Интерферометр типа майкельсона для измерения криволинейных поверхностей

 

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт, саид-ву— (22) Заявлено 031078 (21) 2бб9223/25-28

2 с присоединением заявки Нов (Z3) Приоритет а 01 В 9/02

G 01 В 11/24

Государствеииый комитет

СССР по делам изобретеиий и открытий

Опубликовано 150680 Бюллетень ) (о 22

Дата опубликования описания 189б.80 (з) Уд) 531. 715. 1 (088. 8) (72) Авторы изобретения

Г.Б. Кайнер и A Â. Ляховский

Бюро взаимозаменяемости в металлообрабатывающей промышленности (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ТИПА МАЙКЕЛЬСОНА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

КРИВОЛИНЕЙНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, а именно к интерференционным измерениям криволинейных поверхностей, и может быть использовано, например, для измерения радиусов кривизны, для контроля формы поверхности, для измерения длины образующей поверхности и т.д. 10

Известно интерференционное устройство для измерения радиусов выпуклых неполных цилиндрических и сферических поверхностей, содержащее прозрачную установочную приз"у с опред "ен 15 ным двугранным углом, контактирующую с измеряемой поверхностью в двух точках (1).

Известное устройство не обеспечивает высокой точности измерения.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является интерферометр типа Майкельсона для измерения криволинейных поверхностей, измерительная ветвь которого включает элемент, предназначенный для наложения на измеряемую поверхность и .выполненный в виде специальных маленьких зеркал, наклеиваемых на иэ30 меряемую поверхность в нескольких контрольных точках (2).

Недостатком известного интерферометра является то, что он позволяет произвести лишь дискретные измерения, поскольку они проводятся лишь в нескольких контрольных точках, что снижает точность измерения.

Целью изобретения является повышение точности измерения. ук аз анна я цель достиг ае тс я тем, что элемент, предназначенный для наложения на измеряемую поверхность, выполнен в виде гибкого световода с аттестованной длиной.

На фиг. 1 изображена оптическая схема интерферометра типа Майкельсона для измерения криволинейных поверхностей; на фиг. 2 — то же, в процессе контроля.

Интерферометр содержит (фиг. 1) осветительную систему 1, светоделительный кубик 2 с зеркальной гранью

3, образующей референтное зеркало, измерительную ветвь, включающую элемент, предназначенный для наложения на измеряемую поверхность (фиг. 2) и выполненный в виде гибкого световода 4 с отражательным торцом 5; опти741041 ческую систему (окуляр 6), предназначенную для образования в плоскости иэображения интерференционной картины.

Работает описываемый интерферометр следующим образом.

Гибкий световод 4 накладывается на измеряемую поверхность 7 (фиг. 2) .

Крепление световода 4 к поверхности

7 детали может осуществляться различными известными способами, например наклеиванием, прижатием механическими прижимами и т.п. При наложении на измеряемую поверхность 7 детали световод 4 изгибается соответственно профилю поверхности 7 детали. Следствием изгиба является изменение ойтической длины световода (как это видно на фиг, 2) и, соответственно, изменение (смещение) интерференционной картины, наблюдаемой через оптическую систему 6, по сравнению с интер- 2О ференционной картиной, наблюдаемой при прямолинейном световоде (фиг. 1) .

По изменению интерференционной картины, соответствующей изменению оптической длины световода, и по известной геометрической длине его вычисляют требуемый размер, например радиус кривизны детали.

Выполнение в описываемом интерферометре элемента, входящего в измерительную ветвь и предназначенного для наложения на измеряемую поверхность, в виде гибкого световода позволяет осуществить непрерывное.измерение в отличие от дискретных.измерений осуществляемых в отдельных контрольных точках, что позволяет повысить точность измерения.

Форм1 ла изобретения

Интерферометр типа Майкельсона для измерения криволинейных поверхностей, измерительная в етв ь которого включает элемент, предназначенный для наложения на измеряемую поверхность, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения точности из— мерения, элемент, предназначенный для наложения на измеряемую поверхность, выполнен в виде гибкого световода с аттестованной длиной.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 44008В114411, кл . G 01 В 11/24, 1971.

2 ° Патент CILIA 9 4022532, кл. 356-109, 1977 (прототип).

741041

Заказ 3186/39

Тираж 801 Подписное

INHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r; Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель Л. Лобзова

Редактор Г. Мозжечкова ТехредМ.Петко корректор М. Демчик

Интерферометр типа майкельсона для измерения криволинейных поверхностей Интерферометр типа майкельсона для измерения криволинейных поверхностей Интерферометр типа майкельсона для измерения криволинейных поверхностей 

 

Похожие патенты:
Наверх