Сорбционный высоковакуумный насос

Авторы патента:

МАКСИМОВ СЕРГЕЙ ПЕТРОВИЧ

ДМИТРУК МИХАИЛ ИВАНОВИЧ

КРАВЦОВА ВАЛЕНТИНА ПАВЛОВНА

F04B37/02 - для создания вакуума путем абсорбции и адсорбции (абсорбция или адсорбция вообще B01J)

О ИСАНИЕ 6411И

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЙТВЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублия (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 30.08.77 (21) 2520945/25 0g (51) М. Кл.

F 04 В 37/02 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Геаударстеенней немнтет

СССР не денем изабретеннй н открытий

Опубликовано05.01.79.Бюллетень ¹ 1

Дата опубликования описания 08.01.79 (5З) llK 621.528, . 3 (088. 8) С. П. Максимов, М. И. Ймитрук и В. П. Крав %И - вЂ” =-=

i"--,â€”, (72) Авторы изобретения

I (7I) Заявитель (54) СОРББИОННЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству сорбционных вакуумных насосов.

Известны сорбционные вакуумные насосы, содержащие корпус с размещенным в нем сосудом для хладагента, на поверхности которого закреплен тканевый сорбент (lj .

В известных насосах для размещения сорбента используется только одна цилиндрическая поверхность сосуда, что ограничивает ресурс работы насоса.

Известны также сорбционные вакуумные насосы, содержащие корпус с размещенным в нем сосудом для хладагента, выполненным в виде концентрично расположенных цилиндрических стаканов с закрепленным на них сорбентом (21. Эти насосы являются наиболее близким техническим решением к изобретению.

В известных zacocax для закрепления сорбента используется большая площадь сосуда, что позволяет увеличить его ресурс.

Однако гранулированный сорбент, применяемый в насосе, обладает малой теплопроводностью, что не позволяет обеспечить равномерное охлаждение слоя сорбента и снижает ресурс работы насоса.

Цель изобретения - увеличение ресурса работы насоса при использовании тканевых сорбентов.

Указанная цель достигается тем, что между слоями сорбента расположена перфорированная фольга из высокотеплопроводного материала, прикрепленная с тепловым контактом к стаканам, и слои сорбента и фольги поджаты к поверхностям станков перфорированными упругими элементами.

Фольга имеет чередующиеся с обоих краев прорези.

На фиг. 1 показан предлагаемый насоб, разрез; на фиг. 2 - узел крепления фольги к поверхности сосуда; на фиг. 3 вЂ” размещение перфорированного упругого элемента.

Сорбционный высоковакуумный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем

641155 сосудом для хладагента, выполненным в виде коыцентрично расположенных стаканов 2 с закрепленным на них сорбентом

3, между слоями которого расположена перфорированная фольга 4 из высокотеплопроводного материала. Фольга 4 прикреплена с тепловым контактом к стаканам 2, и слои сорбента 3 и фольги 4 поджаты к поверхностям стаканов 2 перфорированными упругямя элементами 5. tO

Перфорация элементов 5 вьптолнена для обеспечения подвода газа к сорбенту под поверхностью элементов. Фольга 4 имеет чередующиеся с обоих краев прорези для лучшего прижатия слоев фольги и сорбен- 15 та между собой, Насос работает следующим образом.

При заливе хладагента в сосуд происходит охлаждение предварительно отрегенерированного сорбента 3 и он начинает2п сорбировать газ из откачиваемого объема. Использование в насосе нескольких слоев тканевого сорбента в сочетании с фольгой из высокотеплопроводного мате риала позволяет улучшить условия охлаж« дения сорбента и увеличить ресурс работы насоса.

Формула изобретения

1. Сорбционный высоковакуумный насос, содержащий корпус с размещенным в нем сосудом для хладагента, выполненным в виде концентрично расположенных цилиндрических стаканов с закрепленным на них сорбентом, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения ресурса работы насоса при использования тканевых сорбентов, между слоями сорбен« та расположена перфорированная фольга из высокотеплопроводного материала, прикрепленная с тепловым контактом к сгаканам, и слои сорбента и фольги поджаты к поверхностям стаканов перфорированными упругими элементами.

2.Насоспоп, 1,отличаюшийся тем, что фольга имеет чередующиеся с обоих краев прорези..

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Журнал Вопросы атомной науки и техники, серия Физика и техника высокого вакуума, r. Харьков, ХФТИ АН

УССР, 1976, вып. 1/5, с. 42-46.

2. Авторское свидетельство СССР

Ии 180291, кл. F 004 4 BВ 3377//0022, 1965.

643. 155

Составитель И. К шин

Редактор И. Гохфельд Техред М. Борисова Корректор. С. Б1екмар

Заказ 7477/28 Тираж у Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4

Похожие патенты:

Сорбционный вакуумный насос // 637548

Адсорбционный насос // 635276

Вакуумный сорбционный насос // 631671

Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия // 620658

Сорбционный насос для селективной откачки газов // 613136

Адсорбционный насос // 590480

Сорбционный вакуумный насос // 589458

Адсорбционный ваакумный насос // 585311

Криосиорционный насос // 566958

Сорбционная ловушка // 559038

Адсорбционный насос // 2101564

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Модуль и система геттеронасоса // 2138686

Способ вакуумирования гермообъема // 2140015

Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д

Геттерный насос квантового водородного генератора // 2183768

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Адсорбционный насос // 2186248

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Газопоглотительный насос // 2186249

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Адсорбционный насос // 2187694

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187695

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187696