Устройство для напуска газа

 

(72) Авторы изобретения

В. Ф. Попов и Б. Д. Берпицкий (71) Заявнтель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПУСКА ГАЗА

Изобретение относится к гаэоразрядным приборам, в частности к устройствам для получения, ввода или постепенного добавления газов mrna паров.

Известно также устройство для напуска газа, включаюшее шток с твердоспнавной иглой, которая пришлнфована к металлическому седлу. Используя микрометрический винт, можно вручную регу-. лировать ширину шелк к изменять величину газового потока(1 J.

Известное устройство не обеспечивает высокой точности дозировки из--за ограниченной точности микрометрического устройства и быстрого износа металли- . ческого седла. Большая инерционность связана с ручной регулнровкой ширины шелк.

Наиболее близкнм к предлагаемому техняческому решению является устройство для напуска газа, содержашее седло, подвижный шток и источник электропитания (2). В известном устройстве изменение длины штока происходит бла,годаря тепловому разогреву.

Недостатком известного устройства является его ийерпионность н в связи с этим низкая точность дозировки напускаемого газа.

Кроме того в этом устройстве затрачквается значительная тепловая мошROC Tb.

Белью изобретения является повышенне точности дозировки напускаемого газа и быстродействия.

Бель достигается тем, что в предлагаемом устройстве шток выполнен из двух частей, причем часть штока обеспечиваю15 шая. изменение его длины, выполнена из пьезоэлектрического материала, а к ее концам подсоединены выводы источника питания.

На чертеже представлено предлагае26 мое устройство.

Устройство содержит шток, состояший из двух частей. Часть 1 штока, обеспечиваюшая изменение зазора 2 между

685874

3 седло м Э и подвижной частью 4 штока, выполнена из пъезоэлектрического материала, а к ее концам от источника питания 5 через изолятор 6, электрический контакт 7, корпус 8, крышку 9, прокладку 10 и электрический контакт 11 приложено постоянное или импульсное напряжение. Трубопровод 12 предназначен для соединения предлагаемого устройства с потребителем.

1О

При подаче напряжения к концам пъезоэлектрической части 1 штока через изолятор 6, электрический контакт 7, корпус 8, крышку 9, прокладку 10 и электрический контакт 11 изменяются ее геометрические размеры, в результате чего между седлом 3 и подвижной частью 4 штока образуется зазор 2.

Регулируя подаваемое напряжение, можно изменить величину зазора 2 и следовательно, газового потока, проходяшего через зазор 2 и трубопровод 12. При отключении напряжения шток безинерционно воэврашается к исходным размерам, 25 и зазор 2 герметично перекрывается.

Жесткая фиксация штока в корпусе прибора одновременно обеспечивает замыкание электрической цепи и точную центровку штока относительно седла, что, зо в свою очередь, обеспечивает точность дозировки напускаемого газа.

Было изготовлено устройство для напуска газа, пьезоэлектрическая часть штока которого выполнена из титаната

35 стронция. 31иаметр штока равен 8 мм, длина 100 мм, длина конусной части

30 мм. При приложении постоянного напряжения О - 200 В длина пъезоэлектрической части стержня меняется, что при- 4О водит к образованию между штоком и седлом зазора, позволяюшего при непрерывной откачке реципиента поддерживать в нем требуемое двление, которое регулируется в зависимости от величины подаваемого напряжения.

Предлагаемое устройство позволяет по величине подаваемого напряжения точно определить и регулировать величину газового потока напускаемого .газа. Применение штока, часть которого выполнена из пьезоэлектрического материала, обеспечивает безинерционную регулировку зазора между седлом и штоком, что, в свою очередь, повышает точность и вос« производимость параметров газового потока, проходяшего через регулируемый зазор., Применение электрического способа регулировки величины газового потока позволяет .одушествить дистанционное управление процессом, а цримененне программного устройства управления питаюшим напряжением обеспечить автоматическую регулировку газового потока.

Фор мула изобретения

Устройство для напуска газа, содержашее седло, подвижный шток и источник электропитания, о т л и ч а ю ш е ес я тем, что, с целью повышения точности дозировки напускаемого газа и быстродействия, шток выполнен иэ двух частей,, причем часть штока, обеспечиваюшая изменение его алины, выполнена из пъезоэлектрического материала, а к ее концам подсоединены выводы источника питания.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Фролов Е., Русак Ф. А. и др. Вакуумные еистемы и их элементы. Справочник-атлас под ред. д.т.н. Лубенца В.Д., М., Машиностроение, 1968, с 117-118.

2. Авторское свидетельство СССР

Х. 412428, кл.F 16 К 49/00,, 1972. (прототип).

685874

Составитель А. Вишаев

Редактор И. Шубина Техред С. Мигай Корректор М. Пожо

Закаэ 5437/39 Тираж 1139 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4