Сканирующее устройство

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<»> 7I 8822

Союз Советских

Социалистических

Реслублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (51) М.Кл, 6 02 В 27/17 (22) Заявлено 11.09.78 (21) 2662975/18-10 с ктрисоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

Государстееииый комитет

СССР (43) Опубликовано 28.02.80, Бюллетень № 8 ло делам изобретений и открытий (53) УДК 535.824 (088.8) (45) Дата опубликования описания 28.02.80.» » -»»»н (72) Авторы изобретения (Э с : &, 1 Ц л :.". - .""- „"»:;Р

2сЪ„ альбы.%1 1» л". .»

Ю. А. Едигарян и Э. Б. Нерсесян (71) Заявитель

»»» (54) СКАНИРУЮЩЕЕ УСТРОИСТВО

1 2

Изобретение относится z приборострое- ной оптичеакой осью входной линзы и норнию, .в частности к оптико-электронныЪГ малью зеркала), а в остальных плоскостях систе|мам сканирования, анализ а и обра- величина угла сканирования и, следова ботки. оптичеокой информа ции. Оно может тельно, скорость оканНрования»пере»менйые. широко применяться и в других системах, 5 Этот недостаток устранен в сканируюгде имеется необходимость высокоточного щам устройстве (3), являющемся прототиотклонения (светового луча по двум коорди- пом. Оно содержит объектив, скан|ируюнатам. щее плоакое зеркало с двумя степенями

Известны устройства поэлементного свободы, расположенное птерпендикулярно сканирования исследуемого объекта .или 10 к глаженной оптической оси, неподвижное его изображения, построенного оптйчеокой плоское зеркало и фотолриемник с анали» . системой, содержащие поступатель но йере- зирулощими элементами. В указанном мещающиеся о птичеакие элементы, напри- устройстве неподвижное плоское зеркало мер линзы (1). выполнено в виде плоско-параллельной

Основным недостатком акани руюзцих 15 пластины. устройств с поступательным движением Недостатком .прототипа является его оптических элементов являются невысокие некомпактно»ст»ь, приводящая" K увеличединамические характеристики, в частности нию габаритов. низкая частота (акорость) аианиравания.: Цель изобретения — упрощение конИ звестно также устройство для двух- 20 струиции и уменьшение габаритов устройкоординатно го сканирования " сBBTolBbIM " ства. лучом с поворотным движением сканирующего элемента-,зертоала, имеющее высокие - Поставленная цель достигается тем, что динамические и точностные хара ктерис- - неподвижное зеркало вььполнейо в .центтик и (2). 25 ральной части объектива и обращено к

Однако высокие точностные характерис- фотоприемнику, перед, которым размещено тики параметров движения акани1рстватт»ий "в " сканирующее зеркало, имеющее отверстие описанном устройстве обеспечи)ваются в центральной части. только в птлоакости на клона аканйруйй егб " На. чертеже пред ставлена оптическая зеркала (в плоскости, определяемой глав- З0 схема устройства.

7188223

Составитель Н. Вашковская

Редактор И; Грузова - Техред А, Камышникова

Корректор С. Файн

Заказ 116/180 . Изд. № 198 Тираж 569 Подписное

ЧПО <Поиск» ГоСударствейного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K--35. Раушская наб., д. 4/5 у C ип. арьк." фил. пред. «Патейт»

Успройспво состоит из объектива 1, ска"Нйру11МКЕГО "ЛЛОбКсОсГО -ПОВОрОтйОГО ЗЕрКаЛа

2;- неподвижного плоского зеркала 8 и фотоприемника 4 с анализирующимй" элемейта- ми. Поворотное зеркало 2 установлено в двухстепенной подвеске, снабженной приводом по каждой OicH ново рота х и у (под — веска н лриводы не показаны на чертеже).

Неподвижное зеркало 8 1размещено в центральной части объектива 1, например в — центральном отверстии; проделанном вяем.

Своей отражающей " ловерхйотстью оно обращено к отражающей ЫбверхйостМ- поворотного зер1кала 2. Последйее" установлено тер1пендякулярно к главной оптической оси объектива и снаб кесйо цфтра,йьЪФМ томверстием", через Kîòîð0e вводится пучок в фокальную плоскость 5 объектива, "съмйейЯй1гую " с - ана.1гизйрунийими элемен тами фотаприемника 4.

Работа успрой ства .за ключается в сле.дуйщем:

Параллельный световой поток, проходя через объектив,1 и отражаясь о г зеркал .2, 3, сходится в фскальной плоскости 5 и на чуэспвительной поверхности фотоприемника 4 формирует изображение исследуемого объектива. При повороте зеркала 2 вокруг осей х йу йройсходйт огклонение отраженнбго от него пучка на углы P,=2 сс; ) =2а со акрростями Я „=2 оз; ь. =2а,, У У

На анализирующей поверхности фото" 11рйемййка происходят - соо пветствующие

4аяю цю аевщ4, =, Ъ

1..

4 йеремаещення посвроекного изображения, в результате чего на выходе фотоприемника образуются электрические сигналы, мотор ые в дальнейшем подвергаются необхо5 димым,преобразованиям и переработкам, Формула изобретения

1 J Сканирующее устройство, содержащее объектив, сканирующее плоское зеркало с двумя ступенями свободы, расположенное перепендикулярно к главной оптической осй; неподвижное Плоское зеркало и фотоприемп и к с анйтизирующими элементами, совмещенными с фокальной плоскостью объектива отл,ич"яющееся тем; что, с целью

"упрощения конструкции и уменьшения габарйтов, -йенодвИжное зеркало вьгполнено в ценпральной части объекти|ва и обращено к фотопрйемнйк, перед которым раз1меще,но сканирующее" зер1кало, и1меющее отвер. спие в центральной части..

Источники йн формации, -йрсннятые во внимание .при экспертизе:. „

1. Патент США № 3062095, кл, 355-6, апублик. 1959.

2. Авторское свидетельство С(. СР

¹ 518068, кл. G 01 S 7/4 8, 1975.

3. Авторское свидетельство СССР по заяаке № 2 497331,:кл. G 02 В 27/17, 1977 (irrpототип) .