Магниторазрядный насос

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРС3(ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<" 642797 (63) Дополнительное к авт. свив-ву (22) Заявлено 0404.77 (2! ) 2469739/18-25 с присоединением заявки % (23) Приоритет

Опубликова»о1501..79, Бюллетень ¹ 2

Дата опубликования описания 1501,79 (53) М. Кл.

Н 01 Х 41/12

Государственный кемнтет сссР е делам нзебретеннй н открытий (53) УДН 621.528 (088.8) (72) Авторы изобретения

С.Д. Островка и В.Б. Нойсс (73) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫИ НАСОС

Изобретение относится к вакуумным магниторазрядным насосам средней и А высокой производительности (> 300 «z ) н может быть полезным для обеспечения сверхвысокого безмасляного вакуума в больших имитационных камерах при моделировании условий космического пространства, в напылительных установках при получении тонких пленок и в ряде других устройств и технологических процессов.

Известны магнитораэрядные насосы, работа которых основана на высоковольтном разряде в ячейке Пеннинга(1). у такого насоса мала скорость 1в откачки °

Известен также магниторазрядный насос, содержащий плоские катоды из геттерного материала и анод с размещенными в ряды ячейками, который позволяет увеличить быстроту откачки эа счет использования в одном насосе электродного блока, состоящего из большого числа анодных ячеек, и общего катода (2).

Однако в электродном блоке по длине анода имеет место градиент давле-.. ния, величина которого тем больше, чем длиннее анод при прочих равных условиях. В результате этого ячейки анода используются неравномерно. Те из ячеек, которые расположены в нижней части анода относительно проходного отверстия насоса, работают менее эффективно, чем ячейки, размещентые в верхней части блока.

Цель изобретения — увеличение эффективной быстроты откачки насоса.

Поставленная цель достигается тем, что каждая ячейка предлагаемого насоса выполнена из двух одинаковых частей, отстоящих в вертикальном ряду от плоскости, проходящей через оси ячеек этого ряда на расстоянии, равном одной десятой диаметра ячейки, а образовавшимися щелевыми зазорами ячейки по длине анода сообщаются между собой.

На фиг. 1 показан карман насоса, поперечный разрез; на фиг. 2 — анод насоса в плане.

Магнитораэрядный насос содержит два нлоских катода 1 из геттерного материала, анод 2 с размещенными в ряды ячейками 3. Магнитная система

4 создает столе, силовые линии которого направлены вдоль оси анодной ячейки перпендикулярно катодным пластинам.

Каждая ячейка 3 составлена нз двух частей 5. В каждом вертикальном ряду