Органический проявитель для позитивных фоторезистов на основе нафтохинондиазидов
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Ресцублнк
<и 691799 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (gy) у )(2
G 03 С 5/30 (22) Заявлено 29.07.74 (21) 2050001/23-04 с присоединением заявки №(23) ПриоритетГосударственный «омнтет
СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 771.72 (088. 8) Опубликовано 151079. Бюллетень ¹ 38
Дата опубликования описания 15.1079 (54} ОРГАКИЧЕСКИИ ПРОЯВИТЕЛЬ ДЛЯ ПОЗИТИВНЫХ
ФОТОРЕЗИСТОВ HA ОСНОВЕ НАфТОХИНОНДИЛЗИДОВ
Изобретение касается проявителя рельефа на пленке позитивного фото-, резиста и может быть использовано в микроэлектронике, радиотехнике, полиграфии и других отраслях промьааленности .
Известен органический проявитель для позитивных фоторезистов на;, основе нафтохинондиазидов, включающий моноэтаноламин, триэтаноламин и воду (1).
Недостатком известного проявителя является плохая воспроизводимость результатов, малые скорость и контраст проявления, нестабильность, Цель изобретения заключается .в устранении указанных недостатков.
Поставленная цель достигается тем", что проявитель включает моноэтаноламин, триэтаноламин, воду и гликоль, например этиленгликоль, при следующем соотношении компонвн" тов, % об,:
Моноэтаноламин 15-18
Триэтаноламин 5- 7
Гликоль 32-40
Вода Остальное.
Проявитель позволяет точно и четко воспроизводить рисунок фотошаблона на слое фотореэиста, увеличивать время проявления до 1,5 мнн без ухудшения качества проявленного изображения и увелиЧивать контраст проявления до 70-80.
В таблицах приведены зависимости изменения .размеров элементов проявленного изображения от времени экс- . понирования и от времени проявления.
Табл. 1, 2 » для проявителя coc" тава, В об.:
Моноэтаноламин. 15
Триэтаноламин 5
Этиленгликоль . 35
Вода 45.
Табл. 3, 4 — для проявителя состава, Ъ об.:
Моноэтаноламин 18
Триэтаноламин .7
Этиленгликоль 40
Вода 35.
Во всех сЛучаях толщина слоя фоторе», эиста составляла 0,7 0,5 мкм время сушки слоя фоторезиста 15 мин> температура сушки 95 5 С; размер элемента на фотошаблоне 5,5 мкм. При определении зависимости, изменения размеров элемента проявленного изоб:ражения.от времени проявления время экспонирования составляло 2, 4 с при освещенности поля 102000i800 лк.
691799
5,52
5,50
5,55
5,54
5, 60.
35
5,68
5,65
5,75
45
6,00
5,85
6,16
6,02
60
6 18
6,34
6,51
75
6,63
5,50
80
3О
6,75
5,52
5,55
35
5,60
5,65
35
5,73
5 р50
5,79
5,, 3
5,83
40
5,60
5,95
5 66
6,03
5,75
6,08
5,85 6, 19
80 6,10 б., 26
1а
6,38
5,95
35
5,52
45
5,54
3
Таблица 1
5,72 5,80
Таблица 2
Таблица 350
5,52
5,60
5,75
5,82
6,25
6,36
Таблица 4
Таблица 5
Таблица 6
691799
Продолжение табл, 8
Продолжение табл. 6
5,56
5,54
55
5,60
5,56
5,65
5,60
65
5,73
5,65
5,78
5,82
5,90
5,73
60 75
5,78
70
5,82
5,99
5,90
6,10
80
5,99
6,20
6,10
Таблица 7
6,20
6,33
30 В табл. 5,6 приведены данные для проявителя состава,% об.:
Моноэтаноламин 15
Триэтаноламин 5
2,3-Бутиленгликоль 35
35 Вода Остальное.
Табл. 7,8 - для проявителя состава, В об.:
Моноэтаноламин
Триэтаноламин
40 2,5-гександиол
Вода
5,50
5,52
5,54
5,57
5,60
Формула изобретения
5,60
Органический проявитель для позитивных фоторезистов на.основе нафто : хинондиазидов, включающий моноэтаноламин, триэтаноламин и воду, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения контраста, воспроизводимости результатов и технологической стабильности процесса проявления слоя фоторезиста, он дополнительно содержит гликоль при следующем соотношении компОнентов, Ъ об.:
Моноэтаноламин 15 - 18
Триэтаноламин 5 - 7
Гликоль 32 — 40
Вода Остальное.
Источники информации, принятые
gl во внимание при экспертизе
1. Пресс Ф. П. Электронная техника . Сер.2,У 1, 1970, с.175-181., Тираж 548, Подписное
5,85
6,00 6,15.
6,25
6,40
12
Таблица 8
5,50
35 5,52
Ф
IJHHHIIM Заказ 6210/36
Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, .4
