Устройство для нанесения покрытия на гибкую подложку
Союз Советских
Социаттистаиеских
Республнк
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 09.11.76 (21) 2417800118-21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—
Гасударственный комитет
СССР по делам изобретений н открытий
Опубликовано 25.04.79. Бюллетень № 15
Дата опубликования описания Я8.04 . У (72) Авторы изобретения
А. Н. Федосеев, И. А. Карасев, А. В. Алексеевский, Е. А. Колобов, В. Н. Степанов и Ю. Н. Твалашвили (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ
НА ГИБКУЮ ПОДЛОЖКУ
Изобретение относится к устройствам для непрерывного нанесения на пленочный материал различных веществ, в частности, светочувствительной композиции, с последующей сушкой и защитой со стороны композиции вторым слоем пленки.
Известны устройства для нанесения на пленочный материал различных композиций типа клея, эмульсий и т. п., содержащее камеры для покрытия и сушки и ведущие и обжимные ролики (1).
Известны также устройства для непрерывного покрытия и склейки пленочных материалов, содержащие валы для установки рулонов пленки, резервуар с купающимися роликами, узел прикатки с вариаторои, прижимным валом и серводвигателем, нагреватели,обводные ролики (2).
Одйако эти устройства обладают рядом недостатков.
Так при нанесении светочувствительных композиций, требующих технологической обработки в течение длительного времени, конструкция устройства получается громоздкой — вытянутой в длину, узел намотки готового продукта отнесен на значительное расстояние от узлов установки исходных материалов, что приводит к перекосу валов и вызывает большие поперечные смешения пленки при движении, непостоянную скорость протягивания и, как следствие, ухуд5 шение качества покрытия.
Кроме того, сушка нанесенной композиции перед прикаткой с защитной пленкой производится подогретым воздухом, нагнетаемым в камеру с движущейся лентой, при этом возможен частичный выход воздуха, 10 насыщенного парами растворителя из камеры в помещение, что является крайне нежелательным ввиду возможной токсичности растворителя.
Цель изобретения — улучшение качества
15 покрытия.
Данная цель достигается тем, что устройство для нанесения покрытия на гибкую подложку, содержащее механизм перемотки подложки, узел нанесения покрытия, нагреватель и вакуумную систему, снабжено вакуумным карманом для размещения петли подложки, расположенным за узлом нанесения покрытия по ходу движения подложки, соединенным с вакуумной системой, снаб657862
?K(иным перспускнhl?III каналами, расположсннымн В стенках Вакуумного кармана, II(f>110!1.JHKócJÿðJiIix плоскости подложки, сообщакнцимися с полостью вакуумного кармана и снабженными заслонками для изменения их проходного сечения, причем нагреватель усташ>влсн на одной из стенок ваку> >lНОГ0 K3РМ<1ll3.
l li1 фиг. Изооражена схема описываемого устройства; на фиг. 2 — сечение A- Л фиг. I.
Устройство для нанесения покрытия на гибкую гн>дложку содержит: механизм перемотки подложки, включающий вал для установки рулона лавсановой пленки 2, вал
3 для установки рулона полиэтиленовой пленки 4, присасыва)ощий ролик 5 и обводные ролики 6; узел нанесения покрытия, включакнций резервуар 7 и купаю(цийся ролик 8; вакуумный карман 9; нагреватель 10, размс!ценный на одной из стенок вакуумного кармана 9, узел прикатки !1, состоящий из вариатора 12, ролика !3, сервопривода !4, Вариатора и подпружиненного прижимного ролика 15; вал 16 для намотки готового пленочного фоторсзиста; вентилятор 17; воздушный фильтр 18; вакуумную систему 19.
Вакуумный карман 9 служит для размещения петли подложки 2, расположен за узлом нанесения покрытия по ходу движения подложки и соединен с вакуумной системой 19. Стенки вакуумного кармана 9 снабжены перепускными каналами 20, nepI Icíäè êóë ÿ рным и плоскости подложки, соОб!цак>щимися с полостью вакуумного кармана, с заслонками 21 для изменения их проходного ссчс ния. Заслонки 21 служат для регулировки величины потока воздуха, насыщенного парами растворителя, через вакуумный карман 9 и перепускные каналы 2>(). Регулировка обеспечивает достаточнуlo величину потока воздуха при необходимом 1>1(зре?ксн)1и B пог!Ости, ограничен !юй задней стенкой кармана и петлс и подло?кки.
Регулировка по!!0?кения заслонки 2! пр<н!зВО 111 т С и ВО В Р С М 11 11;I, 1 а Д К I I В Р Х <111 X 10 110 В Сс. 111
1?с)бот;и> OIIHci IB;IciIOC устройство сле;I% юн(им образом.
