Раствор для травления пьезоэлементов из кристаллического кварца
Союз Советсинк
Социалистических
Ресттубпмк 715609 (61) Дополнительное к авт. спид-ву (22) Заявлено 26.05.78 (21) 2620167/23-26 с присоединением заявки М (51) М. Кл .
С 09 К 13/04 твсуааРстаавйьй комитет
СССР ае делан нзабратеннй и еткрмтвй (23) Приоритет
Опубликовано 15.02.80. Бюллетень М6
Дата опубликования описания 15.02.80 (53) УДК
621.794.42
{088.8) М. H. Данчевская, Н. И, Корнеева, С. Н. Торбин, Н. Я. Спивакова и Р. Д. Эрлих (72) Автори изобретения (7l) Заявитель
Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. М. В. Ломоносова (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТОВ
ИЗ КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КВАРПА
0,05-0,1
0,01-0,05
Остальное. до многослойИзобретение относится к получению составов для травления пъезокварца и может быть использовано при изготовлении пьезоэлемен- . тов из кристаллического кварца в радиоэлектронной промышленности.
Известен раствор для травления кристалли.ческого кварца, содержащий насыщенный водный раствор бифторида аммония и концентрированной плавиковой кислоты в соотношении
3:1 (1).
Недостаток раствора — невысокая скорость травления пьезоэлементов при его использовании (0,081 мкм/мин), а также его агрессивность. Время устойчивости многослойных покрытий в растворе 74 мин.
Цель изобретения — повышение скорости травления и снижение агрессивности раствора.
Цель достигается использованием раствора из кристаллического кварца, включающим плавиковую кислоту, бифторид аммония, хинолин, каптакс и воду при следующем соотношении компонентов вес,%:
Плавнковая кислота 15-25
Бифторид аммония 15-25
Хинолин
Каптакс
Вода
Скорость травления повышается
0,15 мкм/мнн, время устойчивости
5 ных покрытий в растворе 20 ч, Хинолин и каптакс снимают агрессивиость раствора по отношению к металлическому покрытию и фоторезистной пленке и повышают качество поверхности травления и четкости контура фигур травления, Верхний предел концентраций хинолина и каптакса определяется растворимостью их в водном растворе. (для хинолина 0,1%, для каптакса 0,05%). Нецелесообразно использовать концентрации хинолина и каптакса ниже
0,05% и 001%, так как их ингибирующее действие резко снижается.
При использовании раствора получаются пьезоэлементы с разрешением 2 мкм и хо. рошей сохранностью металлических покрытий (электродов) на их поверхносгн.
Раствор приготавливают следующим образом.
715609 4 растворяют иАрсиланом и затем наносилась защитная олученному маска из позитивного кислотостойкого фатоплавиковой резиста в форме группы пьезоэлементов. г каптакса. Предлагаемый состав раствора для травсоотношение 5 ления пьезоэлементов из кристаллического кварца позволяет одновременно получать
25 целую серию пьезоэлементов, обеспечивает
25 гладкую границу среза пьезоэлемента, не
0,1 разрушает нанесенные на пьезоэлемент метал
005 1р лические электроды. Защитная маска фотоОстальное резиста при использовании предлагаемого в указанном раствора сохраняется на поверхности кварца устойчивости 20 — 22 ч, и подтравливание кварца при- этом творе 20 ч. не наблюдается. Готовые изделия имеют занилось. Щели !5 данные геометрические параметры с точностью рая четкие. до 2 мкм. Травление происходит при комнат растворяют ной температуре.
15-25
15-25
0,05 — 0,1
0,01 — 0,05
Остальнре
Составитель С. Лотхова
Техред М.Петко
Корректор В. Синицкая
Редактор А. Павлюк аййВМВ ЮЮЮ ОФМЖ:
Заказ 9622/7
Тираж 725 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
" 11303 5, Москва, Ж-35, Раушская на., д. 4/5
1ЕФЖЬйЭт: Ф э .,- . ».— . --.
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
П р н м е р . В 1 л воды
500 г бифторида аммония. К п раствору добавляют 1,53 л 45% кислоты„2,3 мл хинолина и 1,3
При этом получают следующее компонентов, вес.%:
Плавцковая кислота
Аммоний бифторид
Хинолин
Каптакс
Вода
Скорость растворения кварца растворе 0,15 мкм/мин, время многослойных покрьггий в рас
Металлическое покрытие сохра протравились на . . 150 мкм. К
Пример 2. В 1 л воды
540 r бифторида аммония. K полученному раствору доливают 640 мл 45% плавиковой кислоты и 2,1 мл хинолина. После чего добавляют 1,2 r каптакса. При этом получается следующее соотношение компонентов, вес.%:
Плавиковая кислота 15
Аммоний бифторид 23,3
Хинолин 0,1
Каптакс 0,05
Вода Остальное.
Скорость растворения кварца 0,067 мкм/мин, время устойпгвости более 22 ч. Металлическое покрытие сохранилось. Щели протравились на 100 мкм. Края рисунка четкие. 11эавлению подвергались кварцевые пластины среза ZYB/+5 размером 19,8х24х0,2 мм с нанесенным рисунком металлических злек. тродов. Металлические покрытия толщйной нихром 0,05 мкм/серебро 0,2 мкм. После нанесения электродов пластины покрывались гидрофобизующим веществом — фенилтри20 Формула Изобретения
Раствор для травления пьезоэлементов иэ кристаллического кварца, содержащий плавиковую кислоту, бифторид аммония и воду, 25 отличающийся тем, что, с целью повышения скорости травления и снижения агрессивности раствора, он дополнительно содержит хинолин и каптакс при следующем соотношении компонентов, вес.%:
ЗО Плавиковая кислота
Бифторид аммония
Хинолин
Каптакс
Вода
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Харивуло И, Г. и Литинская Н. М., Алмазы, 1970, 3, У 4, 27 — 31 (прототип).
