Цифровая машина для управления процессами электронно- лучевой микрообработки

 

1 . : с е щи,яь. фи

Союз Советских

Социалистических

Республик (ц 702378

ИЗОБРЕТЕНИЯ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22)Заявлено 28.06.77 (21) 2500779/18-24 (51) M, KJI. с присоединением заявки Рй (23)Прио итет

G0G Р 15/20

Риудврствевь1в квиитет

СССР ае авлзй изобретений и открытий

Опубликоваио 05.12.79. Бюллетень И 45 (53) УДК 681 .32„06:621 .9 (088.8) Дата опубликования описания 05,12.79.

В, П. Деркач, Л. Я. Згуровец и В. Р. Ракитский (72) Авторй изобретения

Ордена Ленина Институт кибернетики АН УССР (71) Заявитель (54) ЦИФРОВАЯ МАШИНА ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПРО1ЮССАМИ

ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВ ОЙ МИКРООВРАБОТКИ

Изобретение касается вычислительной техники и может быть использовано для автоматизированного управления процессами производства за|цитных масок и фотошаблонов и1ти непосредственно компо нентов интегральных схем на основе эли5 онной технологии, Известйа цифровая машина для управления процессами электроннолучевой микрообработки, содержащая устройство управления, блок тренсмиттера, 10 запоминающее устройство, блок управления, буферное запоминаклцее устройство, влок выполнения операций, блок управления координатным столом, блок совмещения осей координат, блок отклонения, 15 блок угловых преобразований изображений 1).

С помощью такой машины осуществляется управление перемещением и модуляпией электронного пучка, перемещением координатного стола и точным совмещением отдельных участков подложки по отношению к электронному пучку. В

2 результате на подложке формируется изображение микроструктуры интегральной схемы. В этой машине, благодаря включению в ее структуру средств, выполняющих преобразование и интерпретацию геометрической информации, реL ализуется язык высокого уровня, позволякяпий значительно упростить пропесс .:программирования и сократить количество вводимой информации особенно для схем с периодической регулярной структурой.

Наиболее близкой по технической сущности к предложенной является машина, содержащая блоки ввода информа1йи, памяти, интерпретации, анализа поворотов, буферное запоминающее устройство и процессор; соединенные кодовой шиной и шинами управляютдих сигналов, блок коррекпии, соединенный двух сторонними связями с процессором и подключенный управляющим и информационным входами соответственно к выходу блока управления и к первому информаци2378 4

3 70 онному входу машины, выходы блока коррекпии подключены соответственно к первым входам блока отклонения и блока управления приводами координатного стола, второй вход которого соединен со вторым информадионым входом машины, выходы блока управления приводами координатного стола подключены соотвеъствейно к первому и второму управля- ющим выходам машины, блок управления приводами координатного стола соединен двухсторонними связями с про-пессором, выходы которого подключены соответственно к третьему, четвертому и пятому управляющим выходам машины, блок контроля токов отклонения и блок отклонения соединены .двухстороиними

4 связями с процессором, входы блока контроля токов, отклонения соединены соответственно с третьим и четвертым информационными входами машины; выход подключен ко второму входу блока оъ-, клонения, выходы которого подключены соответственно к шестому и седьмому управляющим выходам машины, выход блока анализа поворотов соединен с со ответствующим входом пропессора (2j.

С помощью такой машины осуществляется управление электроннолучевой установкой при изготовлении масок или непосредственно компонентов интегральных-схем. Для уменьшения .Объема вво-димых данных, упрощения процесса программирования, сокращения затрат на программирование, и, как следствие, повышения эффектйвности машины. в ней. предусмотрен режим многоуровневых преобразований топологических единиц.

Это йоэволяет формировать регулярные структуры из некоторых базовых рисунков, причем, полностью описываются лишь базовые фрагменты, а для образования подобных им в описании указывается по одной точке привязки для каждого повторяющегося рисунка и вид преобразования базовых топологическихединиц. Но для ряда случаев даже такое задание топологии- оказывается недьстаточно. эффективным, В настоящее время получают распро- странение матричные структуры (БИС).

К ним относятся все БИС памяти постоянной, оперативной и npyrae схемь на их основе, являющиеся матричными. К матричным структурам приводит ячеечный метод проектирования БИС, получающий в настоящее время широкое при менение s связи с развитием автомати5

5% зации проектирования. Для матричных

БИС характерно наличие инвариантов в их структуре и, следовательно, в описании в большей степени, чем это. имеет место в других структурах БИС.

