Способ измерения размеров тестовых элементов рисунка фотошаблонов

 

Q

Яи1йна пи 1 Япкдвит п омиии юг. 3

Составитель Лобзова

Редактор Т. Шагова Техреду.Фанта Корректор С. Шекмар

Заказ 8009/38 Тираж, 865 Подписное

UHHHHH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

133035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент ", г. Ужгород, уп. Проектная, 4 своей задней фокальной плоскости 5 формирует распределение света, точ-но соответствующее преобра зованию

Фурье от рисунка. В этой плоскости установлены прямоугольные щели 6, вырезающие из пространственного спектра световые потоки в разных порядках спектра. Фотоумножители 7, регистрируют значения энергии в этих порядках, которые затем усиливаются и подаются на регистрирующий прибор 8.

Осуществляется предлагаемый способ следующим образом.

Тестовый элемент рисунка (см. фиг. 2) 15 представляет собой поснедоватепьность прямоугольных щелей, имеющих форму меандра, т. е. ширина каждой прозрачной области b, равна ширине, соответ-ствующей непрозрачной области. B этом случае интенсивность во 2-ом порядке спектра будет равна 0 (см. фиг. 3).

В случае же, когда по .каким-либо причинам вид тестового элемента рисунка уклоняется от формы меандра (например, при перетраве ипи недотраве хромовой ппенкн в процессе изготовления фотошабпона), интенсивность во 2-ом порядке спектра будет отлична от нуля

a,"сравнивая значения световых«энергий, ЗО измеренных в 0-ом и 2-ом порядках спектра„можно оцредепить отклонение геометрии тестового элемента рисунка от номинальной формы меандра.

Предлагаемый способ обеспечивает высокую точность измерения микронных и субмикронных размеров, прост в ðåàпизации.

Формула изобретения

Способ измерения размеров тестовых элементов рисунка фотошабпонов, заключающийся . том, что освещают рисунок фотошабпона когерентным светом, формируют спектр, соответствующий преобразованию Фурье от элементов рисунка, и измеряют световую энергию в различных частях спектра, по которой судят

Ь размере элементов, о т и и ч а юшийся тем, что, с цепью повышения точности измерения, элементы рисунка выбирают в виде периодической последовательности прямоугольных щелей, имеющих форму меандра, а размер элементов определяют по соотношению энергии в нулевом и втором порядках спектра.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США ¹3746455, кп. 356-69, 17.07.73.