Комбинированный магниторазрядный насос

 

Союз Советских

Социалистических

Ресттублик (11) 74 1 352 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (5 ()М. K»: (22) Заявлено 020678 (21) 2623979/18-25 с присоединением заявки МО (23) Приоритет

Н pl Т 41/12

Государственный комитет

СССР но делам изобретений н открытий

Опубликовано 15р68р. Бюллетень ИВ 22

Дата опубликования описания 1706.80

| >) Й(< 621. 521 (088. 8) (72) Авторы изобретения

Н.П. Решетняк и Н.Н. Медошин (71) Заявитель (5 4 ) КОМБИНИРОВАННЫЙ МАГНИТОРАВР ЯДНЬ Й

НАСОС

Изобретение относится к технике получения высокого и сверхвысокого вакуума, в частности к магниторазрядным насосам, и может быть использовано B производстве злектровакуумных приборов.

Известен комбинированный магниторазрядный насос, содержащий магниторазрядную ступень откачки, внутрь которой вставлен сублиматор геттерного материала (1).

В известном насосе распыление геттерного материала происходит в результате разогрева до температуры испарения источника геттера, выполненного в виде спирали .

Известен также комбинированный магниторазрядный насос, содержащий герметичный охлаждаемый корпус, испаритель геттера и магниторазрядную ступень откачки (2).

В этом насосе сорбционная поверхность выполнена в виде двух профилированных охлаждаемых цилиндров, размещенных вокруг испарителя гетте. ра внутри магниторазрядной ступени откачки. Испаритель представляет собой прямоканальное проволочное устройство.

В спи с ан н ом н а с осе н едо ст аточен запас геттерного материала, следовательно, очень малый ресурс работы. Насосы с такими испарителями выходят из строя при случайных прорывах атмосферы, срок службы их мал и сильно 3BBHciIT От давления при котором работает насос.

Цель изобретения — повышение эффективности откачки насоса, era надежности и ресурса работы.

Указанная цель достигается тем, что испаритель геттера выполнен в виде дугового разрядного устройства.

Анодом дугового разрядного устройства являются катоды магниторазрядной ступени откачки, представляющие собой герметичные охлаждаемые карманы. Магниторазрядная ступень размещена симметрично вокруг испарителя геттера.

На фиг. 1 изображен насос в разрезе; на фиг. 2 — то же, вид сверху.

Внутри герметичного охлаждаемого корпуса 1 (фиг, 1, 2) находятся попые катоды 2 из геттерного материала, ячеистые аноды 3, постоянные ! магниты 4, размещенные в полости герметичных охлаждаемых катодов. ИсЭО 41352

Формула изобретения

Фиг.2

Фаь.!

IgiIIHIIN Заказ 3 213/51 Тираж 844 Подпи сное

Филиал IIIIII Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 паритель геттера, установленный по оси насоса, выполнен в виде дугового разрядного устройства, состоящего из распыляемого катода 5 изготовленного из геттерного материала, поджигающего электрода 6, электростатических экранов 7, 8.

После предварительной откачки насоса до давления не выше 10 мм рт.ст с помощью поджигающего электрода 6 обеспечивается возбуждение низко.вольтного дугового разряда в парах испаряемого геттерного материала ка" тода 5, Одновременно подается высокое положительное напряжение на ячеистые аноды 3 магниторазрядной ступени откачки. Между анодами 3 и катодами 2 зажигается тлеющий высоковольтный разряд в магнитном поле. Распыляемый одновременно с катодами 2 и 5 геттерный материал осаждается на развитой внутренней охлаждаемой поверхности насоса и ячеистых анодах 4 и поглощает молекулы активных газов путем химсорбции, адсорбции и путем замуровывания их в толще пленки.

Инертные газы, подвергаясь мощной, интенсивной ионизации в зине высоковольтного тлеющего разряда, откачиваются путем ухода ионов из эоны разряда на катоды 2 или корпус

1 насоса, где они запыляются интенсивно поступающим с испарителя геттером.

Комбинация магниторазрядного и дугового насосов позволяет повысить эффективность откачки газов за счет мощного потока электронов с катода дугового испарителя, попадающего в зону высоковольтного разряда магниторазрядной ступени откачки.

Повышается надежность насоса, так как йсключаются накаляющиеся до высоких температур проволочные элементы, критичные.к давлению в насосе и не допускающие прорыва атмос феры. В результате разогрева испарителя только в зоне горения дуги и взаимодействия дугового разряда с электронным полем магниторазрядной части насоса снижается потребляемая

10 насосом мощность.

1. Комбинированный магниторазI 5 р ядный насос, содержащий герметичный охлаждаемый корпус, испаритель геттера и магниторазрядную ступень откачки, отличающийся тем, что, с целью повышения эффект тивности откачки насоса, его надежности и ресурса работы, испаритель геттера выполнен в виде дугового разрядного устройства.

2. Насос по и. 1, о т л и ч а юшийся тем, что анодом Лугового разрядного устройства являются катоды магниторазрядной ступени откачки, выполненные в виде герметичных охлаждаемых карманов.

3. Насос по и. 1, 2, о т л и ч а ю шийся тем, что магниторазрядная ступень размещена симметрично вокруг испарителя геттера.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США 9 3235170, кл. 230-69, опублик. 1966.

2. авторское свидетельство СССР

М 387465, кл. Н 01 У 41/00э 1972 (прототип).