Регулируемая щелевая диафрагма

 

Севз Соввтсимя

Соцмалмстнчвсии»

Рвспублми

<и>672671 (б() дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 08. 12. 77 (21) 2556118/18 — 25 с присоединением заявки М— (23) Приоритет—

2 (51} М. Кл.

Н 01 У 39/02.

Гееудврвтвеанвй кеапет

СССР ве делам изабретвей а еткритай

Опубликовано 05. 07. 79.Бюллетень Иа 25

Дата опубликования описания 05. 07. 79 (53) УДК 621. 384 (088.8) В, С. Ганзбург-Преснов, Е. M. Клешков, А. Д. Фрейцяс и Г. В. Фрндпянский (72) Авторы изобретения

Ордена Трудового Красного Знамени специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения НТО АН СССР (71) Заявитель (54) РЕГУЛИРУЕМАЯ ЩЕЛЕВАЯ ДИАФРАГМА

Изобретение относится к ионно-оптическим и оптико-механическим устройствам, в которых, осуи(ествляется формирование и фокусировка электронных, ионных и других пучков, и может быть использовано в масс-спектрометрах.

Известны регулируемые щелевые диафрагмы, устанавливаемые в фокусирующих системах источников ионов и в приемниках ионов масс-спектрометров и содержащие два подвижных элемен та, установленных в направляющих общего основания и находящихся под действием пружий, и 1п приводной механизм, шток которого герметично введен в вакуумную полость и взаимодействует с указанными элементами. Обращенные друг к другу створки подвижных элементов образуют щель; ограничивающую ширину ионного пучка (Ц.1>

Известна также регулируемая щелевая диафрагма (2), содержащая два пружинных параллелограм.ма, закрепленных на основании таким образом, что их подвижные жесткиеэлементы образуют щель, приводной механизм регулирования ширины щели и тяги, соединяющие гюдвижные жесткие элементы пружиннь параллелограммов с". поступательно дв мся штоком приводного

2 механизма. Тяги представляют собой плоские пружинные элементы, расположенные таким образом, что они не препятствуют перемещениям жестких пружинных элементов в направлении, перпендикулярном щели.

Существенным недостатком описанных приборов является отсутствие регулировки угла поворота диафрагмы, что весьма затрудняет юстировку прибора.

Известна регулируемая щелевая диафрагма (3), содержащая образующие щель ножи и узел перемещения нбжей, расположенные в вакуумной полости прибора, а также приводной механизм ре-. гулирования ширины щели, соединенный. с узлом перемещения ножей, и узел поворота диафрагмы.

Последний состоит из неподвижного и подвнж% ного направляющих элементов, контактирующих . по поверхности вращения, ось которой совмещена с оптической осью прибора. Узел перемещения ножей закреплен на подвижном направляющем элементе узла поворота диафрагмы. В указанном устройстве происходит заклинивание контактирующих поверхностей и изменение ширины

30 Регулируемая щелевая диафрагма, содерыщая образующие щель ножн и узел перемещения ножей, расположенные rr вакуумной полости прибора, а также прйводной механизм регулирования ширины щели, соединенный с узлом перемещения ножей, и узел поворота диафрагмы, состоящий из неподвижного и подвижного направляющих элементов, контактирующих по поверхнос гй вращения, ось которой совмещена с оптической осью прибора, причем узел перемещения но40 жей закреплен на подвижном направляющем элементе узла поворота диафрагмы, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности и надежности работы устройства, йриводной механизм регулирования ширины щели расположен

45 йа подвих(ком направляющем элементе узла поворота вне вакуумной полости прибора.

Источники информации, принятые so внимание при экспертизе

1. Патент США И 3187179, кл. 250 — 41 — 9, 50 1972.

2. Патент Великобритании !(! 1327394, кл. Н 1 0, 1974.

3. Техническое описание масс-спектрометра

МХ 1320 1Г 3. 394. 004 ТО.

67 щели диафрагмы, что весьма критично при малой ширине щели.

Цель изобретения — повышение точности и надежности работы устройства, а также исключе. ние влияния поворота диафрагмы на ширину ее щели.

Указанная цель, достигается тем, что приводной механизм регулирования ширины щели расположен на подвижном направляющем элементе узла поворота д афрагмы, размещенного вне вакуумной полости прибора.

Размещение подвижного и неподвижноГо направлявших элементов узла поворота диафрагмы вне вакуумной полости прибора при сохранении г. совмещения оси поверхности контакта указанных элементов с оптической осью прибора позволяет исключить влияние вакуума на трущиеся поверхности, а также использовать антифрикционные материалы и смазки, применение которых в вакууме недопустимо.

Совместная установка узла перемещения ноf жей и механизма регулирования ширины щели на подвижном направляющем элементе узла поворота диафрагмы исключает их отйосительное перемещение при Повороте диафрагмы и, следовательно, обеспечивает постоянство ширины щели диафраг мы.

На чертеже показана предложенная регули-. руемая шелевая диафрагма, Разрез.

Регулируемая шелевая диафрагма содержит узел перемещения ножей, приводной механизм регулирования ширины щели и узел поворота диафрагмы.

Узел перемещения ножей представляет собой два пружинных параллелограмма, закрепленных на кронштейне 1 корпуса 2. Каждый, параллелограмм содержит подвижныи 3 и нейодвйжный 4 жесткие элементы и соединяющие их плоо. кие упругие элементы 5. Ножи 6 установлены на подвижных жестких элементах 3 пружинных параллелограммов таким образом, что их рабочие кромки образуют щель.

Приводной механизм регулирования ширины щели содержит поступательно перемещающийся шток 7, установленный в расточке корпуса 2, который при помощи гайки 8 закреплен в подвижном направляющем элементе 9 узла поворота диафрагмы. Герметизация штока 7 осушеетвляется . сильфоном !О.. Гайка 11 взаимодействует с резьбой, имевшейся на конце штока 7. Пруl жила 2 выбирает зазор в резьбе и обеспечивает контакт, гайки 11 с опорной площадкой под. вижного направляющего элемента 9. Индикатор

13, щун которого контактирует с торцом штока

2671

7, позволяет контролировать ширину щели диафрагмы.

Шток 7 при помощи тяг !4, представляющих собой плоские упругие элементы, соединен с под. вижнымижесткими элементами 3 пружинных параллелограммов.

Узел поворота диафрагмы содержит неподвижный направляющий элемент 15, который закреплен на фланце 16, имеющем уплотняющий

r0 элемент и служащем для установки диафрагмы на корпус прибора, и подвижный направляющий элемент 9.

Указанные элементы сопрягаются по цилиндрической поверхности, ось которой совпадает с

r5 оптической осью прибора. Надежный контакт со. прягаемых поверхностей обеспечивает пружина

17. Герметизацию качающегося корпуса 2 осуществляет сильфон 18. Винты 19 служат для поворота диафрагмы и ее фиксации s нужном положе20 Нии ! целевая регулируемая диафрагма обеспечивает работу в высоком вакууме и при высоких температурах; расположение трущихся поверхностей узла поворота диафрагмы вне вакуумтюй полос25 ти прибора повьппает надежность механизма, а исключение влияния поворота диафрагмы на ширину щели облегчает юстировку прибора. (Формула изобретения

672671

14

Составитель Н. Алимова

Редактор Т. Орловская Техред 3. фанта Корректор О. Ковинская

Заказ 3901/51 Тираж 922 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам йзобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.; д; 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4