Способ измерения потока газа

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ. (6!) Дополнительное к авт. свид-ву (Н1664О75

Сеюэ Соеетсккк

Социалистических

Республик (З )М. К,.2

G 01 M 3/26 (22) Заявлено 210677(21) 2499709/25-28

f с присоединением заявки №

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 25.05.79. Бюллетень ¹ 19

Дата опубликования описания 25.05.79 (53) УДК 620.165. 29 (088. 8) (72) Авторы изобретения

В.В.Пименов и И.В.Творогов

{71) Заявитель

/ (54) СПОСОБ ИЗМЕРННИЯ ПОТОКА ГАЗА

Изобретение относится к вакуумной технике, в час тнос ти к тех нике испытаний на герметичность, и может быть использовано при градуировке стандартных, течей и измерении величинЫ тЕчей, обнаруживаемых в испытуемых иэделиях.

Известен способ измерения потока газа, заключающийся в том, что поочередно регистрируют показания измерительного устройства, пропорциональные давлению газа (например, ионного тока масс-спектрометричес-. кого анализатора), создаваемые при подаче в непрерывно откачиваемую вакуумную камеру измеряемого потока

Ц» и потока стандартной течи Q,111 °

Величина потока Ях при этом рассчитывается по формуле: х (х Qc a е гдеьЭ„ иа3 — приращения показаний измерительного устройс тв а, фикс ируемые при подаче в вакуумную камеру измеряемого и стандартного потоков.

Недостатком способа является низкая точность измерения при существен- ЗО ном различии величин измеряемого и стандартного потоков, что объясняется существенным различием показаний измерительного устройства.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ, заключающийся в том, что поочередно псцают измеряемый Я„и эталонный Ц потоки в предварительно откачанную до предельного остаточного давления вакуумную камеру определенного объема и регистрируют скорости изменения показаний измерительного устройства при изоляции камеры откачки (21. Величину потока Q„ ðàñсчитывают по формуле:

d3x

; х { еда х где лаях — приращения показаний эа время 1„при подаче в камеру измеряемого потока; аЭ вЂ” приращения показаний за с время t при подаче в камеру стандартного потока.

Недостатком, этого способа является низкая точность измерения при существенном различии величин измеряеМого и стандартного потоков, что объясняется большой разницей времени

Формула изобретения

664075

3 и „, необходимого для получения соизмеримых показаний измерительного устройства (точнее малым временем пои работе с большей течью) .

Для повышения точности измерения газа различного по величине от эталонного измеряют давление при откачке камеры, создаваемое большим иэ потоков, изолируют камеру от средств откачки, откачивают камеру вновь до предельного давления и из. меряют время, необходимое, для дос — г0 тижения того же давления при подаче в камеру меньшего потока, после чего величину измеряемого потока находят из соотношения:

4 гж. I 5

Qt Ч где Q, - поток, подаваемый в камеру при ее отк ачк е;

Q> — поток, подаг1аемый в камеру ,изолированную от средства откачки;.

8„: — эффективная быстрота откачки камеры;

Y — объем камеры1 — время.

Способ осуществляется следующим образом. Камера откачивается до предельного давления и при постоянной откачке в нее подается поток стан- . дартной течи Ц . Фиксируют показания К масс-анализатора. Затем стандартная течь изолируется от камеры.

Камера вновь откачивается до предельного остаточного давления, а затем изолируется от средства откачки. После этого на обнаруженную течь подают гелий, измеряют время 1, в течение которого показания масс-анализатора достигают значения, равного й, и рассчитывают величину измеряемого потока Q через течь в изделии 40 па формулег

Ч

Ц «Q г S t

Способ измерения потока газа, заключающийся в том, что поочередно подают измеряемый и эталонный потоки газа в вакуумную камеру определенного объема и с предельным остаточным давлением и рассчитывают величину измеряемого потока, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности измерения потока газа различного по величине от эталонного, измеряют давление при откачке камеры, создаваемое большим из потокон, изолируют камеру от средства откачки, откачивают камеру вновь до предельного давления и измеряют время, необходимое для достижения того же давления при подаче в камеру меньшего потока, после чего величину измеряемого потока находят иэ соотношения: где Я вЂ” поток, подаваемый в камеру при ее откачке;

Ц - поток подаваемый в камеру, изолированную от средств откачк иг эффективная быстрота откачки камеры;

1 — время;

Ч - объем камеры.

Источники информации, принятые

so внимание при экспертизе

1. Ланис В.А;, Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний. М. -Л., ГЭИ 1963, с. 160-170.

2. Wokk RM 811г HotimaE 91гпроьштн он Va— свинг Technology Thous, Pe mon Р ess, Н59, P. 126- 128

МЖ3й

Составитель В.Макаров

«Редактор T.Магона Техрегг Л. Алферова Корректор М. Пожо

Заказ 2983/41 Тираж 1089 . Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москна Ж-35 Ра1пнская наб. д,4/5 .

Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4