Акселерометр
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (i)670795
Союз Советских.
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву 535513 (22) Заявлено 03.02.77 (21) 2449318/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.06.79. Бюллетень № 24 (45) Дата опубликования описания 30.06.79
44,. 7 (51) М. Кл."G 01 В 7/06
Государственный комитет (53) УДК 531.781 (088.8) по делам изобретении и открытий (72) Авторы изобретения (71) Заявитель
В. Ф. Сергеев и В. E. Мельников
Московский ордена Ленина авиационный институт им. Серго Орджоникидзе (54) АКСЕЛЕРОМЕТР
Изобретение относится к области измерительных устройств с использованием электрических средств для измерения толщины напыляемой пленки.
По основному авт. св. № 535513 известен акселерометр, содержащий консольный чувствительный элемент, несущий металлизированные кварцевые струны, систему возбуждения колебаний струн и систему регистрации частоты колебаний струн. 10
Недостатком данного акселерометра является невозможность его применения для измерения толщины напыляемой пленки в связи с Hpçàøèùåííîñòüþ струн от напыления. 15
Целью изобретения является измерение также и толщины напыляемой пленки.
Указанная цель достигается тем, что предлагаемый акселерометр снабжен съемным конденсационным наконечником, уста- 20 новленным на свободном конце консольного чувствительного элемента, и экраном с калиброванным отверстием, перекрываемым конденсационным наконечником.
На чертеже показан предлагаемый аксе- 25 лерометр.
Консольный чувствительный элемент 1 закреплен в корпусе 2 и несет металлизированные кварцевые струны 3, расположенные в зазоре между магнитами 4 системы 30 возбуждения колебаний струн. Для измерения частоты колебаний струн предназначена система регистрации частоты колебаний струн (на чертеже не показана).
Струны защищены экраном 5 с калиброванным впускным отверстием 6. На консольном чувствительном элементе 1 закреплен съемный конденсационный наконечник 7.
Акселерометр работает следующим образом.
При конденсации определенной массы напыляемого материала через отверстие 6 в экране 5 на съемный конденсационный наконечник 7 возникает дополнительный изгибающий момент силы тяжести от напыленной пленки, деформирующей консольный чувствительный элемент 1 и приводящий к изменению частоты колебаний струн, что измеряется системой регистрации частоты струн. По изменению частоты судят о массе осажденного материала, а при знании площади осаждения на конденсационный наконечник 7 и удельной массы осажденного материала можно определить толщину пленки. Экран 5 защищает струны 3 от напыления, а калиброванное отверстие 6 позволяет получить пятно осаждаемой пленки с заданной площадью.
Применение данного акселерометра для измерения усилий позволяет измерять толщину осаждаемой в вакууме пленки.
670795
Формула изобретения
Составитель С. Сурков
Техред А, Камышникова Корректор А. Галахова
Редактор T. Горячева
Заказ 1147(2 Изд. № 392 Тираж 866 Подписное
НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по, делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская ваб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Акселерометр по авт. св. № 535513, отличающийся тем, что, с целью измерения также и толщины напыляемой пленки, он снабжен съемным конденсационным наконечником, установленным на свободном конце консольного чувствительного элемента, и экраном с калиброванным отверстием, перекрываемым конденсационным наконечником.
