Способ определения температуры проводящего канала в переключающем элементе

 

О С„„)ИЕ

ИЗОБРЕТЕЙИЯ

Союз Севетснмя

Сецмалмстмчесммх

Распублмм (il} б 2 735 3

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свнд-ву— (22) Заявлено 2801.77 (21) 2447737/18-10 с присоединением заявки йа (23) Приоритет (43) Опубликовано 051078.Бюллетень,% 37 (45) Дата опубликования описания 1608.78 (И) N. Кл.

Q 01 К 7/30

Государственный комитет

Совета Министров СССР по девам изобретений и открытий (53) УДК 53б.53 (088 ° 8) (72) Авторы изобретения

A.Â.Ïðèõîäüêî, Ю.С.Либерис, В.A.Âàðåéêèñ и A.À.×åñíèñ (73) ЗаяэктЕЛЬ Институт Физики полупроводников АН Литовской ССР (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ПРОВОДЯЩЕГО

КАНАЛА В ПЕРЕКЛЮЧАЮЩЕМ ЭЛЕМЕНТЕ

Изобретение относится к области измерительной техники, преимущественно техники, предназначенной для исследования полупроводниковых приборов, и может быть использовано при определении температуры проводящего канала в переключающем элементе на основе, например, аморфных или стеклообразных полупроводников.

Известны способы определения температуры проводящего канала в переключающем элементе, основанные на измерении мощности, выделяющейся в .канале лри протекании через него электрического тока. Предполагая, что после перехода переключателя в ниэкоомное состояние вся электрическая мощность выделяется в канале, оценивают объем канала и вычисляют

его температуру иэ условия теплового баланса (1 .

Точность этих споСобов, однако, сравнительно низка, посКольку нет воэможности точно определить тепловые характеристики канала, а также условия отвода телла в окружающую его среду. Кроме того, точность измерений зависит от конструктивных особенностей исследуемого переключателя.

Она является наибольшей при исследованин элементов с оптически прозрачной межэлектродной средой или хотя бы с одним прозрачным токовык электродом. Резкое же уменьшение точности при исследовании элементов, не удов« летворяющих укаэанным требованиям, связано с тем, что в данном случае имеется возможность тслько приблизительно оценить объем канала.

Известен также способ определения температуры проводящего канала, основанный на измерении спектральной плотности напряжения теплового шума н электрического дифференциального сопротивления переключающего элемента в низкоомном состоянии (2). Предполагая, что после перехода переключателя в ниэкоамное состояние шумит только область канала, т.е. сопротивление переключателя определяется сопротивлением канала, температуру вычисляют по Формуле Йайквнста.

Однако в данном случае погрешность измерений возникает Нэ-эа того, что не учитывается тепловой шум неканальной среды, Чем больше его вклад в общий шум переключателя, т.е. чем мень,ше разница между сопротивлениями канала и неканальной области, тем боль» ше погрешность измерений.