Устройство для химико-технологической обработки деталей в контейнере

 

(i 13 654695

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетских Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.01.76 (21) 2319213/22-02 с присоединением заявки № (51) M. Кл г

С 23G 3/00

В 65G 49/02 (53) УДК 621.794.422 (088.8) (43) Опубликовано 30.03.79. Бюллетень № 12 (45) Дата опубликования описания 30.03.79 ло делам изооретеиий и открытий (72) Авторы изобретения

В. В. Дедов, Н. А. Егоров, Б. Б. Новиков и М. С. Песков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ

ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ В КОНТЕЙНЕРЕ

Государстаеииый комитет (23) П

23 Приоритет

Изобретение относится к области обработки деталей жидкостями и может быть применено в микроэлектронной и приборостроительной промышленности, а также в фото- и кинематографии.

Известно устройство для электролитической и химической обработки металлических изделий, предусматривающее периодическое перемещение последних на подвесках с помощью цепного механизма, смонтированного на подъемной раме, связанной с гидравлическим приводом, при этом цепной механизм связан со вторым гидравлическим цилиндром, снабженным храповым механизмом и телескопическим валом, обеспечивающим его соединение с приводной цепной звездочкой при поднятой раме, а для управления работой гидравлических цилиндров использованы электромагнитные золотники (1).

Недостатком такого устройства является сложность его конструкции.

Более совершенным в этом отношении является известная автоматическая линия для химико-технологической обработки деталей, содержащая ванны, расположенные по кольцу, в центре которого установлено поворотное устройство с рычагами, несущими подвески для деталей, а движение рычагов определено копирами (2).

Однако такое устройство имеет значительные габариты, в связи с чем использование его для обработки мелких изделий не приемлемо. При этом необходимость смазки для надежной работы узлов и наличие около ванн взрывонезащищенных электрических контактов создает трудности для использования оборудования при проведении химико-технологических операций обработ1р ки полупроводниковых пластин в силу специфичности применяемых реактивов и требований вакуумной гигиены.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является устройство для химико-технологической обработки деталей в контейнере, содержащее корпус с размещенным в нем рядом емкостей и приводов вращения, на каждом валу которых установлено приспособление переноса контейнера, содержащее рычаг с захватом (3).

Однако в известном устройстве приспособление переноса имеет значительный угол поворота рычага, что приводит к выносу

25 контейнера с деталями в сторону от вала привода, в связи с чем снижается надежность работы устройства и увеличивается межцентровое расстояние между емкостями, т. е. увеличиваются габариты всего уст30 ройства.

654695

Цель изобретения состоит в повышении надежности устройства и уменьшении его габаритов.

Поставленная цель достигается тем, что приспособление переноса контейнера снабжено промежуточным Г-образным звеном с опорным роликом, а емкости — вертикальными направляющими для опорного ролика, при этом Г-образное звено шарнирно установлено между рычагом и захватом.

На фиг. 1 изображено описываемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — приспособление переноса контейнера, перспективный вид; на фиг. 3 — захват, разрез; на фиг. 4— схема переноса кассет из ванны в ванну; на фиг. 5 — описываемое устройство, поперечный разрез.

Устройство содержит корпус 1 (см. фиг.

1) со стенкой 2 и крышкой 3, на которой размещен ряд ванн 4, 5, 6 и 7, а за стенкой

2 размещен ряд электромоторов 8, один из которых показан на фиг, 2.

Электромотор 8 через передачу 9 и редуктор 10 соединен с приспособлением переноса, включающим рычаг 11, закрепленный на выходном валу 12 редуктора 10, и ось 13 для шарнирного крепления Г-образного звена 14 с опорным роликом 15.

Кроме того, на конце Г-образного звена

14 (см. фиг. 3) шарнирно закреплен захват

16 для фиксирования траверсы 17 посредством конического хвостовика 18.

На траверсе 17 шарнирно закреплен держатель 19 контейнера 20 с обрабатываемыми деталями. По обе стороны каждой ванны 4, 5, 6 и 7 расположены опоры 21 и 22 для установки траверсы 17.

Для переноса контейнера 20 из ванны 4 в ванну 5 служат вертикальные направляющие 23 и 24, а из ванны 5 в ванну 6 верти- 4р кальные направляющие 25 и 26.

Работает устройство следующим образом.

Обрабатываемые детали в контейнере 20, установленном на держателе 19 траверсы

17, размещают в ванне 4 на опорах 21 и

22 таким образом, чтобы конический хвостовик 18 был зафиксирован в захвате 16.

По окончании обработки деталей в ванне

4 рычагу 11 сообщают вращательное движе- р ние по часовой стрелке, и контейнер 20 с деталями, зафиксированный в захвате 16 посредством конического хвостовика 18, начинает перемещение от ванны 4 к ванне 5. При этом один конец Г-образного звена 14, закрепленный на рычаге 11, продолжает движение по окружности, описываемой осью 13, а другой, перемещаясь по направляющей 23 с помощью ролика 15, обеспечивает вертикальное перемещение захвата 16, а следовательно, и контейнера 20 с обрабатываемыми деталями, обеспечивая их подъем из ванны 4.

При дальнейшем движении рычага 11 по часовой стрелке ролик 15 отходит от направляющей 23, осуществляя перенос контейнера 20 с деталями от ванны 4 к ванне

5, а по достижении роликом 15 Г-образного звена 14 направляющей 24 — вертикальное опускание в ванну 5.

После того, как траверса 17 с хвостовиком 18 достигнет опор 21 и 22 ванны 5, Гобразное звено 14 с захватом 16 продолжает движение вниз, и ролик 15 выходит из направляющих 24 и 25.

При дальнейшем движении рычага 11

Г-образное звено 14 с роликом 15 и захватом 16 проходит под направляющей 25 и возвращается в исходное положение у ванны 4, совершив полный оборот вокруг оси выходного вала 12.

Применение изобретения позволяет в

1,3 — 1,5 раза сократить расстояние между центрами ванн и, следовательно, уменьшить ширину ванн и габариты устройства в целом.

Формула изобретения

Устройство для химико-технологической обработки деталей в контейнере, содержащее корпус с размещенным в нем рядом емкостей и приводов вращения, на каждом валу которых установлено приспособление переноса контейнера, содержащее рычаг с захватом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности устройства и уменьшения его габаритов, приспособление переноса контейнера снабжено промежуточным Г-образным звеном с опорным роликом, а емкости — вертикальными направляющими для опорного ролика, при этом Гобразное звено шарнирно установлено между рычагом и захватом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 101858, кл. С 25D 19/00, 1949.

2. Автоматическое оборудование для гальванических цехов. Обзоры по электронной тсхнике, вып. 1 (150), 1970, с. 24 — 28.

3. Патент США К 3772980, кл. 95 — 89D, 1973.

Составитель В. Трегубов

Редактор 3. Ходакова Текред Н. Строганова Корректоры: И. Позняковская и О. Тюрина

Заказ 321/4 Изд. ¹ 260 Тираж 1138 Подписное

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2