Проекционный объектив
Дата опубликования описания 08.03.79 2 (51) М. Кл. 02 В 13/24 1 ааударатввнныМ наннтвт СССР нв двнан нзвбрвтвннн g втнаапнй (53) ЙК 535.824. .2 (088.8) (72) Авторы изобретения Э. С. Гуревич и В. И. Цуран 2 (71) Заявитель (54! ПРОЕКЦИОННЫЙ ОЬЪЕКТИБ Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэпектронике в проекционных установках экспонирования. Известен проекционный объектив, который работает с увепичением - 0,1, имеет поле зрения 60 мм и апертуру 0,3 PJ. Недостатком объектива явпяется мапая апертура, бопьшая вепичина дисторсии и отсутствие тепецентрического хода лучей. Наибопее бпизким по технической сущности к изобретению является проекционный объектив с увепичением — 0,1 х состоящий из семи компонентов, из которых первый компонент — попожитепьная линза; второй» отрицатепьный мениск, обращенный выпукпостьк> к плоскости предмета; третий — двухпинзовый мениск, обращенный вогнутостью к ппоскости предмета; четвертый - попожитепьный мениск, обращенный выпукпостыо к плоскости предмета; пятый компонент — Do2 пожитепьная пинза; шестой — трехпинзовый отрицатепьный мениск, обращенный выпукпостыо к плоскости предмета; седьмой - двухпинзовый попожитепьный мениск, обращенный выпукпостыо к ппоскости предмета. Проекционный объектив имеет апертуру 0,3 и пинейное попе зрения 85 мм (2). Недостатком объектива является мапая апертура, большая вепичина дистор10 сии и отсутствие тепецентрического х5да пучей s пространство изображений. Бепыо изобретения явпяется увепичение апертуры объектива, получение бездисторсионного изображения и тепецент рического хода лучей в пространстве изображений. Поставленная цель достигается тем, что проекционный объектив, содержащий семь компонентов, первый из которых— 20 попожитепьная пинза, второй - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, третий — двухпинзовый мениск, обращенный вогну651294 тостыо к-плоскости предмета, четвер тый - поножитеньный мениск, обрашенный вогцутостыо к ппоскости предмета, пятый — поножитепьная нинза, шестой— трехнинзовый отрицатеп мениск, об ращенный выпукностыо к ппоскости пред мета, и седьмой — попожитеньный двух« нинзовый мениск, обрашенный выпукпостыо к плоскости предмета, снабжен попожитеньной линзой, распопоженной за первы м компонентом, и апертурной диафрагмой, установненной за третьим компонентом на расстоянии от него, равном 0,126 фокусного расстояния всего объектива, при этом отрицатепьный мениск третьего компонента выполнен двухскнеенны м. На чертеже предотавнена оптическая схема объектива. Объектив состоит из восьми компонентов 1-8. Первый компонент 1 представляет собой поножитеньную линзу двояковыпукную, выпонненную из тяжепого крона с соотношением радиусов 1;12,8. Второй компонент — попожитецьная пинза, выпопньнная из сверхтяженого крона с соотношением радиусов 1:7,67, Компонент 3 - отрицательный скпеенный из двух пинз 9 и 10 мениск, обрашенный выпукностью к пноскости предмета. Линзы 9 и 10 выполнены из тяжепого крона и тяженого фнинта соответственно, разность показатепей прецомнения которых не превышает 0,0013 дня пинии g и разница коэффициентов дисперсии составняет 17. Четвертый компонент — отрицатень,1 ный склеенный из линз 11 и 12 мениск. Линзы 11 и 12 выпопнены из тяжепого фпинта. и из сверхтяженого крона соответственно, а соотношение их наружных радиусов равно 1:2. Компонент 5 - по ножитеньный мениск, обрашенный вогнутостью к предмету, выпонненный из сверхтяженого крона с соотношением радиусов 1:0,62. Шестой компонент — поножитецьная линза из сверхтяжецого крона с соотношением радиусов 1:1,31. Седьмой компонент - отрицатеньный скнеенный из трех нинэ 13-15 мениск, обрашенный выпукпостыо к пноскости предмета. При этом пинзы 13-15 выпоннены из сверхтяженого крона, тяжелого фнинта и крона соответственно, Разность показатеней преномнения дня сверхтяже ного крона и тяжелого фпинта-не превышает 0,001, разность коэффициентов дисперсии 22, а разность коэффициентов дисперсии пары саерхтяженый фнинт и крон равна 33. Соотношение наружных радиусов мениска равно 1:0,27. Компонент 8 - поножитепьный скнеенный иг двух линз 16 и 17 мениск, обращенный выпукностыо к плоскости предмета. JIHH зы 16, 17 выпоцнены из баритового крона и сверхтяжепого крона соответственно. Соотношение крайних радиусов 10 равно 1:13,29. Между третьим 3 и четвертым 4 ком« понентами установлена апертурная диафрагма 18 на расстоянии 0,126 х от третьего компонента. Это обеспечивает Н тенецентрический ход пучей в пространстве изображений. Применение объектива повышает апертуру до 0,35, что позвопяет попучать эпементы размером до 1 мкм и увени чить ппотность компоновки активных эпементов на кристапне. Объектив найдет применение при.изготовнении сверхточных интегральных схем, что повысит функционаньную снож ность интеграпьных ьащросхем. 9 о р м у н а и. з о б р е т е н- и,я Проекционный объектив, содержаший семь компонентов, первый из которыхпоножитеньная пинза, второй — отрицаЗ© тельный мениск, обращенный выпукностыо к ппоскости предмета, третий - двухнинзовый мениск, обращенный вогнутостью к пноскости предмета, четвертый — попожитеньный мениск, обрашенный вогнуЗ> тостью к пноскости предмета, пятый— поножитепьная нинза, шестой - трехнинзовый отрицатеньный мениск, обращенный выпукностью к плоскости предмета, и седьмой — поножитеньный двухнинзовый" мениск, обращенный выпукностью к пноскости предмета, о т н и ч а ю ш и й,е я тем, что; с ценио увеличения апертуры, понучения бездисторсионного изображения и тенецентрического хода пучей в пространстве изображений,, он снабжен положительной линзой,расположенной за первым компонентом, и апертурной диафра мой,установленной за третьим компонентом на расстоянии от него, равном 0,126 фокус-. ного расстояния всего объектива,при этом отрицательный мениск третьего компонента выполнен двухсклеенным. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетепьство СССР %333525, кл. Ц 02 В 9/64, 1971. 2. Авторское свидетеньство СССР Ко 486298, кн. Cj 02 В 9/64, 1973. 65 1204 Составытепь М. Лебедев Редактор О. Фипиппова Техред Ю. Ныймет Корректор Л. Василина Заказ 801/43 ыраж 587 Подписное 0НИИПИ Государственного комитета СССР по депам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., a. 4/5 Фипиап ППП "Патент, г. Ужгород, уп. Проектная, 4
