Электродуговой испаритель
1. ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ плазменного сорбционного вакуумного насоса, содержащий катод из геттерного материала с охлаждаемой подложкой и стабилизирующий экран, о 'т л и *• чающийся тем, что, с целью повыпения срока службы насоса, катод имеет форму полусферы, а экран установлен вок{)уг подложки катода.2. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что между экраном и охлаждаемой подложкой установлен изолятор, причем экран.электрически связан с источником возбуждения дуги.I
Похожие патенты:
Электродуговой испаритель геттера // 612315
Магнитный электроразрядный насос // 371633
Магниторазрядное откачное устройство // 367484
Магниторазрядное откачное устройство // 366515
Криоадсорбционный насос // 676754
Сорбционная ловушка // 659784
Сорбционный вакуумный насос // 652344
Сорбционный вакуумный насос // 646084
Вакуумный адсорбционный насос // 646082
Адсорбционный насос // 2101564
Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения
Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Модуль и система геттеронасоса // 2138686
Способ вакуумирования гермообъема // 2140015
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