Поэтому важно обеспечить такую форму задания матричной топологии, которая исключала бы избыточность описания.

С точки зрения описания существенной особенностью матричных структур является то, что они включают ограниченное количество типов элементов (в частном случае - один); регулярность же размещения однотипных элементов в пределах матрицы, за исключением БИС оперативных 3У, либо носит островковый характер, либо отсутствует вообще, Поэтому при сплошном описании однороднОй матрицы (состОящей нз ОдинакО вых элементов) в описании необходимо указать координаты многих точек привязки, что является излишним. Количество точек привязки можно несколько сократить, если в структуре выделить регулярные островки и для адресации каждого иэ них указать по одной точке привязки, а размещение элементов и пределах островков описать параметраМи мультипликации, т.е. указать величины шагов н количество повторений по осям Х и У, Но для этого необходимо выполнить оптимизированную декомпоэипию схемы по критерию минимизапии описания, что вручную, при большом количестве элементов в матрипе осуществить практически невозможно, Это обуславливает необходимость использования универсальной ЗИМ, что затрудняет оперативное изготовление и увеличивает стоимость микросхем особенно при необходимости проработки нескольких раз личных вариантов, Кроме того, даже и в этом случае количество входной инфор» мации все же остается избыточным.

Зто является недостатком известной машины, приводящим к снижению ее эффективности при изготовлении матричных структур с нерегулярным расположением однотипных элементов.

Цель изобретения - повышение эффективности машины при воспроизведении топологйи интегральных схем с матричной структурой за счет снижения зафат на программирование и умейьшение избыточности входной информапии.

Для этого в машину введен блок пифрового маскирования, соединенный двухсторонними управляющими связямн

5 7023 с блоком управления, выходом подключенный ко входу процессора и соединенный кодовой шиной с блоками ввода инфор мации, памяти, интерпретации, буферным запоминающим устройством и процессором, Блок цифрового маскирования содержит два регистра, две схемы сравнения, два счетчика, два элемента И, числовую матрицу, элемент неравнозначности, триггер, причем входы каж, t0 ,пой схемы сравйения подключены к выходам соответствующих регистров и первым входам соответствующих счетчиков, выходы — ко входам первого элемента И, выход которого подключен к информа1 ционному входу числовой матрицы и к управляющему выходу блока, входы ре гистров соединены с кодовым входом и управляющим входом блока, второй выход первого счетчика подключен к первому входу второго элемента И, выход которого соединен с управляющим выходом блока, второй выход второго счетчика соепичен со входом первого ,счетчика, вторым входом второго эле мента и управляющим выходом блока, управляющие входы счетчиков соедине-!.

:, ны с управляющим входом блока, входы

1числовой матрицы соединены соответственно с первыми выходами счетчиков и управляющим входом блока, выход— с первым входом элемента неравнозначности, второй вход которого соединен с выходом триггера, входы которого соо» единены с управляющим входом блока, выход элемента неравнозначности соединен с выходом блока, управляющий выход которого соединен с выходом второй схемы сравнения.

На фиг. 1 показана структурная схема машины; на фиг. 2 — пример выполнения блока цефрового маскирования; на фиг. 3 и 4— структурные матрицы и соответствующие им цифровые масеи (схематически). 4>

B состав машины входят: блок управления 1, блок 2 ввода информации, блок памяти 3, буферное запоминающее устройство 4, блок интерпретации 5, процессор 6, блок анализа 7 поворотов, блок коррекции 8, блок отклонения 9, блок контроля 10 токов отклонения, блок управления ll приводам координатного стола, блок 12 цифрового маскирования.

