Аппарат для сжигания и очистки газов

 

ОПИСАНИИ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

,740267

Союз Советсинк

Социалистические республии (бт ) Дополнительное к авт. свид-ву (22)Заявлено 05.07.76 (21) 2380609/23-26 (51) IN, 3(Jl. с присоединением заявки N (23) Приоритет

В 01 D 57/00

Веудврстееинцк комитет

COL Р

Опубликовано 15.06.80. Бюллетень J% 22

Дата опубликования опнсання 17.06.80 ио делан кзебретеикк и открытий (53) УД К66 07 4..3(088.8) Н. И. Николайник, Э. Б. Сигалов, О. С. Чехов, H. Е. Николайкина и А. И. Беляев (72) Авторы изобретения (?I) Заявитель (54) АППАРАТ ДЛЯ СЖИГАНИЯ И ОЧИСТКИ, ГАЗОВ

Изобретение относится к конструкциям устройств для очистки газов от примесей и может быть использовано в полупроводниковых производствах для очистки технологических газов от водорода, паров хлоридов металлов, хлористого водорода и

5 т,п. примесей.

Известен аппарат для сжигания и очистки газов, включающий вертикальный корпус с выполненными s нем камерами контактирования и сжигания, контактные уст ройства, размещенные в камерах, трубы для подвода жидсости, соединенные кон тактными устройствами, патрубсж для подвода rasa и штуцеРы для вывода шлама, жидкости н газа 11 .

В известном аппарате камера сжигания расположена ниже орошаемого контактного устройства, что приводит к схеме орган -, ® зации потоков в аппарате, при которой помимо основного контакта взаимодействую ших фаз, выходящая из аппарата жидкость обрабатывается горячим газом и при этом

2 гю, поглощенный жидкостно, начинает нз нее выделяться.

Использование слоя насадки в качестве контактного устройства приводит к необхо димости создании аппарата большого диа» метра, наличие существенного гидравлнчео кого сситротивления вызывает значительный унос капель жидкости. Кроме того, вследствие подачи агрессивных газов с высокой температурой; непосредственно иа элементы конструкции, часто выводит их из строя (перегорают, лопаются и т.д.), что вызывает регулярные остановки аппарата для проведения профилактических работ. Все это является причиной его малой эффективности и низкой надежности работы.

Низкая эффективность очистки и значи»тельный унос жидкости приводит к удоро жанию изготовления и эксплуатации линий вытяжной вентиляции от известного аппарата, так как приходится делать из коррозионностойких материалов и снабжать сепараторами для отделения жидкости, а также к загрязнению окружающей среды..

Вода, поступающая в нижнюю часть корпуса, проходит путь, аналогичный для аппарата вода отделяется от твердых чаотиц, уловленных из очишаемого газа (либо образовавшихся в результате реакций, нике шлама 16.

Водород, смешанный с парами тетрахлоридами или гидридами легируюших примесей (хлориды фосфора и мышьяка, арсин, фосфин, диборан — сильнодействующие ст равляющие вещества) подают в аппарат через патрубок 6. Затем он попадает в стакан 10, из которого выходит, барботируя через слой воды в отстойнике 16.

При этом водород частично очищается от примесей за счет абсорбции их водой.

Затем водород поднимается вдоль камеры

2 и вступает в контакт с водой, дробя пленки на струи к капли, очищаясь при этом окончательно от примесей,абсорбируемых и уносимых водой. После очистки водород поступает в верхнюю часть аппара

\ та, собирается с помощью сужающейся кверху горловины 17 и из нее через ра * пределитель 11 подается в камеру 3 сжигания. Туда же через горловину 13 поступает воздух, необходимый для осуществления процесса сжигания. Образовавшаяся после горения газовая смесь, содержа30 тактирует с водой, вытекающей из контактного устройства 4 верхней ступени ана1 логично тому, как это происходит в нижней, очищается от паров воды за счет их конденсации и охлаждается за счет нагрева воды до темнературы, допустимой для выброса в атмосферу; После этого все оставшиеся газы (в основном, азот) выво дятся из аппарата через штуцер 9.

