Устройство для передачи движения в вакуумную камеру
!.1
Оп ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социаиистических
Республик (i 655859 (6l) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 21.10.76 (21) 2413765/25-08 с присоединением заявки № (23) Приоритет—
Опубликовано05.0479. Бюллетень №13
Дата опубликования описания 09.04.79
У (51) M. Кл
Р 16 15/44
Государственный ноинтет
СССР
h0 делам изобретений и еткрытий (53) УДК 62-762..426 (088.8) (72) Авторы изобретения
В. Я. Моисеев, Г. Л. Саксаганский и H. Ф. Трушин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВС ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ДВИ?КЕНИЯ
В ВА КУУМНУЮ КАМЕРУ
Изобретение относится к механизмам и устройствам для передачи вращательного и возвратно-поступательного движений в вакуумную камеру.
Известно вакуумное уплотнение вращаюгцегося вала, выполненное в виде коаксиально вращающихся и неподвижных втулок с наклонными зеркально-симметричными прорезями (1).
Известно также устройство для передачи движения в вакуумную камеру, в корпусе которого, выполненного с откачиваемой полостьк>, установлен вращающийся приводной вал с блоком щелевых уплотнений, выполненных в виде поочередно установленных опорных неподвижных и вращающихся дисков, с наклонными зеркально- 1s симметричными прорезями (2). Известной конструкции свойственен существенный недостаток, связанный с тем, что невозможно осуществление возвратно-поступательного движения вращающегося вала.
1Лелью изобретения является обеспечение надежной работы устройства при вращательном и возвратно-поступательном движениях вала.
Указанная цель достигается тем, что в корпусе размещен с возможностью перемегцения вдоль оси приводного вала цилиндрический перфорированный стакан. герметизированный относительно корпуса, например, сильфоном, а блок щелеBblx уплотнений с приводным валом установлен в цилиндрическом стакане, причем опорные неподвижные диски выполнены с радиальными сверлениями.
На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство для передачи движения в вакуумную камеру, общий вид; на фиг. 2 — узел блока щелевых уплотнений.
Устройство для передачи движений в вакуумную камеру содержит корпус 1 с при оединительным фланцем 2. патрубок откачиваемой полости 3, патрубок 4 для загрузки технологического объекта и цилиндрический перфорированный стакан 5 с окнами б для сообщения с откачиваемой полостью. Корпус герметично соединен с цилиндричефсим стаканом сильфоном 7. К корпусу в месте крепления сильфона 7жестко закреплен кронштейн 8, который является элементом узла 9 осевого перемещения, 655859
Формула изобретения наг.2
ЦНИ11Ли1 Заказ 1481|28 Тираж 1138 Подписное
Филиал П ПП «Патент», г. тж город, ул. Проектная, 4 шарнирно связанного с торцовой частью цилиндрического стакана. В полости цилиндрического стакана 5 смонтирован блок щелевых уплотнений, выполненный в виде опорных неподвижных дисков 10 и вращающихся дисков 11, имеющих зеркально симметричные пазы 12. Вращающиеся диски и встроенный электродвигатель 14 закреплены на валу 15, поддерживающемся двумя опорными подшипниками 16. Один конец вала является продолжением вала приводного электродвигателя, другой конец оканчивается зажимом 17 для закрепления технологического объекта. Наружная поверхность цилиндрического стакана на длине блока щелевых уплотнений имеет радиальные пазы 18, сообщающиеся через перфорацию с радиальными сверлениями !9 опорных неподвижных дисков и с откачиваемой полостью.
Устройство передачи движения в вакуумную камеру работает следующим образом.
Для обеспечения осевого и вращательного движений технологического объекта в вакуумную камеру необходимо через патрубок 4 ввести и закрепить технологический объект на валу 15 зажимом 17, включить средства вакуумной откачки и привод электродвигателя 14. При достижении разрежения в корпусе 1 открыть шиберный затвор (не показан), соединяющий вакуумную камеру с устройством передачи движения. Цилиндрический стакан 5 при помощи узла 9 осевого перемещения движется в полости корпуса по направлению вакуумной камеры.
Одновременно производится откачка газового потока из полостей, образованных корпусом и цилиндрическим стаканом через радиальные сверления 19 и радиальные пазы 18. Величина перемещения вала 15 определяется ходом сильфона 7.
Устройство для передачи движения в вакуумную камеру, в корпусе которого, выполненного с откачиваемой полостью, установлен вращаю1цийся приводной вал с блоком щелевых уплотнений, выполнен ны х в виде поочередно установленных опорных неподвижных и вращающихся дисков, с наклонными зеркально-симметричными ðopåзями, отличающееся тем, что, с целью обеспечения надежной работы устройства при вращательном и возвратно-поступательном движениях вала., в корпусе размещен с возможностью перемещения вдоль оси приводного вала цилиндрический перфорированный стакан, герметизированный относительно корпуса, например, сильфоном, а блок щелевых уплотнений с приводным валом установлен
25 в цилиндрическом стакане, причем опорные неподвижные диски выполнены с радиальньurи сверлениями.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
ЗО ¹ 265640 wë. Г 16 J 15/44 1968
2. Авторское свидетельство СССР № 225631, кл, F 16 J 15/44, 1967.
