Стекло

 

@о оз оввтс

С©йиалмстимесннн

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Й ВТОРСИОМУ СВИДБТВЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 02.08. 77(2) ) 2458049/29-33 с присоединением заявки №вЂ”

{23) Приоритет

Опубликовано 28.02. 79.Бюллетень ¹ 8

Дата опубликования описания 03.03.79

««649668 (5!) М. Кл.

С 03 С 3/12

Гееударстеенньй неннтет

СССР а делам нзееретеннй н етнрюнй (53) УДК 666. 112..4 (088.8) 3. П. Мипберг, Э. Ж. Фрейденфепьд, Л. В. Корзунова и P. А. Е1имдиньш (72) Авторы изобретения

Рижский ордена Трудового Красного Знамени попитехнический институт (71) Заявитель (54) СТЕКЛО

Изобретение относится к составам стекла, например, дпя конденсаторов иди покрытий на квемниевую подложку и используется в микроэпектронике.

Известно стекло, применяемое в электронной промышленности, вкпючающее, вес.%;

Р2 05

15-30

m0 20-40

М205 30-50

,О, 1О 15 Pj

Указанное стекло напыпяют с УО на кремниевые ипи графитовые подпожки, и полученная композиция имеет удепьное . о электрическое сопротивпение, при 200 С, равное 2 10 Ом см.

Наиболее бпизким к изобретению по составу является стекпо, содержащее, масс. %:

РЪО 55-66 е0 17-28

Р О 17 (21.

Однако указанные стекла не пригодны для получения покрытий, поскопьку вспедствие микронеоднородного строения поспе термообработки они теряют свою прозрачность, и их диэпектрические потери на высоких частотах резко возрастают (до термообработки Ъдд"стекол при

5 j =10 Гц (12-13) 10 4, поспе термообработки — (12-18). 10 ; на чистоте

8. 10 Гц ted =(53-56) 10 и на частоте 108 Гц 1д d ==(57-76) 10 .

-4 цепь изобретения — сохранение прозрачности после . термообработки и уменьшение диэлектрических потерь.

Это достигается тем, что стекло преимущественно дпя легкоплавких покрытий, включающее РЪО, ЧУЮ„Р 05, допопнитепьно содержит P 5 С 2, Ss О

4 0, вес.%:

РЪО 35-52 ма ЗЗ-5О

Р О, 13-2 1

ФЬСг, - О,3-0,7

2 3

О, 5-0,8

О, 1-0,8

649668

Табпица1

1 51,48 33,43 13,65 0,50 0,71 0,22

2 4604. 3892 1362 О 50 О 70 О 22

0,50 0,70 0,22

3 40,59 44,40

4 35, 18 49,84 13,56 0,50 0,70 0,22

0,22

0,72

5 47,05 34,11 11,40 0,50

6 41,49 39,70 17,37 0,50 0;72 0,22

7 3596 4528 1732 050 072 022

Введение в состав стекпа Р С1, а также окиспитепей 5Ь 0 и I,1 О дает возможность попучить стекпа с микрооднородным строением, которые после термообработки (нанесения покрытия) не теряют своей прозрачности и необходимых диэлектрических свойств (диэпектрические потери).

B качестве компонентов шихты испопьзуют окиспы свинца, вопьфрама, сурьмы, однозамещенный фосфат аммония хпорид свинца и карбонат лития марок хч" и "чда .

Шихту из расчета на 100 r ппавят о в корундовых тиглях при 1200 С в течение 1 ч. Температура отжига стекла

450-520 С.

Светопропускание стекла находится в предепах 95-92%; показатель препомпения — 1,93-2,12; ппотность окопо

6,5 г/см; температура начапа размяг- чения 430-480 С; коэффициент термичес-7 -1, кого расширения (96-100) 10 /град; удельное сопротивнение окопо 10 Ом см;

-И диэлектрические свойства на частоте

10 Гц Я 20-26 и Дд (7-15),- 10

B табл.1 приведены конкретные составы предпагаемого стекпа, а в табл.2—

1% их свойства. и и P CD О (О tf3 0:) Л t0

С3 3 О В Я

Я с"3 Р3

С0 С 3 а с 3 CD с33 Ф сО е7 сЧ с р сч < сч

I» 3= п сО с3 < .с) ж сч 3 : с Ф с33 а © О О щ

/ 3 сЧ О3 у

3 I p0 I

3С3 О

°

О CD О а П с С9 С4 Р3 с 3 Я сЧ О3 сЧ

П О С-.3 с3 с

С> И О С33 О с 3 с 3 сЧ С 3 сО 3 .

tÎ Ю с 3 с 3 п ю

О сО

00 30 3 у сЧ о3 сЧ р

tQ с 3 I сЧ

O и е3 а а о tO Я Ф ч3 и С0 сО

О3

Ol сО о сЧ

Ю о

О3

CD

CD

Ф о

С4

Я

333 и

Я о

CV о с 3"

649668

Составитепь О. Самохина

Редактор Т. Кузьмина Техред 3. Фанта Корректор И. Муска

3аказ 2248/2 Тираж 555 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиап ППП "Г!атент, г. Ужгород, уп. Проектная, 4

Описываемое стекпо можно использовать как конденсаторный материал на радиочастотах и на СВЧ, а также для герметизации и пассивации приборов в микроэпектронной технике.

Формула изобретения

Стекпо преимущественно дпя легкоппавких покрытий, включающее P Q О, %0g, Р2 0, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, .с целью сохранения прозрачности после термообработки и уменьшения диэпектрических потерь, оно допопнительно содержит Р QCC, 9ф О, L1>0 при следукицем соотношении компонентов, вес.%:

Р00 35-52 О 33-50

5 Р20 13 21

P Ь CB 0,3-0,7

St) О 0,5-0,8

4 0 О, 1-0,3

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

l4 409975, кл. С ОЗСЗ/12, 1971.

2ЯОЮСГЮМ J-,ÊîñÂ-НаП Sun,ÁÈ— ча тои А. "Р о рИс Ме Ыжв. PbO- ÌO-P O eastern", t. Amer. Се сит . посв

% 32, 1949, р. 153-160,