Мишень видикона

 

ц640384

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сове Севетаких

Со иалистииеских

Реслублии (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 08.08.77 (21) 2516096/18-25 с присоединением заявки № (51) М Кл з

Н 01J 29/45

ГосУдарстеенный камитет (23) Приоритет (53) УДК 621.385.832 (088.8) (43) Опубликовано 30.12.78. Бюллетень № 48 (45) Дата опубликования описания 30.12.78 по делаи изобретений и открытий (72) Авторы изобретения Н. Б. Захарова, С. А. Плахов, Ю. А. Черкасов и И. И. Ятлинко (71) Заявитель (54) МИШЕНЬ ВИДИКОНА

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к мишеням передающих телевизионных трубок типа види кон.

Известна мишень видикона, выполненная на основе аморфного селена и чувствительная в ультрафиолетовой области спектра (1).

Недостатком такой мишени является рост сигнала во времени и большая инерционность спада остаточного сигнала при работе в стандартном режиме разложения.

Известна также другая мишень видикона, содержащая подложку, фотослой и расположенный между ними сигнальный электрод (2).

Сигнальный электрод с целью увеличения чувствительности мишени в УФ области спектра выполнен из благородных металлов, например палладия, прозрачных в этой области спектра.

Недостатком этой мишени видикона является относительно узкая область спектральной чувствительности.

Целью изобретения является расширение области спектральной чувствительности мишени видикона в случае несовпадения спектральных характеристик пропускания сигнального электрода и чувствительности фотослоя 0, как следствие, получение мишени видикона, чувствительной в УФ области спектра, работающей в стандартном режиме разложения без эффекта роста сигнала во времени и с малой инерционностью спада остаточного сигнала.

Указанная цель достигается тем, что сигнальный электрод выполнен в виде дискретной структуры, элементы которой имеют общий электрический вывод, а шаг в на10 правлении строчного разложения не превышает элемента изображения.

Дискретная структура может быть выполнена полосчатой или в виде сетки.

Такая структура сигнального электрода

15 позволяет использовать любой электропроводящий материал для его изготовления.

Использование такого сигнального электрода в сочетании со слоями на основе селенида кадмия позво.чяет реализовать в мишени

20 видикона спектральную чувствительность фотослоев во всей области ее существования и, таким образом, получить мишень видикона, работающую в УФ области спектра как в стандартном, так и в ма.чокадровом

25 режимс разложения без недостатков, присущих мишеням с фотослоями на основе аморфного селена.

Предлагаемый сигнальный электрод можcr быть изготовлен любым известным ме30 тодом, позволяющим получить дпскретныс

640384

Формула изобретения

Составитель В. Белоконь

Техред А. Камышникова

Редактор Н. Коляда

Корректор О. Тгорина

Заказ 2358/17 Изд. Ма 810 Тираж 922 Подписное

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 структуры с требуемым шагом, например, методом фотолитографии и химического травления. Сигнальная пластина с дискретным сигнальным электродом имеет диапазон прозрачности, ограничиваемый краем полосы пропускания подложки, Использование сигнального электрода, выполненного в виде дискретного растра, приводит к значительному уменьшению потерь световой энергии, особенно в вакуумной УФ области спектра, из-за отсутствия дополнительного поглощения материалом сигнального электрода.

Можно считать, что механизм работы такой мишени по существу не отличается от механизма работы обычной гетероструктурной мишени видикона, поскольку использование сигнального электрода в виде растра с размером ячейки 5 — 15 мкм слабо искажает электрическое поле.

На чертеже представлен один из возможных вариантов предлагаемой мишени.

На прозрачную в УФ области спектра подложку 1 нанесен в виде сетчатого растра сигнальный электрод 2, имеющий общий вывод 3 и фотослой 4. Подложка выполнена из плавленного кварца. Сигнальный электрод выполнен из двуокиси олова в виде сетки с размером ячейки 5 — 15 мкм, шириной прутка 5 — 15 мкм и получен из сплошной пленки, нанесенной методом катодно-реактивного распыления. Сопротивление такого электрода на расстоянии 14 мм между приложенными электродами составляет 4 — 5 кОм. Спектральное пропускание сигнальной пластины на 1=254 нм составляет не менее 70 /о, тогда как для сплошной сигнальной пластины при прочих равных условиях пропускание составляет не более 30 /о. Фотослой представляет собой многослойную композицию, включающую фоточувствительный слой селенида кадмия, промежуточный слой, содержащий соединения кадмия, кислорода и хлора, например оксихлорид кадмия, толщиной 10 — 20 А, и слой высокоомного полупроводника, например, трисульфид мышьяка — сурьмы. Данный фотослой обладает при работе в стандартном режиме разложения высокой интегральной чувствительностью, малой инерционностью и высокой спектральной чувствительностью в УФ области. Видикон с такой мишенью может использоваться в систсмах космического, специального или промышленного телевидения, работающих как в стандартном, так и в малокадровом режиме разложения как в видимой, так и в УФ области спектра.

Мишень видикона, содержащая подложку, фотослой и расположенный между ними сигнальный электрод, о т л и ч а ю щ а яся тем, что, с целью расширения области спектральной чувствительности, сигнальный электрод выполнен в виде дискретной структуры, элементы которой имеют общий электрический вывод, а шаг в направлении строчного разложения не превышает элемента изображения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

¹ 357623, кл. Н 01 J 29/44, 1974.

2. Авторское свидетельство СССР № 498662, кл. Н 01J 31/38, 1976.