Блок 1 служит для распределения инфор- 55 мации между устройствами машины и управления их взаимодействием. Блок 2 предназначен для ввода в машину информации с перфоленты или печатающего

78 6 устройства, Геометрическая информация, а также данные о технологических режимах заносится в блок памяти 3. Кроме .того в блоке 3 хранятся описания топологии стандартизованных элементов, представляющие собой библиотеку типовых решений. Текущая информация, с которой оперирует процессор при выполнении тех или иных стандартных процедур, хранится в буферном запоминающем устройстве 4, Елок 5 осуществляЪ-. ет перевод описания топологии в машинное представление, выполняя декомпозицию фрагментов для выделения базовых элемен тарных фигур, с которыми оперирует про цессор. Процессор выполняет построение элементарных фигур, формирует временные параметры воздействия луча на ма- . териал, управляет интенсивностью пучка, задает перемещение коорпинатного стола, а также управляет операциями коррекции. Блок 7 задает для процессора вид фактического поворота элементарных фигур при сочетании поворотов старших и подчиненных топологических единиц.

Блок 8 предназначен для выработки корректируклцих воздействий с целью т привязки местоположения луча по отношению к рабочему полю с учетом компенсации линейного сдвига и разворота осей координат, а также установки требуемых геометрических размеров поля отклонения. Блок 9 преобразует цифровые значения координат, в пропорциональные

Cy токи пля перемещения луча в требуемое место поля отклонения и осуществляет смещение единичных полей отклонения в препелах полного поля отклонения.

Блок 10 осуществляет контроль токов отклонения и смешения и корректирует последние при нарушении их поразрядных соотношений. Блок 11 управляет приводами перемещения координатного стола.

;В блоке 12 в цифровом виде записывает1 ся схема размещения элементов структуры, представляющая собой цифровую матричную. маску. Блок 1 имеет двусторонние связи пля обмена унравляюшей информацией с блоком ввода 2 и блоком памяти 3, а также шины. управляющих сигналов 13 и 14 пля связи с блоком интерпретации, управляющие шины 15 и

16 — для связи с процессором. По шине 17 происходит обращение к буферно-. му запоминающему устройству. По шине 18 осуществляется запись кодов признаков поворота фигур. По шине 19 блок 1 управляет работой блока 8 при

7 70237 выполнении коррекций положення по маркерным знакам, которые поступают с соответствующнх датчиков. Поиск маркерных знаков, вычнсление составляющих погрешности и реализация линейной коррекпйи происходит при взаимодействии процессора и блока 8, соединенных двухсторонними связями. Управляющие связи 20 и 21 предназначены для управ-; ления работой блока 12, который связью r0

22 соединен с продессором 6. Компенсация погрешности масштаба происходит в результате воздействия блока коррекции 8 по связи 23 на блок отклонения

9, а угловой разворот осей - при воздействии на блок 11. По связи 22 нз блока 12 в пропессор поступают сигналы, в соответствии с которыми,он вос- производит "или пропускает тот или иной элемент структурной матрицы. Бнфровые значения координат с выхода пр6пессора поступают в блок отклонения

9, который варабатывает на управляюmm выходах 24 и 25 пропорпиональные отклоняющне токи. С выхода блока

9 в пропессор поступают сигналы об окончании переходных процессоров в пифроаналоговых преобразователях. По двусторонним связям процессор управляет, также операциями контроля и коррекцнн

30 токов смещения, осуществляемых блоком 10 при поступлении на его входы с информационных входов машины 26 и 27 токов, снимаемых соотввтственно в цепях катушек смещения и отклонения. По управляющим выходам 28 и 29 процессор управляет интенсивностью пучка (гоком и энергией), а по управлякидему выходу 30 — его бланкированием. Управление же координатными приво40 дами осуществляется по управляющему выходу 31 при воздействии процессора

Мъ на блок 11. С информационного входа

32 в блок 11 поступают сигналы от

45 датчиков перемещения координатного стола. Признак фактического поворота фигур с выхода блока 7 поступает в пропессор, настраивая его на преобразование коюрдннат фигур в соответствии с

50 видом поворота. По управляющему выходу

33 блок 11 осуществляет управление приводами координатного стола. С информационнбго входа машины 34 в блок

8 коррекции поступают сигналы с соответствующих датчиков. Обмен информа-, пией между блокамн и устройствами машины осуществляется по кодовой шине 35.

S 8

На фиг. 2 показаны: регистры 36 и 37, счетчики 38 и 39, схемы сравнения 40 и 41, элемент И 42, числовая магрида 43, триггер 44, элемент неравнозначности 45, элемент И 46, По управлякхдему входу 201 выполняется начальная установка счетчиков.

