Магниторазрядный насос

 

Союз Советск

Соцмалмстмческит

Респубпми 672673 (6l) дополнительное к авт. свил-ву— (22) Заявлено 28. !2. 77 (21) 2561321/18 — 25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

2 (51) М. Кл.

Н 01 У 41/12

ГееударетеенныИ наатет

СССР не делам нзвбретенне н юткрытнй

Опубликовано 05. 07. 79.Бюллетень № 25

Дата опубликования описания 05. 07. 79 (53) УДК 621. 528:

:533. 59 (088.8) (72) Авторы изобретения

С. Д. Островка и В. Б. Нойсс

Q$ j I1 Нтпт р 1 щ (71) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЪ|Й НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к средствам создания вакуума.

Известны магниторазрядные насосы, содержащие плоские катоды из геттерного материала и анод, выполненный в виде взаимно перпендикулярных рядов проволок, образующих ячейки f13. >

Недостаток таких насосов заключается в том, что разрядные пучки ячеек расплываются по аноду в результате слабой нродольной концентрации разряда в них, что снижает эффективность ионизирующих столкновений электронов и нейтральных частиц газа.

Также известны магниторазрядные насосы, содержащие герметичный корпус, внутри которого расположены катоды и анод, выполненный в виде рядов параллельных пластин (23.

В таких насосах ячейки анода образуют малопроницаемую структуру для распыляемого с катода геттера. В результате количество геттерно26 го материала, которое способен пропустить ячеистый анод, оказывается недостаточным для покрытия на противоположном катоде внедриВшихся в него ионов и часть газа при ионной бомбар2 дировке катода выделяется в откачиваемый объем.

Цель изобретения — повышение быстроты откачки путем расширения сферы дейсТвия распыляемого геттерного материала.

Поставленная цель достигается тем, что соседние ряды параллельных пластин смещены один относительно другого и скреплены между собой стержнем, проходящим перпендикулярно пластинам.

Ряды параллельных пластин смещены один относительно .другого на половину расстояния между пластинами.

На фиг. 1 тюказана анодно-катодная система насоса, поперечный разрез; на фиг. 2 — анод. насоса.

Насос содержит плоские катоды 1, выполненные из геттерного материала, анод 2 и магнитную систему (не показана).

Анод составлен из параллельных пластин 3, установленных рядами с определенным расстоянием между пластинами. Пластины прилегающих рядов смещены одна относительно другой на половину расстояния между ними и скреплены

672673

Формула изобретения

1 ." 2

Рог 3

3 стержнями 4. Стержни проходят перпендикулярно пластинам через середины их продольных тор. цовых граней и крепятся к боковым стенкам рамки 5, огибающей по периметру анод. Рамка обеспечивает электрический l потенциал и жесткость конструкции анода.

К катодам 1 и аноду 2 прикладывается высокое электрическое напряжение. Магнитное поле направлено параллельно анодным пластинам 3.

Пространства, ограниченные боковыми сторонами и продольными торцовыми гранями пластин„ совместно со стержнями составляют ячейки, в ко,торых возбуждается магнитоизолированный газо-. вый разряд. Откачка осуществляется путем ионизации атомов и молекул газа электронами.

Пластины 3 поддерживают в пределах каждой ячейки продольную концентрацию разрядных пучков, необходимую для выработки в них ионов и электронов. С помошью стержней 4 обеспечивается развитие разряда в области, прилега- э0 ющей к плоскости симметрии ячеек. Смещейие пластин 3 в прилегающих рядах, составляющее половину расстояния между пластинами, создает высокую прозрачность анода к гетгеру.

Распыляемые частицы геттерного катодного 25 материала, пролетая: через. айод, запыляют внедрившиеся в противоположный катод ионы газа и не позволяют им выделиться в обьем. Часть геттера оседает на поверхностях пластин и сорбирует наиболее активные газы. 30

Чем выше концентрация разряда в продольном направлении пучка, тем больше образуется ионов, бомбардирующих катод, а следовательно, тем больше количество распыляемого геттера.

При этом повышенная быстрота откачки обус- з

БНИИПИ Заказ 3901/51

Тираж 922 Подписное,Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная,4

4 ловлена усиленным покрытием анодных и катодных пластин геттерным материалом и образованием на катодах более толстого слоя распыляемого геттера, которым замуровываются внедренные в катоды частицы откачиваемого газа, что обеспечивается формой анода.

Насос эффективен для откачки как химически активных газов, сорбируемых поверхностной пленкой геттера, так и инертных газов, которые удаляются главным образом посредством ионной откачки с последующим замуровыванием их в катодах.

1. Магниторазрядный насос, содержащий герметичный корпус, внутри которого расположены катоды и анод, выполненный в виде рядов параллельных пластин, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки, соседние ряды параллельных fUlBcTHH смешены друг относительно друга и скреплены между собой стержнем, проходящим перпендикулярно пластинам.

2. Насос цо п.1, отличающийся тем, что ряды параллельных пластин смещены друг относительно друга на величину, равную половине расстояния между пластинами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США У 3197122, кл, 417-49, 1965.

2. Виноградов М. И. и др. Триодный магниторазрядный насос с охлаждаемыми электродами. ПТЭ, 1966, Р 2, с. 108 — 109.