Регулировка расхода воздуха на сжига ние осуществляется перемещением камеры сжигания в вертикальном направлении с помощью устройства 18 ее перемещения, 1. Аппарат для сжигания и очистки газов, включающий вертикальный корпус с выполненными в нем камерами контактирования и сжигания, контактные устройства, размещенные в камерах, трубы для подвода жидкости, соединенные с контактными

3 740267 . 4

С целью интенсификации процессов аппарат снабжен установленным по оси корпуса в нижней его части под контактными воды, поступающей в верхнюю часть, за устройствами опрокинутым стаканом, внуч исключением того, что перед выводом из ри которого расположен патрубок ввода га- 5 за, а верхняя часть корпуса выполнена сужающейся и переходящей в распределитель газа, размещенный по оси корпуса протекающих между уловленными веществнутри камеры сжигания, которая установ- вами и водой) и собирающихся в отстойлена с возможностью перемещения соосно над корпусом и снабжена эллиптическим днищем, переходящим в сужающуюся горло- хлорида кремния, хлористым водородом и вину, направленную внутрь камеры сжигания.

Дополнительно,с целью улучшения рас пределения жидкости, контактные устройся ва выполнены в виде многощелевого распределителя жидкости с отражательнь|ми элементами.

На чертеже изображен предлагаемый аппарат, продольный разрез.

Аппарат для сжигания и очистки газов состоит из вертикального корпуса 1 с выполненными в нем камерами 2 и 3 контактирования и сжигания, соответственно, контактных устройств 4, размещенных в камерах труб 5 для подвода жидкости, соединенных с контактными устройствами, пач,рубка 6 для подвода газа и штуцеров

7, 8 и 9 для вывода шлама, жидкости и газа. По оси корпуса в нижней его части под контактными устройствами установлен опрокинутый стакан 10, внутри которого расположен патрубок 6 ввода газа; Верхняя часть корпуса выполнена сужающейся з5 щая в основном пары воды и азот, кони переходящей в распределитель 11 газа, размещенный по оси корпуса внутри камеры 3 сжигания, которая установлена с возможностью перемещения соосно над корпусом и снабжена эллиптическим днищем 40

12, переходящим в сужающуюся горловину 13, направленную внутрь камеры сжигания. Контактные устройства 4 выполнены в виде многощелевого распределителя жидкости с отражательным и элементами 1 4 ..

Аппарат работает следующим образом.

Вода, поступающая в верхнюю часть кор пуса по трубе 5 через контактные устройства 4, подается на отражательные элементы и при этом непрерывно их омывает. Вы50 текаяизщелейподдействиемгидростатичес- . Ф о р м у л а и з о б р е т е и и я кого напора, вода образует ряд кольцевых пленок, перекрывающих сечения корпуса на разных уровнях и взаимодействующих с газо- вым потоком, а затем, достигнув стенки корпуса, стекает по ней вниз в сборник жидкости 15, откуда через штуцер 8 выводится из аппарата.

7402б7 устройствами, патрубок цля подводa газе н штуцеры для вывода шлама, жидкости и газа, о т л и ч а ю щ н и с я тем, что, с целью интенсификации процессов, он снабжен установленным по осн в нижней его части под контактными устройся вами опрокинутым стаканом, внутри которого расположен патрубок ввода газа, а верхняя часть корпуса выполнена сужающейся и переходящей в распределитель, 10 гюа, размещенный по оси корпуса внутри камеры сжигания, которая установлена с возможностью перемещения соосно над корпусом и снабжена эллиптическим днищем, переходящим и сужающуюся горловину, направленную внутрь камеры сжигания.

2. Аппарат по п. 1, о т л и ч а ющ и и с s тем, что, с целью улучшения распределения жидкости, контактные усч ройства выполнены в виде многащелевого распределителя жидкости с отражательными элементами.

Источники информации, принятые Во внимание при экспертизе

1. Специальное текнолсгическое обо - рудование ans микроелектроники. Сб. МИЭТ, М., 1968, с, 75 119 ° (прототип).

ЦНИИПИ Заказ Э075/5

Тираж 809 Подписное

Филиал ППП Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4