По управляющему входу 20 пронсхо днт запись в регистры кодов, опреде ляющих номер строки и столбпа структурной матрипы, на пересечении которых расположен воспроизводимый или пропускаемый элемент, По управляк щему входу 20 подаются сигналы счета, а по входу 20, — сигнал записи в числовую матрицу, по входу 20> - снг» нал считывания. Сигналами на управляющих входах 20 н 20> устанавлимется в-нулевое или единичное состояние григгер 44, На управлякхцем вы оде

21 вырабатывается снгнал прн равенстве номера элемента структурной матрицы номеру ячейки числовой матрипы, а на управляющем выходе 21 - при равенстве номеров столбпов. На управляющих выходах 215 и 214 возбуждаются сигналы, при переполнении счетчиков

39 н 38.

На фиг. 3 и 4 штриховкой условно показаны однотипные элементы магрич-. ной топологии, воспроизводимые на определенном этапе технологическог о процесса, причем на фиг, 3 таких элементов меньше, чем пропусков. Поэтому в числовой магриде они обозначены кодом 1, На фиг. 4 наоборот меньше пропусков, поэтому они копируются единицами, а воспроизводимые элементыиулями. Программа работы машины вводятся с помощью блока 2 в блок памяти

3 под воздействием сигналов, формируемых блоком управления 1. B описательной части программы содержатся данные о взаимном размещении составных частей полного рисунка данного элемента матрицы, для чего здесь приводятся координаты точек привязкн, в которые должны быть помещены начала тех или иных частей рисунка, Кроме того, для всех подобных фрагментов указывается вид поворота их относительно первообразных фигур, описание которых приводится полностью в виде коордннат вер шин контуров, образующих фигуры. Все координаты вершин приводятся в собственной системе координат, в качестве начала которой берется пересечение линий, проходящих через точки рисунка с

702378

10 минимальными орлинатой и абсциссой.

В описании также указывается генеральное начало отсчета, в качестве которого используется, например, левый нижний угол кристалла или начало координат левого нижнего элемента матрицы, Наконец, указывается шаг размещения элементов матрицы по осям Х и У. Генерельное начало отсчета и величины шагов являются обобществленными параметрами для данной матрицы, описания же каждого нового типа элементов приводятся отдельно. При этом допускается использование частей рисунков, описанных в другом элементе матрицы, или рисунков из библиотечного набора. Параметры технологических режимов облучения и инструкции выполнения служебных процедур (коррекций и контроля) являются самостоятельными конструкциями матобеспечения и могут вводиться независимо от остального описания. Управляющая часть программы помимо задания алгоритма переадресации, т.е. последовательности воспроизведения частей рисунка данного элемента матричной структуры, содержит также данные о конфигурации размещения этого элемента в пределах матрицы. Для этого все элементы матрицы нумеруются по строкам и.столбцам, и в управляющей части программы в возрастающем порядке указываются номера тех элементов, которые, должны эк- спонироваться. Эта часть программы образует так называемую цифровую маску, которая заносится в блок 12. Для записи цифровой маски устанавливаются. в нулевое состояние счетчики 38 и 39, выполняющие функцию адресных регист . ров числовой матрицы 43. На кодовой шине 35 возбуждается число, определающее номер первого воспроизводимого элемента матрицы. Код этого числа заносится в регистры 36 и 37, причем в регистр 36 поступают старшие разряды числа, (номер строки матрицы), а в регистр 37 — младшие разряды (номер столбца). На вход счетчика 39 по входу 20> поступают сигналы, в резуль:тате пересчета которых осуществляется перебор всех ячеек числовой матрицы

43. Синхронно с сигналами счета на входе 20, возбуждаются сигналы записи. До тех пор, пока коды на выходах счетчиков 38 и,39 не сравняются с кодами регистров 36 и 37, на выходе первого элемента И будет 0", и в

15

25

35

45

55 соответствующие ячейки числовой матрицы будут записаны нули, поскольку выход элемента 42 подключен к информационному входу числовой матрицы. При сравнении номера элемента матрицы с адресом ячейки, образующимся в счетчиках 38 и 39, на выходе элемента И

42 вырабатывается сигнал единичного уровня. -В соответствующую ячейку записывается "1", и, кроме того, сигнал запроса по управляющему выходу 214 поступает в блок управления 1. В этом случае в регистры 36 и.37 заносится код номера очередного элемента матрицы, и цикл заполнения числовой матрицы продолжается, При переполнении счетчиков 39 и 38 на выходе второго. ,эле ме нта И 4 6 формируется сигнал, поступающий в блок управления 1. По этому сигналу определяется момент

I окончания заполнения числовой матрицы.

