Способ измерения шероховатости поверхности
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОБЕРХНОСТИ, заключающийся в том, что луч когерентного монохроматического света направляют на исследуемую поверхность под заданным углом и анализируют интенсивность диффузной составляющей отраженного светового поля при взаимном перемещении луча и исследуемой поверхности, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых высот микронеровностей с различными видами обработки, осуществляют предварительно пространственную фильтрацию отраженного светового поля, а анализ ведут по текущему изменению интенсивности светового поля единич- S ного элемента зоны диффузной состав (Л ляквдей, невозмущенного влиянием дифракции. о Oi to to ел А иг.1
СОЮЭ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН (19) (П) Зи() G 01 В 21 30
OllHCAHHE ИЗОБРЕТЕНИЯ
М АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЭОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 2590093/25-28 (22) 16.03 ° 78 (46) 23.01.84 Бюл. Р 3 (72) В.N. Суминов; Н.Н. Катомин, А.Н. Мухин, A.A< Гребнев, Е.И. Гребенюк и Е.Б. Зайчикова (71) Московский авиационный технологический институт им. К.Э. Циолковского (53) 531 ° 71(088 ° 8) (56) 1. Басс Ф.Г., Фукс И.М. Рассеяние волн на статически неровной по- верхности ° М., Наука, 1972, с, 128-155.
2. Патент СИА Р 3850526, кл. 356-109, 1974. (54) (57) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ DJEPOXOBAТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ, заключающийся в том, что луч когерентного монохрома тического света направляют на исследуемую поверхность под заданным углом и анализируют интенсивность диффузной составляющей отраженного светового поля при взаимном перемещении луча и исследуемой поверхности, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых высот микронеровностей с различными видами обработки, осуществляют предварительно пространственную фильтрацию отраженного светового поля, а анализ ведут по текущему изменению интенсивности светового поля единич- е ного элемента эоны диффузной состав. ляющей, невоэмущенного влиянием дифракции.
С:
766225 фстанпЮслфируЮйф, ЕРФ1РЮНЖ9
Корректор A. Повх
Редактор И. Гохфельд Техред Т.Фанта
Заказ 1047/2
Тираж 587 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и с ткрытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к измери- Устройство содержит источник 1 тельной технике и предназначено для света, объектив 2, расположенный измерения шероховатости поверхности соосно источнику 1 света, регистрибесконтактным рефлексометрическим рующий элемент З,размещенный в плосметодом. кости наблюдения 4. При этом ось
Известен способ измерения шерохо- 5 объектива 2 расположена под фиксиватости, заключающийся в том, что луч рованным (заданным) углом с(. к искогерентного монохроматического све- следуемой поверхности 5. та направляют на исследуемую поверх- Луч когерентного монохроматичесность под заданным углом и анализиру- кого света от источника 1 света нают интенсивность диффузной составля- 10 правляют объективом на исследуемую ющей светового поля, по которой су- поверхность 5 под фиксированным дят о величине шероховатости (lg. (заданным) углом d,. Перемещают, наЭтот способ может быть применен пример, исследуемую поверхность 5 только для измерения шероховатости в направлении стрелки А. При этом поверхности с регулярной составляю- 5 отраженный исследуемой поверхностью ,щей определяемой видом обработки, световой поток 6, однозначно свяэаннапример, после операции доводки. ный с освещенным участком поверхНаиболее близким по технической ности 5 в плоскости наблюдения 4, сущности и достигаемому результату перпендикулярной к направлению зерк изобретению является способ изме- кального отражения, состоит из зеррения шероховатости поверхности, кальной I, диффузной 1? составляклцих заключающийся в том, что луч коге- и зоны дифракции III. При перемещерентного монохроматического света нии поверхности 5 происходит перенаправляют на исследуемую поверх- распределение-энергии отраженного ность под заданным углом и анализи- светового потока 6 соответственно руют интенсивность диффузной состав- состоянию поверхности, выражающееся ляющей отраженного светового поля .в перемещении единичного элемента IV при взаимном перемещении луча и ис- зоны диффузной составляющей невоэ-.
I следуемой поверхности (.2 . мущенной влиянием дифракции, относиЭтот способ ограничен в диапазо- тельно регистрирующего элемента 3. не контролируемых высот. Между интенсивностью единичного
Целью изобретения является расши- элемента зоны диффузной составляющей, рение диапазона измеряемых высот невозмущенной влиянием дифракции, так. микронеровностей с различными вида- называемой спекл-структуры, и высотми обработки. .ными параметрами имеется зависимость, Это достигается тем, что осущест- 35 в результате которой в формировании .вляют предварительно пространственную спекл-структуры участвует каждая фильтрацию отраженного светового точка освещаемого участка поверхносполя, а анализ ведут по текущему ти, а поэтому единичнйй элемент изменению интенсивности светового спекл-структуры является источником поля едичичного элемента зоны диффуз- 4р объективной информации о поверхности ной составляющей, невозмущенного в целом. влиянием дифракции. Предложенный способ позволяет изНа фиг. 1 изображено устройство, мерять шероховатость поверхностей реализующее предлагаемый способу на широкого диапазона измеряемых высот фиг. 2 - картина отраженного свето- 45 микронеровностей и практически всех вого поля. видов обработки.
