Вакуумметр

 

О П И C А Н» И Е 720348

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советски н

Социалистинескин

Республик.* Р

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.07.78 (21) 2648376/18 10 (51) М, 3(д.

G 01 L 21/24 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Гооудеротвенны1 комитет

СССР

Опубликовано 05,03,80. Бюллетень М 9 ао делам изобретений н открытий (53) УДК 531.787 (088.8) Дата опубликования описания 07.03.80 (72) Авторы изобретения

П. Е. Молотов, В. Г. Белозеров и В. А. Лебяжинский

Куйбышевский ордена Трудового Красного Знамени авиационный институт им. акад. С. П. Королева (7I ) Заявитель (54 ) BAK УУММ ЕТР

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для точного измерения давления в диапазоне 10 з—

10 9 мм рт.ст.

Известны вакуумметры с вращающимися элементами, в которых используется зависимость коэффициента вязкости разреженного газа от давления (1).

Наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности является роторный вакуумметр с магнитным подвесом который содержит ротор, подвешенный в магнитном поле соленоида внутри вакуумной камеры, индуктор магнитной раскрутки и датчик угловой скорости.

Давление в вакуумной камере опредеl5 ляется по уменьшению угловой скорости свободного вращения за определенный интервал времени (2) .

Существенным недостатком известного

20 устройства является значительное время измерения давления. Например, ротор диаметром 1,59 мм, начальная скорость которого равна 120000 об/с, уменьшает свою скорость на 1% при давлении 10 рт.ст, за 2 ч.

Другим недостатком этого устройства является сложность конструкции, определяемая наличием электромагнитов и системы автоматического регулирования подвеса ротора.

Цель изобретения — уменьшение времени измерения давления и упрощение конст рукции вакуумметра.

Поставленная цель достигается тем, что в вакуумметре, содержащем корпус, в котором на магнитной подвеске установлен ротор, индуктор электромагнитной раскрутки и датчик угловой скорости, на роторе выполнены лопатки, а магнитная подвеска выполнена в виде магнитных, радиально-упорных подшипников на постоянных магнитах.

На чертеже показана конструкция предлагаемого устройства.

Устройство содержит корпус 1, внутри которого расположен ротор 2, выполненный в виде полого цилиндра с лопатками

72 0348

3, установленный ня оси 4, подвешенной в магнитных рядияльноупорных подшипниках ня постоянных магнитах 5, и индуктор электромагнитной раскрутки 6.

Вакуумметр рвботяет следуюшим образом.

В начале измерения ротор 2 раскручивается электромагнитным нолем индуктора 6 через диэлектрическую часть корпуса 1, При достижении определенной скорости врашения; которая измеряется датчиком (на чертеже не показан), рвскруткв прекрвшяется, и происходит торможение ротора 2 за счет трения лопаток 3 об остаточный газ. При снюкении скорости врашения ротора 2 на величину, определяемую разрешающей способностью датчика и необходимой точностью измерения, осушествгяется фиксация времени торможения, Длительность цикля измерения определяет давление в вакуумной системе, Применение изобретения позволяет снизить время измерения давления в 5-20 рвз по сравнению с известным твк как после прекрашения раскрутки торможение ротора» снабженного лоп»атками об оста точный гяз происходит значительно быстр1» е

Предложенный вякуумметр конструктивно выполнен проше, чем извести.,iA, так квк подвес ротора на постоянных магнитах не требует дополнительной системы регулирования.

Формула изобретения

Вакуумметр, содержяший корпус, в котором устяновлены индуктор электромагнитной раскрутки, датчик угловой скорости и ротор на магнитной подвеске, о т— л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью уменьшения времени измерения давления, и упрошения конструкции, на роторе выполнены лопатки, в магнитная подвеска выполненя в виде магнитных рядияльно упорных подшипников нв постоянных маг. нитах.

Источники информации, принятые Во внимание при экспертизе

1. Дэшмян С. Научные основы вакуумной техники. М., "Мир", 1964, с. 219-231, 2. Приборы для научных исследований, 1962, Nv 2, с, 3-7 (прототип).

ЦНИИПИ Заказ 333/16 . Тираж 10 19 Подписное

Филиал ППП Патент",, г. Ужгород, ул. Проектная, 4