В тех случаях, когда воспроизводимых элементов матрицы много, а пропусков мало, целесообразнее обозначать послед ние. При этом происходит запись обратной маски, осуществляемая аналогично предыдущему, за исключением того, что "1" обозначаются пропуски между; элементами структуры (фиг, 4). Запись обратной маски учитывается триггером

44, который цри этом устанавливается в единичное состояние, Размерность числовой матрицы в общем случае может не соответствовать. размерности воспроизводимой структурной матрицы. Поэтому в случае недостаточного ее обыема структурная матрипа разби вается на ряд подматриц, которые вводятся в блок 12 и воспроизводятся последовательно. Если размерность структурной матрицы мала, то размерность числовой матрицы при выборке из .нее информации, ограничивается. Для этого в регистры 36 и 37 вводятся номера строк и столбцов orðàíè÷èâàêëöèê размерность матрицы. При воспроизведении рисунка из блока памяти 3 в буферное запоминающее устройство 4 заносятся координаты точек привязки фрагментов и величины шагов размещения элементов матрицы по осям X и У.

Устанавливаются в исходное состояние счетчики 39 и 38, на управляющем. входе 20 возбуждается сигнал чтения . . и опрашивается первая ячейка числовой ,матрицы 43. Если в блоке 12 было записано прямое изображение маски, то элемент неравнозначности 45 не оказы702378

12 ввет влияние на считанный из числовой матрипы сигнал, поскольку триггер 44 находится в нулевом состоянии, В случае же обратной маски на вйходе блока образуется инверсный сигнал; Йв каждом жакте опроса блока 12, т.е, считывания цифровой маски, процессор 6 суммирует к генеральному началу отсчета величину Х шага размещення элементов . матрицы в строке н проверяет значение сигнала на связи 22. Прн появлении на ней сигнала единичного уровня опрос блока 12 прерывается, а на требуемом месте подложки воспроизводится пер-» вый элемент структурной матрицы. При этом описания фрагментов из блока памяти 3 передаются поочередно в блок

8, который осуществляет синхронное, с воспроизведением, разбиение их на элементарные фигуры. Координаты опорных точек каждой из фигур передаются .из блока 5 в буферное запоминакицее устройство 4 н служат исходной информацией для процессора. Процессор вычисляет координаты всех промежуточ- .. ных точек фигур и выполняет необходимые .их преобразования в соответствии с видом геометрических превращений компонента рисунка, определяемых .блоком

7, а также с учетом нх местоположения на подложке. Блок 9 преобразует цифровые значения координат в пропор, цнональные координатные токи, отклоняя пучок в требуемое место технологнческой зоны. После завершения экспонирования подложки в данном единичном поле. отклонения снова происходит обращение

z блоку 1 2 н определяется местопопо- женне очередного элемента матрнчной структуры в соответствии с цифровой маской. Момент окончания очередной строки структурной матрицы определяется но сигналу сравнения на управляющем выходе 21>, а перебор ячеек данной строки числовой матрицы продолжается до появления на управляющем выходе 21> сигнала переполненйя счетчика 39 . Прн этом содержимое счет, чика 38 увеличивается на единицу, чем

Осуществляется переход к следующей строке числовой матрицы, а процессор суммнрувт к ординвте строки величину шага перемещения У, выполняя йереход к следующей строке структурной матрицы, после чего воспроизводятся элементы, расположенные в этой строке.

- Аналогично воспроизводятся все элементы структуры, обозначенные в дайной

20 ностыо взаимного расположения элементов.

