Дистанционно управляемый газовый натекатель

 

ОП И

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскнк

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 161 2,74(21} 2083475/18-25 с присоединением заявки Но (23) Приоритет (51)М. Кл.

H 01 J 7/20

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий (53) УДК621, 532,1 (088.8) Опубликовано 1511.79. Бюллетень Йо 42

Дата. опубликования описания 15.1179 (72) Авторы изобретения

М.Е.Игонин и В,И.Леонов (71) Заявитель (54) дИСrAHWOHHO УПРАВЛЯЕМЫЙ ГАЗОВЫЙ НАТЕКАТЕЛЬ

Изобретение относится к устройствам управления газовыми потоками, в частности к устройствам обратного действия для плавного регулирования очень малых газовых потоков, вводИмых в вакуумную систему, и может найти примененйе в областях техники, использующих технологические процессы, протекающие в вакууме, например, в производстве электровакуумных приборов.

Известны цельнометаллические игольчатые натекатели, величина натекания в которых регулируется погружением тонкой иглы в отверстие сед- 15 ла.(1). Плавное регулирование газовoro потока может быть достигнуто лишь при тщательном изготовлении конусной иглы, что сопряжено со значительными трудностями ° 20

Известны дистанционно управляемые газовые натекатели, состоящие из .корпуса, штуцера, подсоединенного к вакуумной системе, упругого уплотнителя, перемещающегося перпендикулярно к оси отверстия штуцера, привода упругого уплотнителя, состоящего из отжимающей пружины и прижимающего устройства (2). ЗО

В известном дистанционно управляемом газовом натекателе уплотняющее усилие рас пределено рав номерно по всему контуру уплотнения, и при перемещении уплотнителя в направлении, параллельном оси отверстия штуцера, регулировка величины газового потока осуществляется на начальном участке эа счет уменьшения уплотняющего усилия равномерно по всему периметру уплотнения, а на последующем участке (после по .ери контакта со штуцером) — за счет изменения зазора между кромкой отверстия и плоскостью уплотнителя, который также распределен равномерно по всему периметру.

Такое равномерное распределение уплor— няющего усилия, а затем н зазора ведет к отсутствию плавности регулировки величины газового поток а. В случае .упругого уплотнителя равномерностьь изменения уплотняющего усилия по всему периметру уплотне ни я при открынании натекателя ведет к залипанию упругого уплотнителя на отн ерстии штуцера, результатом чего является резкий скачок величины регулируемого газового потока при переходе с начального участка регулирон— ки на последующий.

698071

Целью изобретения является увел ;— чение плавности регулирования во всем диапазоне изменения газового потока.

Цель достигается за счет того, что упругий уплотнитель установлен под острым углом относительно норманди к плоскости среза уплотняемого отверстия штуцера, при этом указанный угол выбирается из соотношения

40 < Ы." 60

)о

Иа чертеже схематически изображен предлагаемый натек атель.

Дистанционно управляемый газовый натекатель состоит из корпуса 1 с закрепленным в нем коническим штуцером 2 с отверстием 3 диаметром 15

0,5 мм, соединенным с вакуумной системой. В корпусе также расположены два герметических электроввода 4 и

5. ala электровводе 4 закреплена плос кая отжимающая пружина 6, на которой 20 установлен держатель упругого уплотнителя 7 с упругим уплотнителем 8, в качестве которого взят витон

РП 13-45, а также кронштейн 9, на котором закреплен один из концов ту- 25 го натянутой нихромовой проволоки

10 диаметром 0,2 мм и длиной 70 мм, второй конец которой подсоединен к электровводу 5. Все элемент и предлагаемого газового натекателя закрыты 30 кожухом 11, соединенным герметично с корпусом 1. В кожух 11 подается напускаемый газ. Уплотняющая поверхность упругого уплотнителя 8 расположена под углом 40< W < 60 к оси отверстия 3 штуцера.

B исходном состоянии газовый натекатель закрыт и за счет расположения уплотняющей поверхности упругого уплотнителя 8 под острым углом к оси 4 отверстия штуцера 2, KpoMKB KQTopoI o перпендикулярна оси, уплотняющее ус.tлие распределено неравномерно по периметру уплотнения. При подаче на проволоку 10 через электровводы 4 и

5 управляющего напряжения проволока 45

10 удлиняется, и пружина 6 отжимает упругий уплотнитель 8 от отверстия

3. Так как перемещения малы, то можно считать, что упругий уплотнитель

8 перемещается параллельно оси отверс-50 тия 3 штуцера 2. При этом газовый натекатель начинает открываться. Яа начальном участке уплотняющее усилие хотя и уменьшается, но продолжает быть распределенным неравномерно по 55 периметру уплотнения, благодаря чему натекание начинает осуществляться не по всему периметру уплотнения, а по той его части, где уплотняющее усилие наименьшее, что обеспечивает

60 плавность регулировки на начальном, -:астке. При дальнейшем увеличении управляющего напряжения на последующем участке натекание осуществляется за счет приоткрытия части отверстия штуцера 2, причем остальная часть периметра остается уплотненной. Это обеспечивает неравномерность распределения уплотняющего усилия по поверхности контакта сжатого уплотнителя со штуцером, таким образом препятствуя залипанию уплотнителя на штуцере и исключая скачок величины газового потока при переходе с начального участка регулирования на последующий.

Постепенное открывание отверстия штуцера 2 обеспечивает плавность регулировки на последующем участке.

При снятии управляющего напряжения с проволоки 10 происходит закрывание натекателя в обратном порядке.

Использование описанного технического решения в конструктивном испол1 нении газового натекателя позволяет повысить плавность регулирования величины газового потока во всем диапазоне измерения, а также улучшить воспрои зводимость величины газового потока при прямом и обратном ходе.

Данные положительные качества позволяют эффективно осуществлять автоматизацию технологического процесса обработки электровакуумных приборов.

Формула изобретения

Дистанционно управляемый газовый на1екатель, состоящий из корпуса, штуцера, подсоединенного к вакуумной системе, упругого уплотнителя, перемещающегося относительно отверстия штуцера, привода упругого уплотнителя, состоящего из отжимающей пружины и прижимающего устройства, о т л и ч а ю шийсятем, что, с целью увеличения плавности регулирования во всем диапазоне изменения газового потока, упругий уплотнитель установлен под острым углом относительно нормали к плоскости среза уплотняемого отверстия штуцера.

2. Иатекатель по п.1, о т л и ч а ю шийся тем, что угол между упругим уплотнителем и нормалью к плоскости среза уплотняемого отверстия штуцера 40 йод < 60

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Рот,A. Вакуумные Уплотнения.

N., Энергия, 1971, с. 406.

2. Пипко A.И. и др. Оборудование для откачки вакуумных приборов, М., Энергия, 1965, с. 124 (прототип).

698071

Составитель A.Äàðåâcêèé

Техред 0. андрейко Корректор Ю.Макаренк .

Редактор И.Шубина

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 е

Заказ 69 36/36 Тираж 92 3 Подписное

grlHHtIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5