое зеркало, наблюдательную систему, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью измерения продольной аберрации микрообъективов, центр кривизны сферического зеркала, снабженного устройством для измерений продольных перемещений, совМещен с плоскостью изображений микрообъектива, в плоскости предметов которого расположены марки, а в плоскости выходного зрач-. ка — диафрагма, выделяющая исследуемые зоны.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.

1. Журнал "Оптико-механическая промышленность", No 1, 1935, с. 5-9.

2. Авторское свидетельство СССР, No 67224, кл. Gr 01 М 11/02, 1946.