Интерферометр для измерения неплоскостности оптических поверхностей

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советск;ы

Социалистических

Республик

«»700778

Г

М (51)м. Кл.2 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 280678 (21) 2637058/18-28 с присоединением заявки №вЂ”

G 01 В 9/02

G 01 В 11/30

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (53) УДК 531.715,1 (088,8) Опубликовано 301179.- Бюллетень ¹ 44

Дата опубликования описания 3011.79 (72) Авторы изобретения

С.l1,Àíäðååâ, A.Е.Кравченко,и О.M.CMHðíîíà

Специальное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института физики

АН Белорусской ССР (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕПЛОСКОСТНОСТИ

ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано, в частности, при измерении неплоскостности оптических поверхностей.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для измерения неплоскостности оптических поверхностей, содержащий источник света и расположенные по ходу световых лучей коллиматор, пластину с образцовой поверхностью, фотоприемники, электронный блок обработки и две диафрагмы, одна из которых неподвижно установлена на оптической оси, а другая с возможностью перемещения по полю интерферометра (1) .

Лучи, прошедшие сквозь диафрагмы, интерферируют и приводятся на фотоприемники, сигналы с которых выво;дятся на электронный блок обработки.

Величина изменения сигнала соответ" ствует степени плоскопараллельности интерференционного зазора, характеризующей неплоскостность оптических поверхностей

Недостатком известного устройства .является иедостаточно высокая производительность измерения.

Целью изобретения является повышение производительности измерения.

Это достигается тем, что предлагае-. мый интерферометр снабжен, экраном и контрольной сеткой, распоУгоженной между пластиной с образцовой поверхностью и экраном и выполненной в виде двух прямых взаимно параллель- ных прозрачных штрихов на зеркальном покрытии, а фотоприемники расположены один против другого под штрихами и попарно соединены по дифференциальной схеме.

На фиг.1 изображен предлагаемый .интерферометр, разрез; на фиг. 2 .вид по стрелке A фиг.1, Интерферометр содержит источник 1 света, коллиматор 2, зеркало 3, пластину 4 с образцовой поверхностью 5, на которую нанесено отражающее покрытие, юстировочный столик 6, измерительный столик 7, контрольную сетку

8, выполненную в виде двух прямых взаимно параллельных прозрачных штрихов 9 (см.фиг.2) на зеркальном покрытии, фотоприемники 10; матовый экран 11, микровинт 12, электронный бдок 13 обработки и светОиндикаторы 14.

700778

Формула изобретения

Пластина 4 с образцовой поверхностью 5 и контролируемая поверхность

1 5 с изделием 1б образуют интерференционную пару. Фотоприемники 10 установлены под штрихами 9 сетки 8 на измерительном столике 7, стоят один против другого под разными штрихами и попарно соединены по дифференциальной схеме в электронном блоке 13 обработки.

Источник света должен быть монохроматичным и с малой расходимостью луча, например газовый лазер.

Работает интерферометр следующим . образом.

Луч источника света, расшиРенный коллиматором 2 и отраженный зеркалом

3, проходит интерференционный зазор.

Интерференционная картина в виде полос 17 (см.фиг.2) .благодаря малой расходимости луча передается 2р без искажений на контрольную сетку

8 и экран 11. Свет, прошедший сквозь штрихи 9, попадает на фотоприемники 10.

Посредством юстировочного столика б оператор обеспечивает примерную

25 ,параллельность интерференционных полос 17 штрихам 9.

При,перемещении измерительного столика 7 с помощью микровинта 12, наблюдая картину на матовом экране 11 по светоиндикаторам 14, определяют моменты симметричного положения фотоприемников 10 относительно интерференционной полосы для каждой пары фотоприемников по соответствующим им направлениям I, II, III и т.д.

Снимают показания микровинта 12 в эти моменты и вычисляют наибольшее искривление интерференционных полос Х и расстояние между интерференционными полосами Х. Величина неплоскост ности проверяемой поверхности ьЮ в долях длины А излучения проверяется

rro формуле

hX. Х ьС= —:— х я.

В качестве фотоприемников могут быть использованы, например, координатные фотодиоды.

Интерферометр для измерения неплоскостности оптических поверхностей, содержащий источник света и расположенные по ходу световых лучей коллиматор, пластину с образцовой поверхностью, фотоприемники и электронный блок обработки,о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения производительности измерения, он снабжен экраном и контрольной сеткой, расположенной между пластиной с образцовой поверхностью и экраном и выполненной в виде двух прямых взаимно параллельных прозрачных штрихов на зеркальном покрытии, а фотоприемники расположены один против другого под штрихами и попарно соединены по дифференциальной схеме.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Клементьева В.Г. Определение формы отражающих поверхностей быстросканирующего интерферометра ФабриПеро. — Оптико-механическая промыш» ленность . 1978, М 1, с.63-65.

700778

Т2

Р1/2 2

Составитель Л.Лобзова

ТехРеД Л.Алферова КорректорЕ,Папп

Редактор О.Юркова

Заказ 7375/33

Тираж 844 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4