Периодически с помощью блока 10 проЗ0:веряется и корректируется поразрядная, 50

5 0

15 цифровой маске. Признаком завершения разме|цення всех элементов данной матрицы служит сигнал сравнения кодов в счетчиках 38 и 39 с кодами регистров 36 н 37 соответственно, в которых прн Воспронзведеннн содержнтся номер граничного элемента матрицы. После воспроизведения последнего элемента процессор вырабатывает сигнал запроса нв шине 15,, в соответствии с которым блок управления 1,. воздействуя на блок ввода 2, заменяет использованную цнфровую м&ску НОВОЙ, н Вос р0 изводится Очередной элемент структуры, Такие циклы продолжаются до тех пор, пока все элементы структуры не будут воспроизведены нв соответствующих участках технологической зоны. После этого с помощью блока 11 процессор заменяет технологическую зону переме. с шепнем коордннатного cram. После перемещення стола, а также перноднчески в процессе воснронзведення проверяется и прн. необходимости корректируется положение пучка относительно маркерных знаков, что позволяет проводить

Ъ икрообрвботку с максимальной тач> взвешенность токов, формируемых блоком 9.

Введение в структуру машины блока цнфрового маскнровання позволяет упростить процесс программирования н значительно сократить количество вводимой информации в случае интегральных схем с матричной структурой с нерегулярным расположением однотипных элементов, в частности матричных БИС .

Прн автоматическом составлении программ электроннолучевой микрообработки уменьшается время использования универсальной ЭВМ, поскольку вместо многих сотен значейнй координат, которые необходнмо вычислять, машина должна выдать лишь схему размещения элементов.

Формула изобретения

1. Цифровая машина для управления процессами электроннолучевой микрообработки, содержащая блокн ввода информации; памяти, ннтерпретапин, управления, анализа поворотов, буферное запоминаю1цее устройство и пропессор,, соединенные кодовой шяной и шинами

702378 управляющих сигналов, блок коррекпии, соединенный двухсторонними связями с процессором и подключенный управляющим и информационным входами соответственно к выходу блока управления и к первому информапионному входу машины, выходы блока коррекции подключены соответственно к первым входам блока отклонения и блока управления приводами координатного стола, второй вход которого соединен со вторым информационным входом машины, выхо ды блока управления приводами координатного стола подключены соответственно K первому и Второму управляющим 5 выходам машины, блок управления природами координатного стола соединен двухсторонними связями с процессором, выходы которого подключены соответственно к третьему, четвертому и пятому 2О управляющим выходам машины, блок контроля токов отклонения и блок отклонения соединены двухсторонними связями с процессором, входы блока контроля токов отклонения соединены соответ- 25 ственно с третьим и четвертым информапионными входами машины, выход под.ключен ко второму входу блока отклонения, выходы которого подключены соответственно к шестому и седьмому управ- зо ляющим выходам машины, выход блока аналйза поворотов соединен с соответ ствующим входом процессора, о т л ич а ю m а я с я тем, что, с целью повышения эффективности при воспроизве- з5 денни топологии интегральных схем с матричной структурой за счет снижения затрат на программирование и уменьшения избыточности входной информации, в нее введен блок цифрового маскйро- 40 вания, соединенный двухсторонними управляющими связями с блоком управления, выходом подключенный ко входу йроцессора и соединенный кодовой шиной с блоками ввода информации, памяти, ин- 45 терпретапии, буферным запоминакядим устройством и пропессором.

14

2. Цифровая машина по и. 1, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что блок цифрового маскирования содержит два регистра, две схемы сравнения, пеа счетчика, два элемента И, числовую матрицу, элемент неравнозначности, триггер, причем входы каждой схемы сравнения подключены к выходам соответствующих регистров и первым выходам соответствующих счетчиков, а выходы соединены со входами первого элемента И, выход которого подключен к информационному входу. числовой матрипы и к управляющему выход блока, входы регистров соединены с кодовым

:входом и управляющим входом блока, второй выход первого счетчика подключен к первому входу второго элемента И, выход которого соединен с управляющим выходом блока, второй выход второго счетчика соединен со входом первого рчетчика, вторым входом второго эле

Мента И и управляим вь1ходом 6поха> управляющие входы счетчиков соединены с управляющим входом блока, входы числовой матрицы соединены соответственно с первыми выходами счетчиков и управляющим входом блока, выход подключен к первому входу элемента неравнозначности, второй вход которого соединен .с выходом триггера, входы которого соединены с управляющим входом блока, выход элемента неравнозначности соединен с выходом блока, управля» ющий выход, которого соединен с выходом второй схемы сравнения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство ГССР

¹ 477417, М.Кл. 006 Р 15/20, 1 974.

2, Списание изобретения по заявке № 2392205/18-24 от 01.08 1976. (прототип) .