Устройство для обработки деталей в жидкости

 

ОП ИСАНИЕ

И ЗОЫРЕт И Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 04.08.77 (21) 2516050/23-0 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 15,12.79 Бюллетень №4 (45) Дата опубликования описания 15,12.79.

""703149

Сом Соестскнк

Социалистических

Республик (51) М. Кл.

В 05С 3/09

В 05С 3/10

Государственный комитет (53) УД1<

67 8. 026. 3 2 (088. 8 ) Il0 делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

М, И. Рябых, В. Ф, Ушаков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ДЕТЛП1-.,Й

В ЖИДКОСТИ

Изобретение относится к технологиче<>- кому оборупованию и оно может быть иопользовано в любой отрасли народного хозяйства, гце требуется жидкостная обработка деталей, а также предназначено для использования в полупроводниковой промышленности при отделении технологического выступа от пластины после резки слитка.

Известны устройства, предназначенные для обработки деталей в жидкой среде, в которых нац емкостью с рабочим агентом расположено приспособление цля погружения закрепленных на нем деталей в рабочую емкость и передачи их на другую технологическую операцию. Приспособление это выполнено в виде пространственного конвейера с подвесками для изделий. Конвейер подает детали в емкость с рабочей средой, гле они (петали) находятся в статическом положении, через заданное время выводятся иэ емкости и подаются на слепуюшую технологическую операцию, например, в другую емкость, на сушку и fll

Недостатком указанных устройств яв- ляется низкая скорость обработки деталей иэ-за статической установки емкости с жидкостью и отсутствия активных механи5 ческих воздействий рабочей среды па обрабатываемые детали, в то время, как при осуществлении целого ряда технологических операций, например, операции отделения технологического выступа (графитово)0 го и др.) от полупроводниковой пластины, осуществляемой после операции резки спич ка на пластины для ускорения размягчения клеяшего ветцества, с помощью которого графитовый слой прикреплен к пластине, Е5 необходимы равномерные механические воздействия рабочей среды на поверхность обрабатываемой детали, Ближайшим по технической сущности к данному изобретению является устройство

20 пля обработки деталей в жидкости, сопержашее рабочую емкость с жидкостью, раоположенное нап рабочей емкостью присп<>собление в вице конвейера пля установки деталей и привод вертикального перемепте25 ния рабочей емкости f 2j .

703149

}1едостаток последнего устройства зак л>очается в том, что оно не обеспечивает обработки деталей с высокой скоростью, так как детали в рабочей емкости находятся в статическом положении, вследствие чего не может быть достигнута интенсификация технологического процесса, отвд» чающая требованиям современного производства, в частности полупроводникового.

Кроме того при использовании известного устройства в автоматической поточной линии, например, для изготовления полупроводниковых пластин (резка слитков на пластины, очистка их, сушка и т. д.) конвейер должен иметь дополнительные средства для автоматической загрузки ца конвейер деталей, поступающих непосредственно со станка резки, в противном же случае детали могут бьггь загружены только вручную; передача деталей на следующую операцию в ориентированном поло>кении с помощью конвейера затруднена и требует дополнительных приспособлений.

Использование конвейерных механизмов в полупроводниковом производстве не отвечает требованиям технической оотетики и культуры производства.

1(елью изобретения является интенсификация процесса обработки деталей. Это достигается тем, что приспособление для установки деталей выполнено в виде кассеты, смонтированной на оси и снабженной приводом поворота и качания, Привод поворота и качания прйспособления для установки деталей соединен с приводом вертикального перемещения рабочей емкости посредством системы управления. На чертеже представлена схема устройства для обработки деталей в жидкости с изображением двух рабочих позиций.

Устройство для обработки деталей в жидкости имеет станину 1, в нижней части которой смонтированы вертикальные направляющие 2 и привод вертикального перемещения рабочей емкости 3 в виде пневмоцилиндра 4, шток которого шарнир но соединен с рабочей емкостью 3, установленной, в свою очередь, с помощью подшипников скольжения с возможностью вертикального перемещения по направляющим 2. В верхней части стайины 1 смонтирован пневмоцилиндр 5, привода поворота и качания кассеты 6 приспособления для установки деталей, имеющей форму удлиненного прямоугольного параллелепипеда и смонтированной на оси 7 с воэможностью поворота на заданный угол, ! о например 105, Взаимодействие пневмо 1цилиндра 5 с кассетой 6 осуществляется посредством рычага 8, один конец кото рого шарнирно закреплен HQ оси 7, а другой также шарнирно связан со што5 ком 9 пневмоцилиндра 5, Пневмоцилиндры 4 и 5 связаны между собой через электронный бпок системы управления 10, Рабочая емкость 3 снабжена лотком 1 1 для стекания рабочей жидкости с кассе10 ты 6 прп подъеме ее вместе с деталями (деталью ).

