Магниторазрядный насос

 

1 * н1 н»

I е;бл н е

ОП ИСАЙ

Союз Советских

Соцнвлистнческик

Республик

i 736214

ИЗОБРЕТЕН

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕ (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 19.12.77 (21) 255573

1) М. Кл.

Н 01 J 41/12 с присоединением заявки ¹

Госудврстввнный комитет (23) Приоритет во делам изобретений и открытий

Опубликовано 25.05.80. Ьвлл

3) Уд К621.528:

533,59 (088.8) Дата опубликования описания (72) Авторы изобретения

А. И. Агафонов и Н. П Решетняк (71) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к средствам высокого и сверхвысокого вакуума.

Известны магниторазрядные насосы, в которых с целью достижения высокой откачной способности путем более интенсивного использования электрического и магнитного полей, расстояния между соседними элементами анода (витками спирали) выбрано соответствующим двойной толщине слоя объемного разряда (1).

Однако такое соответствие может быть обеспечено (выбрано перед изготовлением) только для определенного, узкого диапазона рабочих давлений в насосе.

Известны также магниторазрядные насосы, 15 содержащие герметичный корпус, внутри которого размещены катоды и анод, выполненный в виде упругой спирали с перегородками, образующими ячейки, причем один конец спирали жестко закреплен, а другой конец имеет

20 возможность переме1цаться t21 .

Недостатком данного насоса является сложность конструкции и трудность обеспечивания при эксплуатации синхронности работы самого

2 насоса B механического устройства, изменяющего расстояние между витками спирали при быстром изменении давления в насосе.

Цель изобрететптя — улучшение условий эксплуатации и упрощение конструкции насоса.

Это достигается тем, что спираль анода выполнена из биметалла, На фиг. 1 показан магниторазрядный насос, разрез; на фиг. 2 — то же, поперечный разрез.

Насос состоит из герметичного корпуса 1, изолированных от корпуса катодных пластин

2, анода 3, выполненного в виде спирали иэ биметалла.

Один конец спирали жестко прикреплен к корпусу 1, насоса, другой — к ограничивающему кольцу 4, свободно вращающемуся на оси 5.

Фланцем 6 насос крепится к откачиваемому объему.

С помощью магнитов 7 в ячейках анода 3 создается и поддерживается постоянное магнит. ное поле, перпендикулярное к плоскости катодов 2.

736 )4

Для 06p3 30Bания ячеис Гой cl p) K I i 1)hl cнирального анода 3 к виткам c!IIIpали приварены с определенным шагом перфорированные упругие перегородки 8.

Насос работает следующим образом.

При достижении предварительного разряжения, необходимого для запуска насоса, нодзется питание на электроды, анод 3 и казод 4 насоса. В результате возникаюГцего между ними тлеющего разряда, усиленного магнитным Io полем, происходит распыл геттера, который откачивает газы, находящиеся в зоне разряда.

При работе на аноде выделяется мощность в виде тепла, и анод разогревается до температуры порядка 300 С.

Температура анода находится в определенной зависимости от давления в насосе.

Под влиянием этой температуры спираль анода, выполненная из двух разнородных металлов с различными коэффициентами линей- 2О ного расширения, будет закручиваться (раскручиваться), изменяя, тем самым, автоматически расстояние между витками и размер ячеек в такой же зависимое и от давления, в какой изменяется температура анода.

1 акое исполнение í.Icoc;1 по1воляет иснользоват ь 3IIcpl ию, Выпаля муГю В Ви)те Ганна во

Время работы насоса, на изменение размера ячеек анода. формула изобретения

Магниторазрядный насос, содержащий герметичйый корпус, внутри которого размещены катоды и анод, выполненный в виде упругой спирали с перегородками, образующими ячейки, причем один конец спирали жестко закреплен, а другой конец имеет возможность перемещаться, отличающийся тем, что, с целью улучшения условий эксплуатации и упрощения конструкции насоса, спираль анода выполнена из биметалла.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции N 1506644, кл. F 04 F, опублик. 1966.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке

N 2441082/18 — 25, кл. Н 01 J 41/12, 05,01.77 (прототип) .

736214

Реда кз ор l l . Ка а манин а

Зака ) 243(i/4. .

Тираж 844 Подписное

LIHHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб .... д. 4/5

Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,4

Составитель A. Сенчихин

Техред Н.Ковалева Корректор Е. Папп