Контактирующее устройство

 

ОП ИСАИЧЕ

Й ЗО .=". ЕТЕ Н ИЯ (61) Дополнительн . к «пт. синд-ву— (22) Заявлено 2 .0- .77 (21) 2476919/!8-21 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритст—

К 1/04

R 1/06

ГкудаРствюиный а ате

СССР пь делам кн5РвтюнМ и OTKPblTNH (53) УДК621.315. .684 (088.8) Опубликовано 25.11.79. Бюллетень № 43

Дата опхблпкогания описания 30.!1.79 (72) Автори изобретения

Е. L. Онегин, В. И. Виноградов, В. И. Полотаев, И. Б иyанов и А. В. Ярош (71) Заявитель (54) КОНТАКТИРУ)Ог1(ЕГ УСТРОИСТВО

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в устройствах для контроля интегр".ëüíûõ схем.

Известны контактирующие устройства, в которых держатель зонда для контроля микросхем выполнен в виде кронштейна, на котором закреплены рычаг в виде упругой балки П-образного сечения, консольно закрепленной на кронштейне, и пружина нагружения — — в виде изогнутого стержня, расположенного вдоль рачага, один конец которого упирается в рычаг, а .другой закреплен на кронштейне (11.

Однако в т"ê:îì устройстве недостаточна продольная и поперечная жесткость держателя зонда и возникают ooKQBb ..: смещения зонда при регулировке нагружения.

Известен измерительный зонд для контроля микросхем, выполненн:;;й в виде игалb чатого щупа, размещенного на держателе, соединенном с механизмом перемещения щупа и механизмом подьема и опускания гцупа в Виде струны, a pe«ëeííoè на регулируемой планке. связанной с .механизмом перемещения щупа. Зонд снабжен рамкой, соединенной с мехапи",Moè пере;:.ешения щупа, две параллельные сто- -1ы которой выполнены в виде пружин и шуп, одним концом жестко закрецлеH HB корпусе, а другим на упругом элементе, выполненном с возможностью перемещения в вертикальном направлении (2).

Однако измерительный зонд не обладает достаточной поперечной жесткостью при контактированин, так как две плоские пружины обеспечивают только продольную жесткость, не устраняя вибрацию зонда при пе)î ремешениях его в вертикальной плоскости.

Механизм нагружения зонда при регулировке давления не исключает бокового смещения последнего, т. е. в конструкции отсутствуют элементы ограничения величины бокового смещения. Кроме того, подвеска стакана при -.îìîùè пружины значительно ухудшает жесткость системы, что не исключает возможности автоколебаний в свободно подвешенной упр>гой системе под действием собственных колебаний v, внешних возму2о щающих воздействий. Все это приводит к ухудшению качества контактирования и увеличению переходных сопротивлений пары зонд-контактная плогцадка и усложняет конструкцию.

699684

Формула изобретения к аз 7245/60 одпиское

r. Патект», роекткая, 4

Цель изобретения — повышение жесткости зондодержателя при контактировании.

Это достигается тем, что в контактирующем устройстве, содержащим корпус с закрепленном на нем зондодержателем, зонд и механизм его нагружения в виде пружины, размещенной в пазу корпуса, и винта, зондодержатель выполнен в виде клина прямоугольного сечения с окнами на боковых сторонах.

На чертеже показано контактирующее устройство.

Оно содержит корпус 1, на котором жестко закреплен один конец зондодержателя 2, другой конец которого с расположенным на нем зондом 3 выполнен с возможностью свободного перемещения в вертикальной плоскости за счет упругих элементов 4 (плоскопараллельных пружин), образованных окнами на боковых сторонах зондодержателя 2, выполненного в виде клина прямоугольного сечения, и механизм нагружения зонда в виде пружины 5, размещенной в пазу 6 корпуса 1. Паз 6 служит для ограничения смещения зонда 3 в горизонтальной плоскости. Один конец пружины 5 соединен с подвижной частью зондодержателя

2, а другой — жестко закреплен в корпусе

1. Винт 7 служит для регулировки давления пружины 5.

Работа устройства заключается в следующем.

Перед началом контактирования выставляется величина давления зонда 3 на контактную площадку контролируемой микросхемы. Для этого на предметный стол устанавливается контролируемая пластина, а кронштейн с закрепленными на нем контактирующими устройствами опускается вниз до соприкосновения зонда 3 с контактной площадкой, после чего винтом 7 через пружину 5 зонд 3 нагружается давлением

2 — 10 г. После подбора величины нагружения зонда 3 кронштейн опускается на величину натяга 500 †1 мкм, гарантирующую надежный контакт. Жесткое прямоугольное сечение зондодержателя 3 позволяет удерживать зонд в определенном положении без колебаний, что обеспечивает надежный контакт, при этом наличие окон обеспечивает малую массу движущейся части зондодержателя и малую электрическую емкость.

Контактирующее устройство, содержащее корпус с закрепленным на нем зондодержателем, зонд и механизм его нагружения в виде пружины, размещенной в пазу корпуса, и винта, отличающееся тем, что, с целью повышения жесткости зондодержателя при контактировании, Зондодержатель выполнен в виде клина прямоугольного сечения с окнами на боковых сторонах.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 433660, кл. Н 05 К 7/12. 1974.

2. Авторское свидетельство СССР № 553763, кл. С 01 К 1/06, 1975 (прототип).