Зондовое устройство

Авторы патента:

H05K1/04 - Печатные схемы (блоки из нескольких отдельных полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле H01L 25/00; приборы, состоящие из нескольких полупроводниковых или прочих компонентов на твердом теле, сформированных на одной общей подложке или внутри нее, например интегральные схемы, тонко- или толстопленочные схемы H01L 27/00)

° ь ()))728227

I(ä! (; (i Н °; (:, ",. )):.г АЯ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

/.===»

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6I ) jl,0è0ëíèòåëüíîå к авт. свил-ву (22) Заявлено 24 12.73 (21) 1981096/18-21 (5 т ) (тт. Кл.

Н 05 К 1/04 с присоединением заявки ¹

Гвеудерстееннмй комитет

СССР

IIO ДЕЛаМ изебретений и еткрмтнй (23) Приоритет

Опубликовано 15,04.80. Беллетень № 14

1 (53) УДК 621.396. .6.002.7 (088.8) Дата опубликования описания 18.04.80 (72) Авторы изобретения с

1С. Я. Махно и С. П. Скорняков (7I) Заявитель (54-) ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано для измерения поверхностного и удельного сопротцвлений полупроводниковых материалов, в частности четырехэондовым методом.

Известны зондовые устройства, содержащие зонды, подвижно установленные в цилиндрических направляющих tlj

Однако в зондовых устройствах с подвижно установленными в цилиндрических та направляющих зондами всегда:.есть зазо-, ры, которые обуславливают нестабильность расстояния между двумя соседними зондами в точках контактирования их с поверх» костью измеряемой полупроводниковой структуры.

Известны зондовые устройства, содержащие зондовую головку с неподвижно закрепленными относительно друг друга в изолирующем корпусе двумя потенциальными зондами и предметный столик(3), Однако известное зондовое устройствообладает рядом недостатков, обусловленных наличием осй качания зондов, распо2 ложенной вьппе точек контактирования Вх с поверхностью йзмеряемой полупроводниковой структуры, что приводит при контак тировании к скольжейию острия зонда по ! поверхности структуры, взаимному травмированию и снижению точности измерений.

11 ель изобретения - повып.ение точности измерений.

Это достигается тем, что в известном зондовом устройстве, содержащем пред метный столик и зондовую головку с непсетвижно закрепленными относительно друг друга в изолирукянем корпусе двумя потенциальнЫми зондами, предметный столик снабжен осью качания, расположенной в плоскости «онтактирования симметрично относительно потенциальных зондов, На фиг. 1 изображено зондовое устройство, вид сбоку; на фиг. 2 - четырехзон» довая головка-,о цетттральной парой потенцйальных неподвижных зондов, опущенная на предметный столик, вид спереди.

3 7282

Зондовое устройство состоит из четырехэондовой головки 1, предметного столика 2, пантографа 3, демпфера 4, стойки 5, станины 6, манипулятора 7, рукоятки 8 подъема демпфера, регулятора ear рузки 9, вакуумной присоски 10, грузов

11, рег„лировочных винтов 12, 13, обой. мы 14 и подвески 15, оси 16, станины

17, винта 18, который служит для установки оси 16 в центральную плоскость 1п между потенциальными зондами 19, запрессованных в изолирующий. корпус 20.

В четырехэондовой головке располагает» ся пара :.подвижных токовых зондов 21.

К.торцам зондов прикреплены электриче- i s ские.выводы 22.

Работа зондового устройства осущес ввляетсм следующим образом.

Помещ ают на предметный стслик 2 полупроводниковую структуру 2 3, включают 20 вакуумную присоску 10. Опускают рукоятку 8, вследствие чего срабатывает демпфер 4, и головка 1 плавно опускаеуся на структуру 23. Пары зондов .19, 21 прижимаются к поверхности полупроводнижавой структуры 23. При неодновременном касании зондов поверхности структуры 23 контактирование всех четырех эон27 4 дов с указанной поверхностью достигается за счет балансирования предметного сто лика вокруг оси 16.

Формула изобретения

Зондовое устройство, преимущественно для измерения удельного и поверхностного сопротивлений полупроводниковых материалов, содержащее предметный стсолик и эондовую головку с неподвижно закрепленными относительно друг друга в изолирующем корпуса двумя потенциальн тми зонами, о т JI и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений, предметный столик снабжен осью качания, расположенной в плоскости контактирования симметрично относительно потенциальных зондов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Кузнецов Ю. Н., Сменов Н. И, и

Шевельков М.A. "Электронная проммшленность ¹ 5 40- 42, 1974, 2. Палнак и Чаплин. Приборы для научных исследовайий,, Т. 33; № 8, 75-76, 1962.

728227 иа8

Составитель Н. Сменав

Редактор Н. Катаманина- Техред М. Кузьма Корректор-,Е. Панн

Заказ 1153/52 Тираж 885 Подписное

U НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений. и открытий

113035, Москва; Ж=Э6, -Раушская наб.,- д. 4/5---вЂ”

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Похожие патенты:

Электрический контакт // 721930

Соединитель для монтажа радиоэлементов на печатную плату // 721929

Контактное устройство // 718953

Электрический соединитель для печатных плат // 718952

Контактное устройство // 716152

Контактное устройство // 714667

Контактное устройство // 714666

Контактный узел // 712982

Контактное устройство // 712981

Контактное устройство // 708548

Интегральная схема и способ ее изготовления // 2117418

Радиоэлектронный блок // 2125775

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при конструировании блоков радиоэлектронной аппаратуры, предназначенных для приема и обработки спутниковых радионавигационных систем

Способ отбраковочных испытаний подложки из диэлектрика или полупроводника с топологией, изделий электронной техники на стойкость к внешним воздействующим факторам // 2138830

Изобретение относится к способам электрического контроля и испытаний на постоянном и переменном токе с последующей отбраковкой подложек из диэлектрика или полупроводника, содержащих изделия электронной техники и электротехники (электрорадиоизделия), содержащих плоские и объемные проводящие области, содержащих активные и пассивные функциональные элементы в виде полупроводниковых приборов, многослойных трехмерных структур, пленок с различным типом электрической проводимости, жидкокристаллических панелей и др

Способ изготовления печатных схем и печатная схема, изготовленная этим способом // 2161382

Изобретение относится к способу изготовления электронных модулей, а именно транспондеров и карт с интегральной схемой на основе печатных схем

Радиоэлектронный блок // 2172080

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при конструировании радиоэлектронных блоков, осуществляющих прием и обработку сигналов спутниковых радионавигационных систем

Радиоэлектронный блок // 2172081

Изобретение относится к радиоэлектронике, может использоваться при конструировании радиоэлектронных блоков, осуществляющих прием и обработку сигналов спутниковых радионавигационных систем (СРНС)

Радиоэлектронный блок // 2173036

Изобретение относится к радиоэлектронике, может использоваться при конструировании блоков, осуществляющих прием и обработку сигналов спутниковых радионавигационных систем

Базовый конструктивный блок для радиоэлектронных приборов // 2173037

Изобретение относится к радиоэлектронике, может использоваться в качестве базовой конструкции при выполнении радиоэлектронных приборов, осуществляющих прием и обработку сигналов спутниковых радионавигационных систем

Радиоэлектронный блок // 2182408

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в конструкциях радиоэлектронных блоков, осуществляющих прием и обработку сигналов спутниковых радионавигационных систем (СРНС)

Термоэлектрический модуль с улучшенным теплообменом и способ его изготовления // 2185042