1! 1)ll прину. 1!1!с .1)И(051 Bf)рисасl>lB И<1(О ВО!1 (Tf)01 КИ, 1 IIOBН Я Il, 1(>IIK3 ?, f>i! ý Ы <(ТЫ В<1!1С !> (. f) >,, I 0l I i!, X CTH I IOB. I(>II HO I О ! <1 В <1л 1,,IBII Ж(1 с Я ()(Л ll p0< К1Ве 3 Об Од > !) !1 б р f)l "If) 7, Л (.1бая СВООО, ill(> Бр<1!!1<11011111H< Я Кх ll<1 IOIII,HII(Я f)О, 111K 8, 110крыВ<1 T<. )1 С. IО(>М KОЧ 1103111(1111, ТO. IIII II Ii<1 K0 гОрОГО заВИСИТ ОТ <. KOpOCTII .(В И Ж(IIII5I ПЛ(>IIKII И ВЯЗКОС 1! f)<1(. ТВОР<1 КОХ1110:IIIции. .1<1, !ьнсйш c движение лавсаш>ьч>й нг!(1ьки 2 осуществляется в вакуум(юм K3f)UIBIIc в правой части которого создастся разрс жение при 110MOIHH вакуумной сис! >II)l 19 При,>(вижснии В Вакуумнй >1 ка1?мане <) л 1В. 4 сановая пленка 2, касаясь нижней стенки кармана 9 с расположенными на ней нагревателями !О, подсушнвается, при этом пары растворителя уносятся в вакуумную систему !9 через перепускные каналы 20. Степень разрежения, а следовательно, и сила натяжения лавсановой пленки 2, регулируется заслонками 21. Из вакуумного кармана 9 лавсановая пленка 2 движется к роликами 13 и 15, которые сжимают лавсановую пленку 2 с полиэтиленовой пленкой 4. Ролик 13, принудительно врагцаясь от привода через вариатор 12, вытягивает лавсановую пленку 2 из вакуумного кармана 9, а полиэтиленовую пленку 4 сматывает с рулона, установленного на валу 3. Г1осле прикатки готовый пленочный фоторезист наматывается на рулон, установленный на валу 16, который получает принудительное вращение через фрикционную пробуксовывающую муфту. Форту.)а 1<:ктретени» Ъ стРОЙстВО д,зЯ JIHIIcсс ни я НОкРВ(тиЯ 113 гибкуl0 !юдложку. Содержащее )1(:xHIIHB)1 п«ремо!ки подложки, узел II;!!le«cIJII)J нокры-! И)1, !Вагршгатсль и Вакуумную сис!сх!у, отЛ!(<1<1/01(((>< <» 1 С )1, Ч1 0, С ЦС, Н>Н) >, . I > ! I!IS» Ка 1(СТBi»IOKf> I>1 I !is!, <»«> СН<1бжс И() В
Система управления устройством обеспечивает равенство линейных скоростей на цилиндрических поверхностях роликов 5 и 13, при этом, если линейная скорость на поверхности ролика 13 превышает линейную скорость на поверхности ролика 5, то 45 петля лавсановой пленки 2 вытягивается из кармана 9, возбуждается датчик 22 положения петли лавсановой пленки 2 (в исходном положении петля пленки 2 находится между датчиками 22 и 23). Этот приводит к тому, что сервопривод вариатора 12 устанавливает рабочие тела вариатора !2 в положение меньшего передаточного отношения и линейная скорость на поверхности ролика !3 уменьшается. Если линейная скорость на поверхности ролика !3 меньше ли35 нейной скорости на поверхности ролика 5, то лавсановая пленка 2 накапливается в I .lJ;уух!но
40 в положение большег0 передаточного Отноl1 1 6 . I I H H I I, I1l Jl (H I I 3 H C KO p OCT b На I I 0 8(. рх НОСТИ р 0,1 11 1< 3 1 3 >, В(.". 1 И и И Т С Я . Таким Образом, движение лавсdHoBOH ! )лснки 2 через резервуар 7 н кунак)щийся p0,lHK 8 <)(óIHccTBëÿåòcÿ с большим постоянством СК01?ОСТИ И IJBTR?KCHHJI. В<. НТИ.ВНТОр 17 Обсс печиваст избыточное давлснис в объС МС ), Tf)011(. Тва Д!1Я ЗЕIП(ИТЫ .13BCB IIOBOI1 П. 1(. Нкн 2 Ог Iloll 657862 И 3 l2 г.г rS фиг 2 Составитель Л. Прокопенко Техред О. Луговая Корректор О. Ковинская Тираж 82l Подписное ЦНИИ ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий l l 3035. Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4, 5 Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Редактор Д. Мену ри ш вил и Заказ 1933/6 ным карманом для размещения петли по(ложки, расположенным за узлом нанес(нпя покрытия Ilo ходу движения подложки, соединенным с вакуумной системой, снабженным перепускными каналами, расположенными в стенках вакуумного кармана, перпендикулярных плоскости подложки, сообщающимися с полостью вакумного кармана и снабженными заслонками для изменения 6 их проходного сечения, при и м и;>г!)с нп 3(-ль уста >и>влен на одной пз ст(II0f(вакуумного кармана. Исто IHII I 1. Патент (.ШЛ Л 2611686, кл. 56 405, 23.0(!. 54. 2. Пате))т СШ.- 3 Л 252586>;3, кл. 156 495, ! 7.! 0.50.