Устройство работает следующим обра, зом.

Кассета 6 с помошью привода (пневмо цилиндра 5 ) устанавливается в вертикал( ное поло>кение. Г!осле этого рабочая емкость 3 с помощью пневмоцнлипдра 4 lo направляющим 2 перемешается в верхнее крайнее положение. Затем по сигналу,поотупающему с блока системы управления 10, кассета 6 отклоняется от верт икального поло>кения на заданный угол (ориентируется в определенном направлении), обеспечивая тем самт,lM возмо>кпость автоматичос25 кой загрузки пластин непосредственно с операции резки слитка на пластины (со станка резки). После того, как пластина (деталь) оказалась загруженной в кассе30 ту 6, подается сигнал с блока системы управления 1 0 и кассета 6 посредством пневмоцилиндра 5, рычага 8, взаимодействующего со штоком 9, вместе с пластиной начинает совершать качательные дви» жения на оси 7. При этом жидкость, которая находится в рабочей емкости 3, например, щелочной раствор, подогретый, о до 80 С; механически активно воздействует на обе поверхности обрабатываемой

4 пластины, связующее вещество, находящееся между технологическим выступом (графитом) и пластиной, постепенно размягчается и упомянутый выступ отделяется от пластины, оставаясь на дне рабочей

45 емкости 3. По сигналу с блока системы управления 1 0 срабатывает пневмоцилиндр 4, и рабочая емкость 3 по направляющим 2 опускается в нижнее положение (крайнее), Пластина, находящаяся в касм

5О сете 6, выводится иэ рабочей емкости 3 путем поворота кассеты 6 в горизонтальное положение. Затем в зависимости от характера очередной технологической операции кассета 6 занимает определенное

55 ориентированное положение, и пластина, скользя по поверхности кассеты 6, нак лоненной на некоторый угол, поступает на следующую операцию, например, отмывку.

После выгрузки пластины кассета 6 эани@) мает вертикальное положение, рабочая ем-

7031 4И<

ЭО «ость 3 поднимается вверх и цикл работы устройства повторяется.

Г3ь<полнение приспособления для установки деталей в виде кассеты, смонтированной на оси и снабженной приводом поворота и качания на заданный угол, позволяет повысить интенсивность процесса обработки деталей и уменьшить технологическое время на обработку за счет того, что детали в рабочей емкости подвергаются непрерывным м еха нич еск им воздейот виям среды. другим преимушеством данного изобретения является повышение эксплуатационных качеств за счет исключения необходимости использования механизма конвейерного типа для загрузки деталей в рабочую емкость и передачи их на сль- дуюшую операцию, а следовательно, исключения необходимости использования при загрузке и разгрузке конвейерного механизма дополнительных приспособлений, необходимых для автоматизации технологическихх процессов.

Форму ла иэобретс ll 1

1. Устройство для обработки деталей в м<и дк ости, содерм«< шее рабочую емкость с жидкостью, расположенное нал рабочеjj

< л<костью приспособление для установки деталей и привод вертикального перемешония рабочей емкости, о т и н ч а е ш б— е с я том, что, с целью интенсификации процесса обработки деталей, прнспособлонн: для установки деталей выполнено в вине кассеты, смонтированной на оси и снабженной приводом поворота и качания.

2, Устройство по и, 1, о т л и ч а е ш е— е с B тем, что привод повоГ<ота и качш<и« приспособлония для установки деталей ооодн< нен с приводом вертикального перемешения рабочей емкости посредством системы управления.

Источники и«< ормации, принятые во внимание при экспертизе

1. Г!атент СШЛ Л<. 3968013, кл. 202-170, опублик. 06.07.77.

2, Авторское свидетельство СССР

Л< 135373, кл. В 05С 3/00, 1960 (прототип ).

Заказ 3281 Изд. 1е Тира.; g ((!е °

LIFIHHHH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раугвская наб., 4