Способ определения толщины покрытий на поликристаллических основаниях

 

(I I! 665208

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 10.11.76 (21) 2419184/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.05.79. Бюллетень № 20 (45) Дата опубликования описания 30.05.79. (51)М, К.

G 01В 15/02

Государственный комитет (53) УДК 531,717.11 (088.8) по делам изобретений открытий (72) Авторы изобретения

А. H. Бекренев и Б. Н. Федоров (71) Заявитель Куйбышевский политехнический институт им. В. В. Куйбышева (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИН ПОКРЫТИИ

HA ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ОСНОВАНИЯХ

Изобретение относится к рентгенографическим методам определения толщин покрытий па поликристалличсских основаниях и может быть использовано при измерении толщин покрытий на металлах или других 5 поликристалличсских основаниях, полученных путем вакуумного испарения, химического осаждения или гальваническим способом.

Известен способ рентгенографического 10 определения толщин покрытий, основанный на законе поглощения рентгеновских лучей в материале покрытия (1).

Недостаток способа заключается в том, что нельзя измерить тонкопленочные пок- 15 рытия.

Наиболее близким по технической сущности к предложенному является способ определения толщины покрытий на поликристаллических основаниях, заключающийся в том, что направляют рентгеновский пучок под углом к контролируемому объекту, регистрируют интенсивности излучений, рассеянных от основания с покрытием

I p и от основания без покрытия — 1„и по 25 их отношению судят о толщине покрытия (2).

В случае тонкого покрытия, поглощение рентгеновских лучей в нем настолько мало. что в пезультате измерения интенсивностей Ip и l„p они получаются почти одинаковыми, что даст малую точность.

Целью изобретения является повышение точности измерения.

Цель достигается за счет того, что направляют рентгеновский пучок на контролируемый объект под углом, который определяется из условия 2(I,/I„,(5. Результат измсрения имеет минимальную погрешность при =- 3,5.

Io

Гпо

Влияние дефокусировки из-за нарушения условий по Брэггу-Брентано несущественно, так как расчет толщины покрытий ведут по отношению интенсивностей двух одинаково расфокусированных линий.

Способ осуществляется следующим образомм.

Для определения толщины покрытия по предлагаемому методу берут подложку без покрытия и устанавливают ее в держатсле рентгеновского аппарата под углом а к первичному лучу, составляющему несколько градусов. Затем определяют интенсивность выбранной линии — 1„. После этого в держатель аппарата устанавливают подложку с покрытисм и определяют интенсивность той же линии — I„. Если отно665208

Составитель В. Парасов

Техред А. Камышникова

Корректоры: А. Галахова и Е. Угроватова

Редактор Т. Морозова

Заказ 839/12 Изд. № 326 Тираж 865 Подписное

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раугпская наб., д. 4/5

Типогра<)шя, пр. Сапунова, 2 шение интенсивностеи

/о оказывается по в пределах 2 — 5, то вычисляют толщину покрытия.

Если отношение интенсивностей выходит 5 за указанные пределы, то изменяют угол а и по в то р я ют съем ку.

Использование предложенного способа определения толщины покрытий позволит с высокой точностью измерять покрытие, тол- 10 щина которых на порядок меньше полупоглощаемого слоя.

Формула изобретения

Способ определения толщины покрытий на поликристаллических основаниях, заключающийся в том, что направляют рентгеновский пучок под углом к контролируемому объекту, регистрируют интенсив- 20 ности излучений, рассеянных от основания с покрытием — 1„, и от основания без покрытия — 1, и по их отношению судят о толщине покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, направляют рентгеновский пучок на контролируемый объект под углом, который определяется из условия

2 (1,/!„, (5.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Уманский Я. С. Рентгенография металлов и полупроводников. «Металлургия», 19G9, с. 144.

2. Мамедов К. П., Геллер П. Х., Мехтиев К. М. Рентгенодифрактометрическое определение толщины тонких покрытий на металлах. — «Заводская лаборатория», 19бО, т. 26, вып, 4, с. 445 — 447.