Устройство для регулирования натекания газа в вакуумную камеру

 

се>се и>е,.„-, „ лестен,H о п и с мн4Е

>74645О

ИЗОБРЕТЕНИ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 1004.78 (21) 2602558/18 с присоединением заявки No

6 05 0 7/03

Гасударствеииый комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

53) УДЦ б21.б46.3 (088.8) Опубликовано 070780 Бюллетень Ио

Дата опубликования описания 070780 (72) Автор изобретения (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ НАТЕКАНИЯ

ГАЗА В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ

Изобретение относится к области вакуумной техники, может быть использовано во всех случаях, когда требуются малые, точно колибронанные расходы газа, например, в газовых натекателях вакуумных камер.

Известно устройство для регулирования малых расходов газа (11 .

Недостатком известного устройства являютcÿ высокие требования к точности изготовления регулирующих элементов, недостаточная точность и малый диапазон регулирования.

Известно также устройство для ре- 15 гулиронания натекания газа н вакуумную камеру, содержащее корпус с входной и выходной диафрагмами,полость между которыми соединена с измерителем давления, и первый регулирующий вентиль, устанонленный перед входной диафрагмой (2).

Недостатком известного устройства является невозможность регулирования малых расходов газа (порядка

10 г/с), так как диафрагмы на такие расходы изготовить практически невозможно, а регулирующий вентиль .в этом случае превращается в самостоятельнцй натекатель.

Целью изобретения является расширение области применения. устройства.

Указанная цель достигается тем, что оно снабжено вторым регулирующим вентилем, соединяющим полость между диафрагмами с вакуумнасосом.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Устройство для регулирования натекания газа в вакуумную камеру содержит корпус 1 с входной 2 и выходной

3 диафрагмами, полость 4 между которыми соединена с измерителем 5 давления, первый регулирующий вентиль б, установленный перед входной диафрагмой 2, и нторой регулирующий нентиль 7, соединяющий полость 4 с вакуумнасосом (вакуумнасос на чертеже не показан).

Устройство закреплено на накуумной камере 8. На корпусе 1 имеются штуце-. ры 9"10.

Устройство работает следующим образом.

Вакуумная камера 8 находится н рабочем состоянии. Запускается вакуумнасос, полностью открывается регулирующий вентиль 7 и открывается реФормула изобретения

Тираж 956 Подписное

Филиал ППП, Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4,. Ге4ИФЖжй Фе йаа дауев. q @ .

:МЖ ый 1й а4

Т гулирующий вентиль 6, сообщающий входную диафрагму 2 с атмосферой. Гаэ прбходит через диафрагму 2 в полость

4, иэ которой часть газа откачивается через вентиль 7, а оставшаяся часть проходит через диафрагму 3 в вакуумную камеру 8. Проходное сечение регулируюЩего вентиля 7 выби=рается йз"условия откачки максимальЙого расхода, проходящего через.диафрагму 2 при миниМальном рабочем дав лейий в полости 4. На диафрагме 3 устанавливается сверхкритический режим истечения газа, расход которого зависит только от давления в по" ""лости 4. Прикрйвая регулирующий вентиль 7 устанавливаем по измерителю 5 давления в полости 4 требуемое давление,а значит, требуемый расход газа в вакуумную камеру.

Изобретение позволит обеспечить точность регулирования в широком диапазоне измерения расходов. м юю е 1 к ю

ЦИИИПИ Заказ 3942/37

Устройство для регулирования натекания газа в вакуумнуи> камеру, содержащее корпус с входной и вы5 ходной диафрагмами, полость между которыми соединена с измерителем давления, и первый регулирующий вентиль, установленный перед входной диафрагмой, о т л и ч а ю щ е1О е с я тем что с целью ра "ре ния области применения устройства, оно снабжено вторым регулирующим вентилем, соединяющим полость между диафрагмами с вакуумнасосом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство .СССР

Р 301691, кл. G 05 0 7/00, 1965.

gQ 2. Кремлевский, .Расходомеры, М., Машгиэ, 1963, с. 98 (прототи ),