Паста для травления титана и его сплавов

 

630281

3 оля!!ая к!!Слота (, д. вес 1,14) тч,зотпая кислота (уд. все 1,29)

Наполпитсль

Пленкообразующсе våщество

Поверхностно-.-;: тивпое ве!цс: "L;о

Фтористый аммоний

Вода

15 — 20

5 — 10

13 — 1б

48 — 54

0,5 — 1,2

1,5 — 5,0

Остальное

Составитель Н. Гаигардт

Техред Л. Камышиикова

Редактор Т. Пилипенко

Корректор Л, Тарасова

Заказ 1806/16 Тираж 799

ППО осударствеппого комитета Совета Министров СССР!

10 делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раугпская паб., д. 4/5

Подписное

Типографии, пр. Сапунова, 2

В процессе травлен:!я па поверхности образцов образовывается пористая, эластичная полимсризовапная пленка, которая легко удаляется скатыванием в рулон !!Ли

«чулком». 5

Поверхность всех образцов после удаления прореагировавших паст чистая, цвет серый, матовый. Матовая поверхность металла не требует доработки.

Использование изобретения позволяет по- 10 высить производительность труда при о гистке поверхности металла в 1,5 — 2 раза за счет быстрого удаления прореагировавшей пасты в виде полимерной пленки взамен ручной очистки абразивными шк, рками, 15 улучшить условия труда за счет исключения запыленности рабочсго места и введения менее токсичного фтористого аммония взамен плавиковой кислоты.

Пасту можно применить для местной об- 20 работки поверхности крупногабаритных сборных конструкций.

Формула изобрстсния

Паста для травления т!!тапа и его сила- 25 вов, включающая соляную и азотную кислоты, паполпнтсль и воду, отличающаяся тем, что, с целью улучшения условий труда, она дополнительно содержит пленкообразующее вещество, поверхностно-активное всщсс..во и фтористый аммоний при следующе:: соотношении компонентов, вес.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Хаин И. И. Теория и практика фосфатпровапия металлов. М., 1973, с. 170 — 172.

2. Лв!орскос свидетельство СССР

М 207287, кл. С 23F 3/00, 1972.

Паста для травления титана и его сплавов Паста для травления титана и его сплавов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к химической обработке поверхности металлов, в частности удалению защитного покрытия, состоящего из подслоя титана и слоя нитрида титана, нанесенного ионно-плазменным напылением

Изобретение относится к химии и может быть использовано при обработке кварца

Изобретение относится к химическому удалению оксидных пленок гафния и циркония с поверхности токонепроводящих изделий и может быть использовано в приборостроении для восстановления свойств оптических стекол

Описано применение поверхностно-активных веществ A, 1 мас.% водный раствор которых имеет статическое поверхностное натяжение <25 мН/м. Указанные поверхностно-активные вещества A содержат три короткоцепочечные перфторированные группы Rf, выбранные из группы, состоящей из трифторметила, пентафторэтила, 1-гептафторпропила, 2-гептафторпропила, гептафторизопропила и пентафторсульфанила, для производства микросхем. Способ фотолитографии с применением поверхностно-активных веществ A в иммерсионных фоторезистных слоях, фоторезистных слоях, подвергающихся воздействию актиничного излучения, проявляющих растворах для экспонированных фоторезистных слоев и/или в химических промывочных растворах для проявленных структурированных фоторезистов, содержащих структуры с расстояниями между линиями менее 50 нм и со значениями аспектного отношения >3. Посредством поверхностно-активных веществ A предотвращается разрушение структур, уменьшается размытие края изображения, удаляются дефекты в виде следов от воды и предотвращается их появление, а также уменьшаются дефекты вследствие удаления частиц. 2 н. и 13 з. п. ф-лы, 1 пр.
Наверх