Устройство для измерения магнитных свойств тонких пленок

 

ОПИСА E

N3OSre V.VHp

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических

Реапублкк () 638964 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено260177 (2l) 2444755/18-21

С присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 251278. Бюллетень ¹ 47 (45) Дата опубликования описания 25.1278 (51) М. Кл.

Ci0L Я 33/12

Государственный комнтет

Совета Министров СССР по делам нзобретеннй н открытий (53) УДК 621.317..444(088.8) (72) Авторы изобретения

Л. П. Страхов и К. M. Рашидханов (71) ЗаяВИТЕЛЬ Ленинградский ордена Ленина и ордена Трудового Красного

Знамени государственный университет им. A. A. Жданова (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАГНИТНЫХ СВОЙСТВ

ТОНКИХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к магнитометрии.слабомагнитных материалов, используемых в виде тонких пленок полупроводников, металлов или диэлектриков. 5

Известны устройства для измерения магнитных свойств тонких пленок висмута, содержащие стеклянную пластину, подвешенную вертикально в магнитном поле (1) . 10

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для измерения магнитных свойств тонких пленок, содержащее корпус и испаритель (21 . 15

Недостатком известных устройств является низкая точность измерения.

Для повышения точности измерения в устройство для измерения магнитных свойств тонких магнитных пленок, со- 20 держащее корпус и испаритель, дополнительно введены полюсные наконечники, расположенные с обеих сторон корпуса, магнитный подвес с кварцевой нитью, на которой укреплен диск из слабомаг- 25 нитного материала, размещенные внутри корпуса, а также подвижная кварцевая трубка и маска-трафарет, размещенные между испарителем и диском из слабомагнитн;:.-о материала. Внутренняя по- ЗО верхность корпуса может быть покрыта проводящим слоем.

На чертеже представлена структурная схема устройства.

Устройство содержит диск 1 из слабомагнитного материала, маску-трафарет

2, испаритель 3, проводящее покрытие

4, кварцевую нить 5, кварцевую трубку б, магнитный подвес 7 и полюсные наконечники 8 и 9.

Устройство работает следующим образом.

В процессе обезгаживания прибора необходимо обезгазить испаритель с веществом. Это достигается прогревом испарителя при расположении кварцевой трубки в положении б, предотвращающем попадание молекулярного пучка на дискподложку. Затем кварцевую трубку 6 перемещают в положение 6 и включением

/ магнита убеждаются в отсутствии крутящего момента диска без пленки в магнитном поле. Далее выключают магнит и включают испаритель, время работы которого задает толщину исследуемой пленки. Новое включение магнита дает возможность оценить крутящий момент и, следовательно, магнитную восприимчивость исследуемой пленки. Операцию нанесения пленки можнс повторять мноб38904 гократно, наращивая ее толщину. Введение и прибор контролируемого количества газов позволяет исследовать их влияние на магнитные свойства тонкой пленки. которой укрг; лен диск из ;лабомагнитного материал,, размещенные внутри корпуса, а также подвижная ква;цевая трубка и маска-трафарет, размещенные между испарителем и диском из слабомагнитного материала.

2. Устройство по г,. 1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что внутренняя поверхност корпуса покрыта проводящим слоем.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.C.Т.Lane,Natu1-е 130, 999, 1932

Формула изобретения

1.устройство для измерения магнитных свойств тонких пленок, содержащее корпус и испаритель,о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью повышения точности измерения, в него дополнительно 10 введены полюсные наконечники, расположенные с обеих сторон корпуса, магнитный подвес с кварцевой нитью, на

2.S.G.Hudgens, Phus.Hew В.solid State, 1973,7 / 6, 2461-24В5.

Заказ 7214/34 Тираж 1070 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель Л.Воронина

Редактор Т.Иванова Техред З.Фанта Корректор Е.Дичинская